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公开(公告)号：KR1020060097845A
公开(公告)日：2006-09-18
申请号：KR1020050018586
申请日：2005-03-07
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 분무 열분해법에 의한 α-Fe
2 O
3 박막의 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 FeCl
3 ·6H
2 O의 알콜 용액을 상압에서 산소 운반 기체를 사용하여 분무 열분해하는 것을 특징으로 하는 나노결정 α-Fe
2 O
3 박막의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 치밀하고 매끄러우면서도 기판에 잘 부착된 핀홀이 없는 박막을 쉽고 저렴하게 얻을 수 있다. 이렇게 제조된 박막은 유기 오염물질의 산화 반응을 위한 촉매나 물분해 반응의 산소 발생 촉매막 또는 광전기화학전지의 전극 등으로 사용이 가능하고 기체 감지용 센서로도 활용할 수 있다.
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