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公开(公告)号：WO2017222313A1
公开(公告)日：2017-12-28
申请号：PCT/KR2017/006556
申请日：2017-06-22
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 커패시턴스-타입 센서 및 이의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 커패시턴스-타입 센서(10)는, 기판(100), 기판(100) 상에 형성되고, 탄소물질을 포함하는 탄소 전극막(200), 탄소 전극막(200) 상에 형성된 절연막(300), 절연막(300) 상의 적어도 일부에 형성된 적어도 하나의 전극(400) 및 전극(400)의 적어도 일부를 커버하며 절연막(300) 상에 형성된 감지막(500)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 电容型传感器及其制造方法技术领域本发明涉及一种电容型传感器及其制造方法。 根据本发明实施例的电容型传感器10包括基板100，形成在基板100上并包括碳材料的碳电极膜200， 形成在绝缘膜300的至少一部分上的至少一个电极400和覆盖电极400的至少一部分并形成在绝缘膜300上的传感膜500 特点。
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公开(公告)号：KR1020180000317A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：KR1020170078699
申请日：2017-06-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은커패시턴스-타입센서및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른커패시턴스-타입센서(10)는, 기판(100), 기판(100) 상에형성되고, 탄소물질을포함하는탄소전극막(200), 탄소전극막(200) 상에형성된절연막(300), 절연막(300) 상의적어도일부에형성된적어도하나의전극(400) 및전극(400)의적어도일부를커버하며절연막(300) 상에형성된감지막(500)을포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 电容型传感器及其制造方法技术领域本发明涉及电容型传感器及其制造方法。 根据本发明实施例的电容型传感器10包括基板100，形成在基板100上并包括碳材料的碳电极膜200， 形成在绝缘膜300的至少一部分上的至少一个电极400和形成在绝缘膜300上以覆盖电极400的至少一部分的传感膜500 它表征。
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公开(公告)号：KR101922500B1
公开(公告)日：2018-11-28
申请号：KR1020170078699
申请日：2017-06-21
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은커패시턴스-타입센서및 이의제조방법에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른커패시턴스-타입센서(10)는, 기판(100), 기판(100) 상에형성되고, 탄소물질을포함하는탄소전극막(200), 탄소전극막(200) 상에형성된절연막(300), 절연막(300) 상의적어도일부에형성된적어도하나의전극(400) 및전극(400)의적어도일부를커버하며절연막(300) 상에형성된감지막(500)을포함하는것을특징으로한다.
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