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公开(公告)号:KR102084608B1
公开(公告)日:2020-03-04
申请号:KR1020180047915
申请日:2018-04-25
Applicant: 한국과학기술연구원 , 기초과학연구원 , 울산과학기술원
Inventor: 김성근 , 이우철 , 김상태 , 송현철 , 백승협 , 최지원 , 김진상 , 강종윤 , 크리스토퍼빌라브스키 , 염정환 , 에릭라슨
IPC: H01L27/108 , H01L21/762