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公开(公告)号：WO2016167450A1
公开(公告)日：2016-10-20
申请号：PCT/KR2016/000755
申请日：2016-01-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것으로, 제1 기판 상에 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 상기 웨이퍼 구조물을 절단하여 판형의 수직형 웨이퍼 구조물을 형성하는 단계; 및 상기 수직형 웨이퍼 구조물을 제2 기판의 평면 상으로 전사하는 단계; 를 포함하고, 상기 전사하는 단계에서 상기 수직형 웨이퍼 구조물은 상기 제2 기판의 평면 상으로 수평형 웨이퍼 구조물로 전사되는, 수평형 접합을 갖는 웨이퍼 구조물의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 제조방법은, 기계적 안정성이 향상되고, 공정상의 오차 발생을 낮출 수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种具有水平结的晶片结构的制造方法，该方法包括以下步骤：在第一衬底上形成晶片结构; 切割晶片结构以形成板式垂直晶片结构; 以及将所述垂直晶片结构转移到第二基板的平面上，其中在所述转印步骤中，所述垂直晶片结构作为水平晶片结构转印到所述第二基板的平面上。 本发明的制造方法可以提高机械稳定性，降低加工误差的发生。
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公开(公告)号：KR101605655B1
公开(公告)日：2016-03-22
申请号：KR1020150052990
申请日：2015-04-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은, 수평형접합을갖는웨이퍼구조물의제조방법에관한것으로, 제1 기판상에웨이퍼구조물을형성하는단계; 상기웨이퍼구조물을절단하여판형의수직형웨이퍼구조물을형성하는단계; 및상기수직형웨이퍼구조물을제2 기판의평면상으로전사하는단계; 를포함하고, 상기전사하는단계에서상기수직형웨이퍼구조물은상기제2 기판의평면상으로수평형웨이퍼구조물로전사되는, 수평형접합을갖는웨이퍼구조물의제조방법에관한것이다. 본발명의제조방법은, 기계적안정성이향상되고, 공정상의오차발생을낮출수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造具有横向接合以提高工艺再现性的晶片结构的方法。 该方法包括在第一基板上形成晶片结构的步骤; 切割晶片结构并形成板状垂直晶片结构的步骤; 以及将所述垂直晶片结构转移到第二基板的平面的步骤。 在转印步骤中，将垂直晶片结构转移到第二基板的平面上的横向晶片结构。 该方法可以提高机械稳定性，减少工艺中产生的误差。
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公开(公告)号：KR101742423B1
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：KR1020160008486
申请日：2016-01-25
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명은광 센서및 이의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로종이기판; 및상기종이기판상에형성된광 공진기; 를포함하는광 센서에관한것이다. 본발명은종이기판상에구현되는광 공진기를이용하여센서의제조비용을낮추고, 실시간검출이가능한광 센서를제공할수 있다.
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