마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
    1.
    发明申请
    마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 审中-公开
    制造微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:WO2017082467A1

    公开(公告)日:2017-05-18

    申请号:PCT/KR2015/014456

    申请日:2015-12-30

    Inventor: 원용협 김준오

    CPC classification number: B29D11/00 G02B3/00 G03F7/20 H01L21/027

    Abstract: 마이크로 렌즈 어레이 제조 방법이 개시된다. 이 방법에서는, 먼저, 기판 상에 포토레지스트를 도포하여 포토레지스트층을 형성한다. 그 후, 마스크를 사용하여 상기 포토레지스트층의 일부를 노광하고, 상기 포토레지스트층의 상부에 박막을 형성한다. 계속해서, 상기 박막이 형성된 포토레지스트층을 현상하는 동시에 초음파 진동을 가하여 상기 박막이 융기하도록 한 후, 융기한 상기 박막에 전면 노광을 수행하여 마이크로 렌즈 어레이를 형성한다.

    Abstract translation: 公开了一种制造微透镜阵列的方法。 在该方法中,首先,将光致抗蚀剂涂覆在基板上以形成光致抗蚀剂层。 之后,使用掩模对部分光致抗蚀剂层进行曝光,并在光致抗蚀剂层上形成薄膜。 随后,将其上形成有薄膜的光致抗蚀剂层显影,并施加超声波振动以使薄膜上升,然后使整个薄膜经受正面曝光以形成微透镜阵列。

    마이크로 렌즈 어레이 제조 방법

    公开(公告)号:KR101839461B1

    公开(公告)日:2018-03-16

    申请号:KR1020150158816

    申请日:2015-11-12

    Inventor: 원용협 김준오

    CPC classification number: B29D11/00 G02B3/00 G03F7/20 H01L21/027

    Abstract: 마이크로렌즈어레이제조방법이개시된다. 이방법에서는, 먼저, 기판상에포토레지스트를도포하여포토레지스트층을형성한다. 그후, 마스크를사용하여상기포토레지스트층의일부를노광하고, 상기포토레지스트층의상부에박막을형성한다. 계속해서, 상기박막이형성된포토레지스트층을현상하는동시에초음파진동을가하여상기박막이융기하도록한 후, 융기한상기박막에전면노광을수행하여마이크로렌즈어레이를형성한다.

    마이크로 렌즈 어레이 제조 방법
    3.
    发明公开
    마이크로 렌즈 어레이 제조 방법 审中-实审
    制作微透镜阵列的方法

    公开(公告)号:KR1020160063242A

    公开(公告)日:2016-06-03

    申请号:KR1020150158816

    申请日:2015-11-12

    Inventor: 원용협 김준오

    CPC classification number: B29D11/00 G02B3/00 G03F7/20 H01L21/027

    Abstract: 마이크로렌즈어레이제조방법이개시된다. 이방법에서는, 먼저, 기판상에포토레지스트를도포하여포토레지스트층을형성한다. 그후, 마스크를사용하여상기포토레지스트층의일부를노광하고, 상기포토레지스트층의상부에박막을형성한다. 계속해서, 상기박막이형성된포토레지스트층을현상하는동시에초음파진동을가하여상기박막이융기하도록한 후, 융기한상기박막에전면노광을수행하여마이크로렌즈어레이를형성한다.

    Abstract translation: 公开了一种微透镜阵列制造方法。 根据本发明,将光致抗蚀剂施加在基板上以首先形成光致抗蚀剂层。 之后,使用掩模曝光一部分光致抗蚀剂层,并在光致抗蚀剂层的上部形成薄膜。 逐渐地,在具有薄膜的光致抗蚀剂层显影并且对光致抗蚀剂层施加超声波振动以使薄膜突出之后,突出薄膜的整个表面从微透镜阵列暴露。

    전기 습윤 렌즈 및 그 제조 방법
    5.
    发明公开
    전기 습윤 렌즈 및 그 제조 방법 审中-实审
    电动透镜及其制造方法

    公开(公告)号:KR1020160149016A

    公开(公告)日:2016-12-27

    申请号:KR1020150085933

    申请日:2015-06-17

    Abstract: 전기습윤렌즈및 그제조방법이개시된다. 본발명에따른전기습윤렌즈는, 비전도성액체, 전도성액체및 비전도성액체및 전도성액체를수용하며, 복수의레이어층을포함하는챔버를포함하며, 복수의레이어층은, 비전도성액체및 전도성액체를감싸는수용성박막, 수용성박막외부에형성된제1 절연막, 제1 절연막외부에형성된금속산화물층및 금속산화물층외부에형성된제2 절연막을포함한다. 이에따라, 전기습윤렌즈는저전압에서도안정적으로구동될수 있다.

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