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公开(公告)号：KR1020170088196A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：KR1020160008252
申请日：2016-01-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B82B1/00 , B82Y35/00 , C23C14/34 , H01B5/14 , G01N27/407
Abstract: 본발명의실시형태는나노와이어와나노파티클을동시에사용하는계층적나노구조체및 이의제조방법에관한것이다. 실시형태에따른계층적나노구조체는, 복수의나노그리드가형성된기판; 상기나노그리드각각에배치된복수의나노와이어; 상기복수의나노와이어의상단면사이에걸쳐진나노파티클;을포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170000211A
公开(公告)日：2017-01-02
申请号：KR1020150089155
申请日：2015-06-23
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01K1/12 , G01K7/16 , G01N27/127
Abstract: 본발명은공중부유형나노와이어어레이및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는 2종의나노와이어가적층된공중부유형나노와이어를포함하는어레이와이의제조방법에관한것이다. 본발명의실시형태에따른공중부유형나노와이어어레이는, 기판; 상기기판상에서공중부유되고, 순차적으로적층된제1 나노와이어, 절연부재및 제2 나노와이어를포함하는공중부유형나노와이어; 상기제1 나노와이어와전기적으로연결되는제1 전극부; 및상기제2 나노와이어와전기적으로연결되는제2 전극부;를포함한다.
Abstract translation: 可以提供悬浮型纳米线阵列及其制造方法。 更具体地，可以提供包括其上堆叠有两种纳米线的悬浮型纳米线的阵列及其制造方法。 悬浮型纳米线阵列包括：基板; 悬浮型纳米线，其悬挂在所述基板上方并且包括依次堆叠的第一纳米线，绝缘构件和第二纳米线; 电连接到第一纳米线的第一电极部分; 和与第二纳米线电连接的第二电极部分。
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公开(公告)号：KR1020170141353A
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：KR1020160074271
申请日：2016-06-15
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: B82B3/0038 , B82Y40/00 , C01G23/04
Abstract: 본발명에따른 3D 나노미터구조제조방법은기판위에희생층을형성하는단계, 희생층위에상부물질을형성하는단계, 식각액을이용해상기희생층의내부확산도를조절하는단계, 내부확산도가조절된상기희생층을포함하는상기기판위에엔캡슐레이션(encapsulation) 물질을형성하는단계및 식각액을이용해상기희생층을식각하는단계를포함한다. 이에의하여, 결정화를필요로하는나노미터크기의물질을대면적으로정렬시킨 3D 나노미터구조를제조할수 있고, 확산을이용하여나노미터구조를빠르고용이하게제조할수 있을뿐만아니라, 모체기판을재사용할수 있다는경제적효과를갖는다.
Abstract translation: 根据本发明的3D纳米结构的制造方法包括：使用步骤控制所述牺牲层的内部扩散的步骤中，用于形成在台阶上的材料的蚀刻液，其特征在于，所述内扩散性调节的牺牲层以形成在基板上的牺牲层 在包括牺牲层的衬底上形成封装材料，并且使用蚀刻剂蚀刻牺牲层。 以这种方式，我们能够以制备对齐，需要在大面积的结晶化的纳米尺寸的材料中的3D纳米结构，通过利用扩散，以及快速和容易制造纳米结构，可以重用在母基板 这在经济上是有效的。
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公开(公告)号：KR101772071B1
公开(公告)日：2017-08-28
申请号：KR1020150089155
申请日：2015-06-23
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01K1/12 , G01K7/16 , G01N27/127
Abstract: 본발명은공중부유형나노와이어어레이및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는 2종의나노와이어가적층된공중부유형나노와이어를포함하는어레이와이의제조방법에관한것이다.본발명의실시형태에따른공중부유형나노와이어어레이는, 기판; 상기기판상에배치된제1 전극; 상기기판상에배치되고, 상기제1 전극과이격되어배치된제2 전극; 상기제1 전극에전기적으로연결되어고정된일 단과상기기판상에서공중부유된타단을포함하는제1 나노와이어, 상기제1 나노와이어의상면에배치된절연부재, 및상기절연부재의상면에배치된제2 나노와이어를포함하는공중부유형나노와이어; 및상기제2 전극으로부터연장되고, 상기제2 나노와이어상에배치된연장전극;을포함한다.
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公开(公告)号：KR101859422B1
公开(公告)日：2018-05-23
申请号：KR1020160074271
申请日：2016-06-15
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에따른 3D 나노미터구조제조방법은기판위에희생층을형성하는단계, 희생층위에상부물질을형성하는단계, 식각액을이용해상기희생층의내부확산도를조절하는단계, 내부확산도가조절된상기희생층을포함하는상기기판위에엔캡슐레이션(encapsulation) 물질을형성하는단계및 식각액을이용해상기희생층을식각하는단계를포함한다. 이에의하여, 결정화를필요로하는나노미터크기의물질을대면적으로정렬시킨 3D 나노미터구조를제조할수 있고, 확산을이용하여나노미터구조를빠르고용이하게제조할수 있을뿐만아니라, 모체기판을재사용할수 있다는경제적효과를갖는다.
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公开(公告)号：KR101832859B1
公开(公告)日：2018-02-28
申请号：KR1020160008252
申请日：2016-01-22
Applicant: 한국과학기술원
IPC: B82B1/00 , B82Y35/00 , C23C14/34 , H01B5/14 , G01N27/407
Abstract: 본발명의실시형태는나노와이어와나노파티클을동시에사용하는계층적나노구조체및 이의제조방법에관한것이다. 실시형태에따른계층적나노구조체는, 복수의나노그리드가형성된기판; 상기나노그리드각각에배치된복수의나노와이어; 상기복수의나노와이어의상단면사이에걸쳐진나노파티클;을포함한다.
Abstract translation: 本发明的一个实施方案涉及同时使用纳米线和纳米粒子的分级纳米结构体及其制造方法。 根据一个实施方案的分级纳米结构包括：基底，其中形成有多个纳米网格; 设置在每个纳米网格中的多个纳米线; 并且纳米颗粒在多个纳米线小平面之间延伸。
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