公开(公告)号：KR1020100104234A

公开(公告)日：2010-09-29

申请号：KR1020090022517

申请日：2009-03-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  박종주 ,  김득수

IPC: G21K7/00

CPC classification number: G21K7/00 ,  G01N23/04

Abstract: PURPOSE: By controlling the energy and chirp of laser the ream X-ray microscope of the ultraharmonic ream radiation light source and manufacturing method of the topological inversion zone plate used in the same obtain the excellent ultraharmonic through the vapor reaction. CONSTITUTION: The ultraharmonic ream x-ray generator(100) occurs the ultraharmonic ream X-rays through the interaction of the gas atom and high power femtosecond laser beam. The X-rays mirror(200) focuses the ultraharmonic ream X-rays created in the ultraharmonic ream x-ray generator. The ultraharmonic ream X-rays reflected to from the X-rays mirror is researched in the sample(300).

Abstract translation: 目的：通过控制激光的能量和啁啾，超声波辐射光源的X射线显微镜和其中使用的拓扑转换板的制造方法通过蒸气反应获得优异的超谐波。 构成：超谐波激光X射线发生器（100）通过气体原子和大功率飞秒激光束的相互作用发生超谐波激光X射线。 X射线镜（200）聚焦在超谐波激光X射线发生器中产生的超谐波激光X射线。 在样品（300）中研究了从X射线镜反射的超谐波激光X射线。

公开(公告)号：KR1020040079191A

公开(公告)日：2004-09-14

申请号：KR1020030014134

申请日：2003-03-06

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  이동근

IPC: H05G1/00

CPC classification number: H05G2/003 ,  G01N23/20075 ,  G02F2001/354 ,  H01S4/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for generating high order harmonic X-ray, and a pinhole diffraction interferometer using the high order harmonic X-ray are provided to increase industrial utility by simplifying the structure of an interferometer using a micro thin film. CONSTITUTION: A laser beam focusing strength controller(11) controls dimension of energy and beam of a femtosecond laser generated in a high-power femtosecond laser generator(10). A target(20) is filled with argon gas which focuses the femtosecond laser beam to generate high order harmonic X-ray. A gas pressure controller(21) controls the argon gas. The high order harmonic X-ray beam generates single-order harmonic wave under the control of the laser beam focusing strength controller and the gas pressure controller.

Abstract translation: 目的：提供一种用于产生高次谐波X射线的装置和方法，以及使用高次谐波X射线的针孔衍射干涉仪，以通过简化使用微薄膜的干涉仪的结构来提高工业实用性。 构成：激光束聚焦强度控制器（11）控制在大功率飞秒激光发生器（10）中产生的飞秒激光的能量和光束的尺寸。 目标物（20）填充有氩气，该气体聚焦飞秒激光束以产生高次谐波X射线。 气体压力控制器（21）控制氩气。 高次谐波X射线束在激光束聚焦强度控制器和气体压力控制器的控制下产生单次谐波。

公开(公告)号：KR1019980022704A

公开(公告)日：1998-07-06

申请号：KR1019960041964

申请日：1996-09-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  최일우 ,  이병훈

IPC: G02B27/10

Abstract: 본 발명은 분광영역 30-300Å에 이용되는 평면결상형 극자외선 분광기와 그의 정렬을 위한 정렬장치에 관한 것이다. 분광기의 구성요소인 토로이드거울과 실틈, 에돌이발을 하나의 정렬판에 설치하여 각 구성요소의 정렬을 일괄적으로 쉽게 할 수 있도록 하였으며, 에돌이발의 각도와 극자외선 필름의 위치를 별도로 정렬하는 방법과, 토로이드거울을 제작하고 토로이드거울의 수평반경을 정렬하기 위한 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치가 포함된다. 본 발명에 따른 분광기 정렬장치는 본 발명 분광기의 각 구성요소의 각도와 위치를 정렬하고, 분광특성에 가장 큰 영향을 미치는 에돌이발의 입사각도와 극자외선 필름의 위치를 독립적으로 정렬할 수 있게 하므로 본 발명 분광기의 특성을 극대화시키는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR101063353B1

公开(公告)日：2011-09-07

申请号：KR1020090022517

申请日：2009-03-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  박종주 ,  김득수

IPC: G21K7/00

Abstract: 본 발명은 연엑스선 현미경과 이에 사용되는 위상역전 구역판의 제작방법에 관한 것으로써, 본 발명에 따른 연엑스선 현미경은 고출력 펨토초 레이저빔과 기체 원자가 상호작용하여 고차조화파 연엑스선을 발생시키는 고차조화파 연엑스선 발생장치와 상기 고차조화파 연엑스선 발생장치에서 발생되는 고차조화파 연엑스선을 집속하고 반사하는 엑스선 거울와 상기 엑스선 거울에 반사된 상기 고차조화파 연엑스선이 조사되는 시료와 상기 시료를 통과한 고차조화파 연엑스선의 일부가 투과되는 PMMA 재질의 위상역전 구역이 구비되어 보강간섭에 의해 확대된 상을 형성하는 위상역전 구역판 및 상기 위상역전 구역판을 통과한 고차조화파 연엑스선을 검출하는 검출기를 포함하여 제작공정이 단순화되어 산업적 효용성이 증가하고 현미경의 결상효율을 높이며 나노미터 수준의 공간분해능과 펨토초/아토초 수준의 시간분해능을 얻을 수 있는 효과가 있다.
펨토초 레이저, 고차조화파 연엑스선, 연엑스선 현미경, 위상역전 구역판, PMMA

公开(公告)号：KR100759023B1

公开(公告)日：2007-09-17

申请号：KR1020030014134

申请日：2003-03-06

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  이동근

IPC: H05G1/00

CPC classification number: H05G2/003 ,  G01N23/20075 ,  G02F2001/354 ,  H01S4/00

Abstract: 본 발명은 결맞음성이 우수한 고차 조화파 엑스선 광원을 이용하여 극자외선 리소그라피용 광학계의 표면 품질을 검사할 수 있는 바늘구멍 에돌이 간섭계와, 고차 조화파 엑스선을 발생시키는 장치 및 방법에 관한 것이다. 본 발명에서는 결맞는 광원으로 고차 조화파 엑스선 빔을 사용함으로써, 광원을 만들어 내는 장치의 규모를 기존의 방사광 가속기에서 생성된 광원을 이용하는 장치에 비해서 약 100분의 1 수준으로 줄일 수 있었으며, 고출력 펨토초 레이저에 의한 드릴링 기술을 사용한 미세 구멍이 뚫린 마이크로 박막을 사용하여 간섭계 장치를 단순화시킴으로써 산업적 효용성을 증대시켰다.
바늘구멍 에돌이 간섭계, 펨토초 레이저, 고차 조화파 엑스선, 위상파면 측정, 결맞음성.

公开(公告)号：KR100204113B1

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019960041964

申请日：1996-09-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 남창희 ,  최일우 ,  이병훈

IPC: G02B27/10

Abstract: 본 발명은 분광영역 30-300Å에 이용되는 평면결상형 극자외선 분광기와 그의 정렬을 위한 정렬장치에 관한 것이다. 분광기의 구성요소인 토로이드거울과 실틈, 에돌이발을 하나의 정렬판에 설치하여 각 구성요소의 정렬을 일괄적으로 쉽게 할 수 있도록 하였으며, 에돌이발의 각도와 극자외선 필름의 위치를 별도로 정렬하는 방법과, 토로이드거울을 제작하고 토로이드거울의 수평반경을 정렬하기 위한 토로이드거울 구부림 및 수평반경 정렬장치가 포함된다. 본 발명에 따른 분광기 정렬장치는 본 발명 분광기의 각 구성요소의 각도와 위치를 정렬하고, 분광특성에 가장 큰 영향을 미치는 에돌이발의 입사각도와 극자외선 필름의 위치를 독립적으로 정렬할 수 있게 하므로 본 발명 분광기의 특성을 극대화시키는 효과가 있다.