公开(公告)号：KR100492339B1

公开(公告)日：2005-05-30

申请号：KR1020030018605

申请日：2003-03-25

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이대훈 ,  조정훈 ,  권세진 ,  박대은 ,  윤의식 ,  황진수 ,  박상언

IPC: B01J37/02

Abstract: 본 발명은 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 및 그 형성방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 공정을 응용하여 기판상에 일정한 패턴을 갖는 페로브스카이트 박막을 형성하는 방법을 제공함으로써 반도체 제조공정시 패턴된 유전체 박막으로 사용가능함은 물론, 마이크로 반응기 및 초소형 동력장치에 적용 및 응용될 수 있는 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 및 그 형성방법에 관한 것이다.
이를 위하여 본 발명에 따른 마이크로 패턴화된 페로브스카이트 물질 의 형성방법은 기판 위에 금속층 패턴을 형성하고, 금속층 패턴이 형성된 기판 위에 겔 상태의 페로브스카이트 물질을 도포하여 에이징 및 하소를 한 후, 상기 금속층 및 금속층 상부의 페로브스카이트 물질을 식각제에 의하여 식각하도록 되어 있는 것에 그 특징이 있다.

公开(公告)号：KR1020040083905A

公开(公告)日：2004-10-06

申请号：KR1020030018605

申请日：2003-03-25

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이대훈 ,  조정훈 ,  권세진 ,  박대은 ,  윤의식 ,  황진수 ,  박상언

IPC: B01J37/02

CPC classification number: B01J37/0225 ,  B01J23/002 ,  B01J37/08

Abstract: PURPOSE: A micro-patterned Perovskite nano catalyst is provided which is directly applied to the semiconductor fabrication process by patterning Perovskite in desired shape and thickness and adhering the patterned Perovskite to a substrate and widens utilization of micro-reaction system by enlarging surface area of the Perovskite nano catalyst, and a method for forming the same is provided. CONSTITUTION: The method comprises the steps of forming a metal layer pattern(3) on a substrate(1); spin-coating Perovskite nano catalyst(2) of the gel state on the metal layer pattern formed substrate; aging and calcining the Perovskite nano catalyst coated on the metal layer pattern(3); and etching the metal layer and the Perovskite nano catalyst coated on an upper part of the metal layer using an etchant, wherein the substrate is any one substrate selected from silicon, glass and quartz, wherein the Perovskite of the gel state is prepared by aging the sol solution in the air for 10 to 14 hours so that the sol solution is maintained to the gel state after preparing a sol solution by mixing a nitrogen oxide aqueous solution of metal elements composing the Perovskite with a poly acrylic acid aqueous solution, wherein the calcination process is performed by slowly heating the Perovskite nano catalyst from 20 to 400 deg.C for 8 hours, treating the Perovskite nano catalyst at 400 deg.C for 2 hours, and then naturally cooling the Perovskite nano catalyst to 20 deg.C, and wherein a metal composing the metal layer is any one metal selected from aluminum, copper, gold, nickel and chromium.

Abstract translation: 目的：提供一种微图案的钙钛矿纳米催化剂，其通过将钙钛矿图案化为所需的形状和厚度直接应用于半导体制造工艺，并将图案化的钙钛矿粘附到基底上，并通过扩大微波反应体系的表面积来扩大微反应体系的利用 提供了钙钛矿纳米催化剂及其形成方法。 构成：该方法包括在基板（1）上形成金属层图案（3）的步骤。 旋涂钙钛矿纳米催化剂（2）上的凝胶态金属层图案形成的基材; 老化和煅烧涂覆在金属层图案（3）上的钙钛矿纳米催化剂; 并且使用蚀刻剂蚀刻涂覆在金属层的上部的金属层和钙钛矿纳米催化剂，其中所述衬底是选自硅，玻璃和石英的任何一种衬底，其中凝胶状态的钙钛矿通过老化 溶胶在空气中10-14小时，使得通过将构成钙钛矿的金属元素的氮氧化物水溶液与聚丙烯酸水溶液混合制备溶胶溶液后，溶胶溶液维持在凝胶状态，其中煅烧 通过将钙钛矿纳米催化剂从20℃缓慢加热8小时，在400℃处理钙钛矿纳米催化剂2小时，然后将钙钛矿纳米催化剂自然冷却至20℃， 其中构成金属层的金属是选自铝，铜，金，镍和铬中的任何一种金属。