公开(公告)号：KR1020130020185A

公开(公告)日：2013-02-27

申请号：KR1020110082644

申请日：2011-08-19

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 이귀로 ,  이병주 ,  박종완 ,  김병일 ,  김경태

IPC: G01C19/56 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01P15/02

CPC classification number: G01C19/56 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00 ,  G01P15/02

Abstract: PURPOSE: An inertia sensor and a manufacturing method thereof are provided to make first and second substrates thinner and to form a penetrating electrode, thereby miniaturizing the inertia sensor. CONSTITUTION: An inertia sensor comprises a first substrate(12a), a lower electrode(14), an insulating layer pattern(16c), a second substrate(18a), and an upper electrode(20). The lower electrode is formed inside the first substrate. The insulating layer pattern is arranged on the first substrate and exposes the lower electrode. The second substrate is arranged on the first substrate and the insulating layer pattern. The upper electrode is formed to be faced to the lower electrode. The top surfaces of the lower electrode and first substrate have a same level.

Abstract translation: 目的：提供惯性传感器及其制造方法，以使第一和第二基板更薄并形成穿透电极，从而使惯性传感器小型化。 构成：惯性传感器包括第一基板（12a），下电极（14），绝缘层图案（16c），第二基板（18a）和上电极（20）。 下电极形成在第一基板的内部。 绝缘层图案布置在第一基板上并暴露下电极。 第二基板布置在第一基板和绝缘层图案上。 上电极形成为面向下电极。 下电极和第一衬底的顶表面具有相同的电平。