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1.发明申请독립 나노 구조체의 3차원 구조에 대한 AFM 정밀 측정 방법 및 복수의 AFM 탐침을 가지는 나노 구조체 스캔장치와 이를 이용한 스캔 방법 审中-公开具有独立纳米结构的三维结构的AFM精度测量方法，具有AFM探针的多重性的纳米结构扫描装置和使用其的扫描方法
公开(公告)号：WO2016129791A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：PCT/KR2015/012943
申请日：2015-11-30
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명에 따르면, 서로 다른 해상도를 가지는 복수의 AFM 탐침을 가지는 독립 나노 구조체 스캔장치를 구현하고, 이러한 스캔장치에서 고해상도 AFM 탐침을 이용하여 나노 구조체의 시편상 위치와 형태를 확인한 후, 확인된 나도 구조체에 대해 원자해상도 AFM 탐침을 이용한 스캔을 통해 3차원 형상을 측정함으로써 나노 구조체에 대한 보다 정밀한 측정이 가능하도록 한다.
Abstract translation: 根据本发明，提供了具有多个具有不同分辨率的AFM探针的独立的纳米结构扫描装置。 这种扫描装置通过利用高分辨率AFM探针确认样品上的纳米结构的形状和位置，从而能够更准确地测量纳米结构，然后通过使用原子分辨率AFM的扫描来测量确认的纳米结构的三维形状 探头。
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公开(公告)号：KR1020160098725A
公开(公告)日：2016-08-19
申请号：KR1020150020674
申请日：2015-02-11
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에따르면, 서로다른해상도를가지는복수의 AFM 탐침을가지는독립나노구조체스캔장치를구현하고, 이러한스캔장치에서고해상도 AFM 탐침을이용하여나노구조체의시편상위치와형태를확인한후, 확인된나도구조체에대해원자해상도 AFM 탐침을이용한스캔을통해 3차원형상을측정함으로써나노구조체에대한보다정밀한측정이가능하도록한다.
Abstract translation: 根据本发明，实现了具有不同分辨率的多个AFM探针的独立的纳米结构扫描装置。 通过在独立的纳米结构扫描装置中使用高分辨率的AFM探针来验证纳米结构的测试片上的位置和形状，可以通过使用以下的扫描操作测量三维形状来测量纳米结构上的更精确的测量 原子分辨率AFM探针在经过验证的纳米结构上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101921542B1
公开(公告)日：2018-11-27
申请号：KR1020170005454
申请日：2017-01-12
Abstract: 본기술은열교환기를이용한크라이오스탯이개시되어있다. 본발명의구체화에따르면, 복수의차폐부와외부및 듀어간의연결되는단면적을최소화하는지지부에의해듀어에공급되는외부의전도열및/또는복사열을근본적으로차폐할수 있고, 아랫면과윗면을연결하는통로를가지는양면형열교환기를의거기체헬륨의열교환을수행하므로기체헬륨의열교환면적이증가되고이에극 저온기체헬륨으로인한크라이오스탯의냉각효율이극대화할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170085011A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：KR1020170005604
申请日：2017-01-12
IPC: E05F17/00
Abstract: 본발명은온도에민감한작업을수행하기위해열차단을확실하게하는작업공간에구비된물품이송을위한통로의열교환을최소화하기위한비접촉식슬라이드형다중도어개폐시스템에관한것으로, 각각의벽(100)(200)(300)에나란히설치된도어(110)(210)(310)가직접맞닿아있지않은상태에서자성체(150)(250)에의해개폐가가능하게연동되는도어시스템이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种非接触式滑动式多门开/关系统，其用于最小化用于输送设置在工作空间中的物品的通道中的热交换，以确保绝热端执行对温度敏感的工作， 在门200内并排安装的门110,210和310互锁，从而通过磁体150和250以彼此不直接接触的状态打开和关闭。
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公开(公告)号：KR101718900B1
公开(公告)日：2017-03-23
申请号：KR1020150020674
申请日：2015-02-11
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에따르면, 서로다른해상도를가지는복수의 AFM 탐침을가지는독립나노구조체스캔장치를구현하고, 이러한스캔장치에서고해상도 AFM 탐침을이용하여나노구조체의시편상위치와형태를확인한후, 확인된나도구조체에대해원자해상도 AFM 탐침을이용한스캔을통해 3차원형상을측정함으로써나노구조체에대한보다정밀한측정이가능하도록한다.
Abstract translation: 根据本发明，具有实现具有多个具有不同的分辨率，然后使用高分辨率AFM探针确认在扫描装置中的纳米结构的检体图像的位置和形状的AFM探针的独立的纳米结构的扫描装置的一起，确定余 并通过与原子分辨率AFM探针的扫描的结构，以通过测量三维形状允许纳米结构的更精确的测量。
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公开(公告)号：KR1020170085009A
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：KR1020170005454
申请日：2017-01-12
Abstract: 본기술은다중의양면형열교환기를이용한크라이오스탯이개시되어있다. 본발명의구체화에따르면, 복수의차폐부와외부및 듀어간의연결되는단면적을최소화하는지지부에의해듀어에공급되는외부의전도열및 복사열을근본적으로차폐할수 있고, 아랫면과윗면을연결하는통로를가지는양면형열교환기를의거기체헬륨의열교환을수행하므로기체헬륨의열교환면적이증가되고이에극 저온기체헬륨으로인한크라이오스탯의냉각효율이극대화할수 있다.
Abstract translation: 本技术公开了使用多个双面热交换器的低温恒温器。 根据本发明的实施例中，它可以基本上屏蔽传导热和辐射热的外部，以通过多个屏蔽和分支的最小化外部和杜瓦瓶，并具有连接所述下表面和所述上表面的通路之间的连接的横截面面积被提供给程序 一个双工式热交换器下执行所述气态氦之间的热交换可以如此的低温统计的冷却效率提高氦气的热交换面积，这是由于最大化极端低温氦气。
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