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公开(公告)号：KR1020110075811A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090132367
申请日：2009-12-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A method for detecting damage using a dual sensor is provided to sense damage and detects using a dual sensor which does not need the base information in a normal state of a structure before damaged. CONSTITUTION: A method for detecting damage using a dual sensor comprises a step of attaching a first sensor part to one side and a second sensor part(S10); a step of exciting the first sensor part and sensing the second sensor part(S20); a step of exciting the second sensor part and sensing the first sensor part(S30); and a step of detecting the damage to a structure based on the sensing result of the first and second sensor parts.
Abstract translation: 目的：提供一种使用双传感器检测损伤的方法，以感测损坏，并使用双传感器进行检测，双传感器在损坏之前不需要结构正常状态下的基本信息。 构成：使用双传感器检测损伤的方法包括将第一传感器部分附接到一侧和第二传感器部分的步骤（S10）; 激励第一传感器部分并感测第二传感器部分的步骤（S20）; 激励第二传感器部分并感测第一传感器部分的步骤（S30）; 以及基于第一和第二传感器部件的感测结果来检测对结构的损坏的步骤。
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公开(公告)号：KR1020150088206A
公开(公告)日：2015-07-31
申请号：KR1020150011235
申请日：2015-01-23
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01J5/0007 , G01J5/025 , G01J5/026 , G01J5/047 , G01J5/0803 , G01J5/0806 , G01J5/0831 , G01J5/0896 , G01J5/10 , G01J2005/0048 , G01J2005/0051 , G01J2005/0077 , G01J2005/0081 , G01N2201/06113 , H04N5/33 , H01L22/12 , H01L22/30
Abstract: 반도체칩 표면검사장치및 방법이개시된다. 주기성을갖는연속파레이저를생성하고이를변형하여반도체칩의표면사이즈보다작은광 단면사이즈를갖는검사용레이저빔을생성한다. 다수의반도체칩의표면을국부적으로동시에조사하여가열한후, 검사용레이저빔에대응하여반도체칩으로부터방사되는열파를검출하여반도체칩의열화상이미지를생성한다. 열화상이미지를영상처리하여반도체칩의표면결함을표시하는표면이미지를수득한다. 주기성을갖는연속파레이저를다수의반도체칩 표면으로동시에국부적으로조사하여표면검사를행함으로써표면검사시간을단축하고검사정확도를높일수 있다.
Abstract translation: 公开了一种用于检查半导体芯片的表面的装置和方法。 产生并修改具有周期性的连续波激光，以产生用于检查的激光束，其具有小于半导体芯片的表面尺寸的光学部分尺寸。 光部分地并且同时地注入到多个半导体芯片的表面上，半导体芯片的表面被加热，然后检测从对应于激光束的半导体芯片发射的热波，从而产生热图像。 通过对热图像进行图像处理，获得表示半导体芯片表面的缺陷的表面图像。 具有周期性的连续波激光部分地同时地被注入到半导体芯片的表面上以进行表面检查，从而减少了表面检查时间并提高了表面检查的精度。
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3.发明授权
公开(公告)号：KR101320358B1
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：KR1020120062857
申请日：2012-06-12
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A laser phase locking thermal imaging apparatus for nondestructive inspection is provided to diagnose a structure from a distance without energy loss by using a laser with excellent straightness and coherence, and to perform a non-basis damage diagnosis. CONSTITUTION: A laser phase locking thermal imaging apparatus for nondestructive inspection includes a function generator (10), a laser diode driver (20), a continuous laser device (30), a thermal image camera (40), and a controller (50). The function generator produces a voltage signal. The laser diode driver transforms the voltage signal, which is supplied from the function generator, into current. The continuous diode driver continuously generates laser by using current which is supplied from the laser diode driver, and irradiates the structure with the laser. The thermal image camera measures the structure which is heated by the laser irradiated from the continuous laser device. The controller controls the function generator, and determines whether the structure is damaged or not by receiving the image information of the thermal image camera.
Abstract translation: 目的：提供用于非破坏性检查的激光相位锁定热成像装置，通过使用具有优异的直线度和一致性的激光器，从远距离诊断结构，无需能量损失，并执行非基础损伤诊断。 构成：用于非破坏性检查的激光相位锁定热成像装置包括功能发生器（10），激光二极管驱动器（20），连续激光装置（30），热像相机（40）和控制器（50） 。 函数发生器产生电压信号。 激光二极管驱动器将从功能发生器提供的电压信号转换为电流。 连续二极管驱动器通过使用从激光二极管驱动器提供的电流连续地产生激光，并且用激光照射结构。 热像摄像机测量由连续激光装置照射的激光加热的结构。 控制器控制功能发生器，并通过接收热像摄像机的图像信息来确定结构是否损坏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110000292A
公开(公告)日：2011-01-03
申请号：KR1020090057721
申请日：2009-06-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A damage detection method is provided to remarkably reduce errors by using a pair of piezoelectric sensors and to detect damage to a plate member even if a measurement signal is not existed. CONSTITUTION: A damage detection method is as follows. First and second piezoelectric sensors are installed on one surface and the other surface of a plate member and correspond each other. Lamb waves of S and A modes spread through the plate member are generated. The first and second piezoelectric sensors measure the generated lamb waves. It is determined whether damage is occurred or not by confirming a mode variation in the lamb waves from the measured signal.
Abstract translation: 目的：通过使用一对压电传感器，即使不存在测量信号，也能够检测板构件的损坏，提供损害检测方法，显着降低误差。 构成：损伤检测方法如下。 第一和第二压电传感器安装在板件的一个表面和另一个表面上并相互对应。 产生通过板构件扩散的S和A模的兰姆波。 第一和第二压电传感器测量产生的羊羔波。 通过从测量信号确认兰姆波中的模式变化来确定是否发生损坏。
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公开(公告)号：KR101225703B1
公开(公告)日：2013-01-25
申请号：KR1020110001554
申请日：2011-01-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 일 측면에 따른 손상 감지 방법의 일 실시예는, 구조물이 초기 상태에 있을 때, 상기 구조물에 부착된 압전체의 어드미턴스를 측정한 제1어드미턴스 데이터를 취득하는 단계와, 상기 제1어드미턴스 데이터를, 상기 압전체와 상기 구조물 사이의 상호작용에 의존하는 능동 부분과, 상기 제1압전체의 고유특성에 의존하는 수동 부분으로 분리하는 단계와, 상기 구조물이 임의의 상태에 있을 때 상기 압전체의 어드미턴스를 측정한 제2어드미턴스 데이터를 취득하는 단계와, 상기 제2어드미턴스 데이터를 상기 압전체와 상기 구조물 사이의 상호작용에 의존하는 능동 부분과 상기 제1압전체의 고유특성에 의존하는 수동 부분으로 분리하는 단계와, 상기 제1어드미턴스 데이터의 능동 부분과 상기 제2어드미턴스 데이터의 능동 부분을 비교하는 단계 를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 일 측면에 따르면 압전체의 임피던스와 유도파를 효과적으로 함께 계측할 수 있는 임피던스 및 유도파 통합 계측 장치가 제공된다.-
公开(公告)号：KR101129726B1
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：KR1020090132367
申请日：2009-12-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 듀얼센서를 이용한 손상감지방법에 관한 것으로, 구조물의 일측에 제1센서부와 제2센서부를 부착하는 단계와, 제1센서부가 가진하고, 제2센서부가 감지하는 단계와, 제2센서부가 가진하고, 제1센서부가 감지하는 단계 및 제1센서부와 제2센서부의 감지 결과를 통해 기저정보 없는 구조물의 손상 유무를 판별하는 단계를 포함한다.
본 발명에 따른 듀얼센서를 이용한 손상감지방법은 구조물의 일측에만 부착되어 손상 없는 구조물에 대한 기저정보가 없더라도 구조물에 대한 손상 유무를 판별할 수 있다.
구조물, 손상, 모드 변이, 신호 항등식-
公开(公告)号：KR1020120080095A
公开(公告)日：2012-07-16
申请号：KR1020110001554
申请日：2011-01-06
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A method for sensing damages based on an impedance-guided wave and an impedance-guided wave integration measuring device are provided to efficiently sense a damage of a structure regardless of an environmental change and efficiently measure the impedance and guided waves of a piezoelectric. CONSTITUTION: A method for sensing damages of a structure is as follows. First admittance data is obtained by measuring the admittance of a piezoelectric attached on a structure is obtained in an initial state of a structure(S12). The first admittance is divided into an active portion depending on an interaction of between the piezoelectric and structure and a passive portion depending on natural properties of a first piezoelectric(S20). Second admittance data is obtained by measuring the admittance of the piezoelectric is obtained in an arbitrary state of the structure(S32). The second admittance is divided into an active portion depending on an interaction of between the piezoelectric and structure and a passive portion depending on natural properties of a first piezoelectric(S40). The active portions of the first admittance and second admittance are compared(S54).
Abstract translation: 目的：提供一种用于感测基于阻抗导波的损伤的方法和阻抗导向波积分测量装置，以有效地感测结构的损害，而不管环境变化如何，并且有效地测量压电体的阻抗和导波。 构成：用于检测结构损坏的方法如下。 通过测量在结构的初始状态下获得附着在结构上的压电体的导纳获得第一导纳数据（S12）。 根据第一压电体的自然特性，第一导纳根据压电体和结构体之间的相互作用被分为有源部分和被动部分（S20）。 通过测量在结构的任意状态下获得压电体的导纳来获得第二导纳数据（S32）。 根据第一压电体的自然特性，第二导纳根据压电体和结构体之间的相互作用被分为有源部分和被动部分（S40）。 比较第一导纳和第二导纳的有效部分（S54）。
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公开(公告)号：KR101094906B1
公开(公告)日：2011-12-15
申请号：KR1020090057721
申请日：2009-06-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은, 전체적으로 일정한 두께를 가지는 판부재에 형성되며, 상기 판부재의 두께가 부분적으로 변경되는 형태의 손상부를 감지하기 위한 손상감지방법에 있어서, 상기 판부재의 일측면과 타측면에 제1압전센서와 제2압전센서가 서로 대응되도록 설치된 상태에서, 상기 제1압전센서와 제2압전센서를 가진시켜, 상기 판부재를 통해 전파되어지는 S모드 및 A모드의 램(Lamb)파를 발생시키는 가진단계와, 상기 제1압전센서와 제2압전센서에 의해서 발생된 상기 램파가 되돌아오는 것을 제1압전센서와 제2압전센서로 계측하기 위한 계측단계와, 상기 제1 및 제2압전센서로 계측된 계측신호로부터, 상기 램파에서 모드변이가 발생하였는지를 파악하여, 그 모드변이의 발생여부에 따라 상기 손상부의 유무를 판정하는 손상판정단계를 구비하는 것을 특징으로 한다.
압전센서, 램파, 모드변이, 손상감지방법
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