公开(公告)号：KR1020150100258A

公开(公告)日：2015-09-02

申请号：KR1020140021838

申请日：2014-02-25

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  현가담 ,  박준용 ,  안창의

IPC: H01L31/0236 ,  H02S40/22 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/054

CPC classification number: Y02E10/52 ,  H01L31/0236 ,  H01L31/0445 ,  H01L31/054 ,  H01L31/0543 ,  H02S20/10 ,  H02S40/20 ,  H02S40/22 ,  Y02E10/50

Abstract: 본 발명은 탈봇효과를 이용하여 박막태양전지의 광효율을 증가시키는 부착형 탄성 중합체 스탬프 및 이의 제조 방법에 관한 것으로서, 기저부 및 기저부의 하단에 서로 동일한 크기 및 형태를 가지고 주기적으로 배열된 복수의 돌출부를 포함하되, 돌출부의 주기는 입사광의 파장과 동일하거나 큰 주기를 가지고 돌출부의 부피는 비돌출부의 공간 부피와 동일하여 탈봇효과(Talbot effect)로 광을 자기집속(Self-focusing)시키는 것을 특징으로 하는 부착형 탄성 중합체 스탬프에 관한 것이다.
본 발명에 따른 부착형 탄성 중합체 스탬프는 탈봇효과(Talbot effect)로 광을 포획하여 광전변환 효율을 향상시키고, 박막태양전지의 표면에 탈부착 가능한 장점이 있다.

Abstract translation: 本发明涉及通过光学Talbot效应提高薄膜太阳能电池的光学效率的附着型弹性体印模及其制造方法。 本发明涉及一种连接型弹性体印模，其包括基部和位于基部的下端的具有相同尺寸和形状的突出部分，并且周期性地布置。 突出部分的周期与入射光束的波长相同或更大。 突出部分的体积与非突出部分的空间体积相同。 光束通过使用Talbot效应自我聚焦。 根据本发明的连接型弹性体印模通过Talbot效应捕获光束，提高光电转换效率，并且可从薄膜太阳能电池的表面拆卸。

公开(公告)号：KR101400363B1

公开(公告)日：2014-06-27

申请号：KR1020130058212

申请日：2013-05-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  안창의

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  C01G9/02 ,  C01F7/02

CPC classification number: B01D67/0039 ,  B01D67/0062 ,  B01D71/024 ,  Y10T428/24802

Abstract: The present invention relates to a three-dimensional nanostructure metal oxide manufacturing method comprising: (a) a step of spin-coating a substrate with a photoresist; (b) a step of forming pores of a periodic three-dimensional porous nanostructured pattern on the photoresist through a proximity-field nanopatterning method; (c) a step of inducing a metal oxide into the three-dimensional porous pores by using the photoresist, as a template, wherein the periodic three-dimensional porous nanostructured pattern is formed by an atomic layer deposition using a metal precursor; and (d) a step of obtaining a three-dimensional nanostructured porous metal oxide of an inverse form of the three-dimensional porous nanostructure formed on the photoresist by removing the photoresist template, and to a metal oxide manufactured thereby.

Abstract translation: 本发明涉及三维纳米结构金属氧化物制造方法，其包括：（a）用光致抗蚀剂旋涂基板的步骤; （b）通过邻近场纳米图案法在光致抗蚀剂上形成周期性三维多孔纳米结构图案的孔的步骤; （c）通过使用光致抗蚀剂作为模板将金属氧化物引入三维多孔孔的步骤，其中通过使用金属前体的原子层沉积形成周期性的三维多孔纳米结构图案; 以及（d）通过除去光致抗蚀剂模板而获得形成在光致抗蚀剂上的三维多孔纳米结构体的反向形式的三维纳米结构多孔金属氧化物的步骤，以及由此制造的金属氧化物。

公开(公告)号：KR1020160144151A

公开(公告)日：2016-12-16

申请号：KR1020150080562

申请日：2015-06-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  안창의 ,  백진욱

IPC: C25D1/00 ,  C25D1/08 ,  C25D1/10 ,  C25D17/10

Abstract: 3차원금속복합체의제조방법에있어서, 포토레지스트막을패터닝하여 3차원다공성주형을형성한다. 3차원다공성주형에포함된기공을채우는제1 금속패턴을형성한다. 3차원다공성주형을제거한다. 제1 금속패턴표면에중간막을형성한다. 중간막상에제1 금속패턴에포함된기공을채우는제2 금속패턴을형성한다.

公开(公告)号：KR101391730B1

公开(公告)日：2014-05-07

申请号：KR1020130061276

申请日：2013-05-29

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  안창의

IPC: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  G03F7/004

CPC classification number: B82B3/00 ,  B82B1/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/0042 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/20 ,  G03F7/2018

Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing a multi-dimensional nanostructure metal oxide comprising: (a) a step of spraying a photoresist on a substrate; (b) a step of forming the pore of a regular three-dimensional porous nanostructure pattern on the photoresist through a proximity-field nanopatterning; (c) a step of bringing a first metal oxide in the three-dimensional porous pore by using the photoresist in which the regular three-dimensional porous nanostructure pattern is formed by an atomic layer deposition method using a first metal precursor as a template; (d) a step of obtaining the porous first oxide which is three-dimensionally nanostructured in an inverse form of the three-dimensional porous nanostructure formed on the photoresist by removing the photoresist template; and (e) a step of forming a second metal oxide of a one-dimensional nanostructure on the inner space or surface of the first metal oxide which is three-dimensionally nanostructured, and to a multi-dimensional nanostructure metal oxide manufactured thereby.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造多维纳米结构金属氧化物的方法，包括：（a）在基板上喷涂光刻胶的步骤; （b）通过邻近场纳米图案在光致抗蚀剂上形成规则的三维多孔纳米结构图案的孔的步骤; （c）通过使用第一金属前体作为模板的原子层沉积法，通过使用其中形成规则的三维多孔纳米结构图案的光致抗蚀剂使第一金属氧化物在三维多孔孔中引入的步骤; （d）通过去除光致抗蚀剂模板获得在光致抗蚀剂上形成的三维多孔纳米结构的反向形式的三维纳米结构的多孔第一氧化物的步骤; 和（e）在三维纳米结构化的第一金属氧化物的内部空间或表面上形成一维纳米结构的第二金属氧化物的步骤，以及由其制造的多维纳米结构金属氧化物。

公开(公告)号：KR102031824B1

公开(公告)日：2019-10-21

申请号：KR1020170121565

申请日：2017-09-21

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  안창의

IPC: C08J9/42 ,  C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  H01L21/027 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR101691969B1

公开(公告)日：2017-01-02

申请号：KR1020150080562

申请日：2015-06-08

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 전석우 ,  안창의 ,  백진욱

IPC: C25D1/00 ,  C25D1/08 ,  C25D1/10 ,  C25D17/10

Abstract: 3차원금속복합체의제조방법에있어서, 포토레지스트막을패터닝하여 3차원다공성주형을형성한다. 3차원다공성주형에포함된기공을채우는제1 금속패턴을형성한다. 3차원다공성주형을제거한다. 제1 금속패턴표면에중간막을형성한다. 중간막상에제1 금속패턴에포함된기공을채우는제2 금속패턴을형성한다.