公开(公告)号：KR1020100011221A

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：KR1020080072347

申请日：2008-07-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 강정구 ,  최경민 ,  최정훈 ,  오거스틴 ,  신원호 ,  양성호

IPC: B01J23/745 ,  B01J37/34 ,  B82B3/00 ,  B82Y30/00

CPC classification number: B01J27/24 ,  B01J23/745 ,  B01J35/0013 ,  B01J37/08 ,  B01J37/349 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/04 ,  C01B2202/36

Abstract: PURPOSE: Metal catalysts with locally controlled chemical activities and a manufacturing method thereof are provided to manufacture carbon nano-tube having the constant walls can be controlled by controlling the size and structure of the metal catalyst. CONSTITUTION: A manufacturing method of metal catalysts with locally controlled chemical activities includes the following steps: patterning micelle containing iron nano-particles on a silicon substrate; forming an iron particle by processing a copper substrate with plasma; extracting iron nitrides inside the iron particles by processing the iron particle with nitrogen plasma; and etching the iron nitrides after removing iron in the ethanol and a nitric acid mixture. In a plasma process, the plasma power is 500-800W and the plasma is formed at the temperatures of 600-900°C.

Abstract translation: 目的：提供具有局部控制的化学活性的金属催化剂及其制造方法，用于制造具有恒定壁的碳纳米管可以通过控制金属催化剂的尺寸和结构来控制。 构成：具有局部控制化学活性的金属催化剂的制造方法包括以下步骤：在硅衬底上形成含有铁纳米颗粒的胶束; 通过用等离子体处理铜基板形成铁颗粒; 通过用氮等离子体处理铁颗粒来提取铁颗粒内的铁氮化物; 并且在除去乙醇中的铁和硝酸混合物之后蚀刻铁氮化物。 在等离子体工艺中，等离子体功率为500-800W，等离子体在600-900℃的温度下形成。

公开(公告)号：KR100975656B1

公开(公告)日：2010-08-17

申请号：KR1020080072347

申请日：2008-07-24

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 강정구 ,  최경민 ,  최정훈 ,  오거스틴 ,  신원호 ,  양성호

IPC: B01J23/745 ,  B01J37/34 ,  B82B3/00 ,  B82Y30/00

CPC classification number: B01J27/24 ,  B01J23/745 ,  B01J35/0013 ,  B01J37/08 ,  B01J37/349 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00 ,  C01B32/162 ,  C01B2202/04 ,  C01B2202/36

Abstract: 본 발명은 나노물질의 구조 변화를 위하여 사용되는 국부적으로 화학적 활성이 제어된 나노크기의 금속촉매와 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 철 나노입자가 첨가 되어 있는 블록 공중 합체 마이셀을 스핀코터로 코팅하는 금속 나노입자 패터닝 공정과, 실리콘 기판위에 플라즈마 처리에 의하여 마이셀을 제거하고 일정한 크기와 간격을 가지는 철 파티클 형성 공정과, 전기의 철 파티클을 질소 플라즈마로 처리하여 철파티클 내부에 질화철을 석출시키는 플라즈마 공정과, 에탄올과 질산 혼합용액으로 외부의 철을 제거하고 내부의 질화철을 노출시키는 에칭공정으로 구성된다.
본 발명의 금속촉매는 나노 크기로 분포된 철 촉매 나노입자의 내부에 화학적으로 비활성의 노출된 질화철과 활성의 쉘을 생성시키므로 제어할 수 있는 일정한 벽수를 가지는 탄소나노튜브를 제조 할 수 있다.
탄소나노튜브, 금속촉매, 마이셀, 철파티클, 질화철, 플라즈마, 에칭