公开(公告)号：KR1019970013008A

公开(公告)日：1997-03-29

申请号：KR1019950027603

申请日：1995-08-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김도현 ,  왕종회

IPC: H01L21/208

Abstract: 본 발명은 SOI소자 제조장치 및 그를 이용한 SOI소자의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로, 본 발명은 간단하며 경제적으로 대형의 SOI소자를 제조할 수 있는 SOI소자 제조장치 및 전기한 제조장치를 사용하여 결정성이 우수한 대형의 SOI소자를 경제적으로 제조할 수 있는 방법에 관한 것이다. 본 발명의 SOI소자 제조장치는 내열용기(11)에 충진된 다결정 실리콘(12)을 가열하여 용융시키기 위한 가열수단(13); 일면에 실리콘 단결정 시드(14)가 부착된 절연기판(4)을 상하로 이동시키면서 절연기판(4) 상에 내열용기(11)에 충진된 실리콘 용융액을 침적시켜 단결정 막막(5)을 형성하기 위한 절연기판 이송수단(15); 및 절연기판 이송수단(15)의 상하 이동에 의해 절연기판(4)상에 형성된 단결정 박막(5)의 두께를 일정하게 유지시키기 위한 쉐이퍼(16)로 구성된다. 또한, 본 발명의 SOI소자 제조방법은 실리콘 용융액을 제조하는 공정; 실리콘 용융액에 단결정 시드(14)를 침적시켜 용융시키고 절연기판(4)을 상방으로 이동시키면서 절연기판(4)에 침적된 실리콘 용융액을 응고시켜 단결정 박막(5)을 성장시키는 공정; 및 쉐이퍼(16)에 의해 절연기판(4) 상에 형성된 단결정 박막(5)의 두께를 일정하게 유지시키는 공정을 포함한다.