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公开(公告)号:KR1020040005319A
公开(公告)日:2004-01-16
申请号:KR1020020039823
申请日:2002-07-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A long stroke stage using a double H-structure including I-shaped beam is provided to reduce the weight of a system and enhance the efficiency by forming the stage with the double H-structure including I-shaped beams. CONSTITUTION: A long stroke stage using a double H-structure including I-shaped beam includes a sample transfer unit(10), a frame(20), a plurality of guide bars(40a,40b), and a base(50). The sample transfer unit(10) includes the first linear motor coils(13), a plurality of air bearings for preventing the frictional force, a measuring mirror(18) for measuring a position of an upper side, and the first air bearings. The frame(20) is formed by coupling a plurality of I-shaped beams to each other. The first I-shaped beams are arranged at the first linear motor magnet(14). The first air bearings and the second linear motor coil(24) are installed at the second I-shaped beams. The second air bearings are installed at a lower portion of the frame(20). The second linear motor magnet(25) and a stopper(42) are installed at the guide bars(40a,40b). The sample transfer unit(10), the frame(20), and the guide bars(40a,40b) are located on the base(50).
Abstract translation: 目的:提供使用包括I形梁的双H结构的长行程台,以减少系统的重量,并通过形成具有包括I形梁的双H结构的平台来提高效率。 构成:使用包括I形梁的双H结构的长行程台包括样品转移单元(10),框架(20),多个导杆(40a,40b)和基座(50)。 样品转印单元(10)包括第一线性马达线圈(13),用于防止摩擦力的多个空气轴承,用于测量上侧位置的测量镜(18)和第一空气轴承。 框架(20)通过将多个I形梁彼此联接而形成。 第一I形梁布置在第一线性电动机磁体(14)处。 第一空气轴承和第二线性电动机线圈(24)安装在第二I形梁上。 第二空气轴承安装在框架(20)的下部。 第二线性电动机磁体(25)和止动件(42)安装在导杆(40a,40b)处。 样品转印单元(10),框架(20)和导杆(40a,40b)位于基底(50)上。
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公开(公告)号:KR100428052B1
公开(公告)日:2004-04-28
申请号:KR1020020039823
申请日:2002-07-09
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A long stroke stage using a double H-structure including I-shaped beam is provided to reduce the weight of a system and enhance the efficiency by forming the stage with the double H-structure including I-shaped beams. CONSTITUTION: A long stroke stage using a double H-structure including I-shaped beam includes a sample transfer unit(10), a frame(20), a plurality of guide bars(40a,40b), and a base(50). The sample transfer unit(10) includes the first linear motor coils(13), a plurality of air bearings for preventing the frictional force, a measuring mirror(18) for measuring a position of an upper side, and the first air bearings. The frame(20) is formed by coupling a plurality of I-shaped beams to each other. The first I-shaped beams are arranged at the first linear motor magnet(14). The first air bearings and the second linear motor coil(24) are installed at the second I-shaped beams. The second air bearings are installed at a lower portion of the frame(20). The second linear motor magnet(25) and a stopper(42) are installed at the guide bars(40a,40b). The sample transfer unit(10), the frame(20), and the guide bars(40a,40b) are located on the base(50).
Abstract translation: 目的:提供一个采用双H形结构(包括I形梁)的长冲程阶段,通过形成包括I形梁的双H结构的舞台,减轻系统重量并提高效率。 组成:使用包括I形梁的双H结构的长冲程阶段包括样品传送单元10,框架20,多个导向杆40a和40b以及底座50。 样品传送单元10包括第一线性马达线圈13,用于防止摩擦力的多个空气轴承,用于测量上侧的位置的测量镜18以及第一空气轴承。 框架(20)通过将多个I形梁彼此连接而形成。 第一I形梁布置在第一线性电机磁体(14)处。 第一空气轴承和第二线性马达线圈(24)安装在第二工字梁上。 第二空气轴承安装在框架(20)的下部。 第二线性电机磁体(25)和止动器(42)安装在导杆(40a,40b)上。 样本转移单元10,框架20和引导杆40a,40b位于基部50上。
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公开(公告)号:KR1020040004823A
公开(公告)日:2004-01-16
申请号:KR1020020038871
申请日:2002-07-05
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G11B21/02
Abstract: PURPOSE: A voice coil motor for an information storing device is provided to increase the magnetic flux density of a part through which a coil is passing, thereby increasing the force of the voice coil motor, and extend the section having a uniform magnetic flux density, thereby increasing the driving range of the voice coil motor. CONSTITUTION: A voice coil motor for an information storing device includes vertical magnets(31,32) respectively having N and S poles disposed on their vertical axes for providing magnetic force lines rotating vertically, and a horizontal magnet(33) fitted in the middle of the vertical axis magnets and having N and S poles disposed on its horizontal axis for providing magnetic force lines rotating horizontally. A lower yoke(142) supports the vertical and horizontal magnets. An upper yoke(141) is in the cap shape for covering the horizontal and vertical magnets, thereby concentrating the magnetic fluxes generated by the vertical and horizontal magnets. A coil is disposed in the magnetic fluxes of the vertical and horizontal magnets for generating electromagnetic force.
Abstract translation: 目的:提供一种用于信息存储装置的音圈电机,以增加线圈通过的部分的磁通密度,从而增加音圈电机的力,并延伸具有均匀磁通密度的部分, 从而增加音圈电机的驱动范围。 构成:用于信息存储装置的音圈电机包括垂直磁铁(31,32),它们分别具有设置在其垂直轴上的N和S极,用于提供垂直旋转的磁力线;以及水平磁体(33) 垂直轴磁铁,其N和S极设置在其水平轴上,用于提供水平旋转的磁力线。 下轭铁(142)支撑垂直和水平磁体。 上磁轭(141)处于盖形状,用于覆盖水平和垂直磁体,从而集中由垂直和水平磁体产生的磁通量。 线圈设置在垂直和水平磁体的磁通中,用于产生电磁力。
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公开(公告)号:KR100497730B1
公开(公告)日:2005-06-28
申请号:KR1020030021824
申请日:2003-04-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H02K41/02
Abstract: 본 발명은 다극자석배열의 조립구조에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 인접한 자석간에 강한 반발력이 발생하는 다극자석배열을 제작하기 위해, 각각의 자석을 고정하도록 턱이 형성된 지그에 자석을 삽입하여 구속하는 구성을 채택한 지그를 이용한 다극자석배열 조립구조에 관한 것이다. 본 발명에 따른 지그를 이용한 다극자석배열 조립구조는 판상이며 양측 가장자리에 중앙부분보다 작은 두께의 결합부가 형성된 복수의 자석; 상기 자석이 삽입되며, 상기 자석을 구속하기 위해 상기 결합부의 길이보다 같거나 작은 걸림턱이 형성된 복수의 지그; 일면에 상기 복수의 지그가 소정 간격을 두고 2열로 평행하게 배치되는 평판인 지지판; 및 상기 자석이 상기 지그를 이탈하지 않도록 하기 위해 상기 평행하게 배치된 지그 양 쪽 가장자리에 설치되는 고정부를 포함하여 구성된다.
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公开(公告)号:KR100483955B1
公开(公告)日:2005-04-18
申请号:KR1020020038871
申请日:2002-07-05
Applicant: 한국과학기술원
IPC: G11B21/02
Abstract: 본 발명은 보이스 코일 모터에 있어서, 특히 다양한 형태의 자석배열을 통해 자속밀도를 높이도록 하고, 자속이 균일한 구간을 확장토록 하는 것을 특징으로 하는 정보 저장 기기용 보이스 코일 모터에 관한 것으로,
수직축으로 N극과 S극이 위치하도록 배열되어 수직축으로 회전하는 자기력선을 제공하는 수직축 영구자석과; 상기 수직축 영구자석의 중앙에 끼움결합되며, 수평축으로 N극과 S극이 배열되어 수평축으로 회전하는 자기력선을 제공하는 수평축 영구자석과; 상기 수직축 영구자석과 수평축 영구자석을 지지하는 하부요크와; 상기 수직축 영구자석과 수평축 영구자석을 덮는 캡(∩) 형태로서 수직축 영구자석 및 수평축 영구자석에서 발생하는 자속을 집중시키는 상부요크 및; 상기 수직축 영구자석과 수평축 영구자석의 자계속에 배치되어 전자기력을 발생시키는 코일을 포함하여 이루어짐이 특징이며;
코일이 지나가는 부분의 자속밀도가 증가하여 보이스 코일 모터가 큰 힘을 발휘할 수 있고, 자속밀도가 균일한 구역이 확장됨으로서 보이스 코일 모터의 구동범위를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号:KR1020040087756A
公开(公告)日:2004-10-15
申请号:KR1020030021824
申请日:2003-04-08
Applicant: 한국과학기술원
IPC: H02K41/02
Abstract: PURPOSE: An assembling structure of a multi-polar magnet array using a jig is provided to reduce an assembling period of time by simplifying an assembly structure of a multi-polar magnet array. CONSTITUTION: An assembling structure of a multi-polar magnet array using a jig includes a plurality of magnets, a plurality of jigs, a support plate, and a plurality of fixing parts. A coupling portion is formed at an edge of the magnet(21). The magnet is inserted into the jig. A stopper is formed at the jig(10) in order to control the magnet. The jigs are arranged in a predetermined interval on the support plate(1). The fixing parts(18) are installed at both sides of the jig in order to prevent the separation of the magnets from the jigs. A bolt hole is formed at the support plate in order to fix the jig by using a bolt(14).
Abstract translation: 目的:提供使用夹具的多极磁体阵列的组装结构,通过简化多极磁体阵列的组装结构来减少组装时间。 构成:使用夹具的多极磁体阵列的组装结构包括多个磁体,多个夹具,支撑板和多个固定部件。 在磁体(21)的边缘处形成有耦合部。 将磁体插入夹具中。 为了控制磁体,在夹具(10)上形成有止动件。 夹具以预定间隔布置在支撑板(1)上。 固定部件(18)安装在夹具的两侧,以防止磁体与夹具分离。 在支撑板上形成螺栓孔,以便通过使用螺栓(14)固定夹具。
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