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1.发明专利
公开(公告)号：KR20210033821A
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020190115599A
申请日：2019-09-19
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L51/56 , G01Q60/38 , G01R1/071 , H01L51/0002 , H01L51/001 , H01L51/0023 , H01L51/52 , H01L51/5253 , A61B5/0084
Abstract: 유기 광원이 집적된 탐침 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 유기 광원 집적 방법은, 탐침 소자 위에 제1 박막 봉지막을 형성하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제1 영역에 상기 제1 전극을 증착하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제2 영역에 상기 절연층을 증착하는 단계와, 상기 제1 전극과 상기 절연층 위에 발광층을 증착하는 단계와, 상기 발광층의 위에 제2 전극을 증착하는 단계와, 상기 제2 전극의 위에 제2 박막 봉지막을 형성하는 단계를 포함한다.
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2.发明专利
公开(公告)号：KR102235134B1
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：KR1020190115599A
申请日：2019-09-19
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G01Q60/38 , G01R1/071 , H01L51/0002 , H01L51/52 , H01L51/56
Abstract: 유기 광원이 집적된 탐침 및 이의 제조 방법이 개시된다. 일 실시예에 따른 유기 광원 집적 방법은, 탐침 소자 위에 제1 박막 봉지막을 형성하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제1 영역에 상기 제1 전극을 증착하는 단계와, 상기 제1 박막 봉지막 상의 제2 영역에 상기 절연층을 증착하는 단계와, 상기 제1 전극과 상기 절연층 위에 발광층을 증착하는 단계와, 상기 발광층의 위에 제2 전극을 증착하는 단계와, 상기 제2 전극의 위에 제2 박막 봉지막을 형성하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号：KR102235134B1
公开(公告)日：2021-04-02
申请号：KR1020190115599
申请日：2019-09-19
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유기광원이집적된탐침및 이의제조방법이개시된다. 일실시예에따른유기광원집적방법은, 탐침소자위에제1 박막봉지막을형성하는단계와, 상기제1 박막봉지막상의제1 영역에상기제1 전극을증착하는단계와, 상기제1 박막봉지막상의제2 영역에상기절연층을증착하는단계와, 상기제1 전극과상기절연층위에발광층을증착하는단계와, 상기발광층의위에제2 전극을증착하는단계와, 상기제2 전극의위에제2 박막봉지막을형성하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020210033821A
公开(公告)日：2021-03-29
申请号：KR1020190115599
申请日：2019-09-19
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 유기광원이집적된탐침및 이의제조방법이개시된다. 일실시예에따른유기광원집적방법은, 탐침소자위에제1 박막봉지막을형성하는단계와, 상기제1 박막봉지막상의제1 영역에상기제1 전극을증착하는단계와, 상기제1 박막봉지막상의제2 영역에상기절연층을증착하는단계와, 상기제1 전극과상기절연층위에발광층을증착하는단계와, 상기발광층의위에제2 전극을증착하는단계와, 상기제2 전극의위에제2 박막봉지막을형성하는단계를포함한다.
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