公开(公告)号：KR102221162B1

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：KR1020190039688

申请日：2019-04-04

Applicant: 연세대학교 산학협력단 ,  한국과학기술원

Inventor： 김종백 ,  조은환 ,  이재용 ,  윤준보 ,  서민호 ,  이용복 ,  김수본

IPC: B81B7/02 ,  B81B1/00 ,  C01B32/158 ,  H01L29/06 ,  H01L21/02 ,  B81C1/00

Abstract: 본발명은금속나노입자가코팅된탄소나노튜브네트워크를포함하여, 접촉저항이낮으면서도높은접촉수명을갖는접촉식마이크로소자및 이의제조방법에관한것으로, 좀더 구체적으로는수직방향으로가해지는힘에의해압축이가능한탄소나노튜브네트워크를포함하고, 이러한압축으로인한접촉면적의변화를통해마이크로소자의전기저항이변화될수 있으며, 상기탄소나노튜브네트워크에전도성이높은금속나노입자가코팅되어낮은접촉저항과높은접촉수명을갖는마이크로소자(예를들어 MEMS 스위치, MEMS relay, 접촉식스위치기반의논리소자, 접촉식센서등)를제공할수 있다. 대기및 고전류접촉환경(1 μA)에서백만번 이상의높은수명을가지면서도약한접촉에서도낮은접촉저항을갖는장점이있다.

公开(公告)号：KR102059348B1

公开(公告)日：2019-12-26

申请号：KR1020170114218

申请日：2017-09-07

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 윤준보 ,  윤건욱 ,  이용복

IPC: F21V8/00