公开(公告)号：KR1020100086806A

公开(公告)日：2010-08-02

申请号：KR1020090006232

申请日：2009-01-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조성오 ,  이은제

IPC: B32B27/16 ,  B32B27/06 ,  C08J5/18 ,  B82Y30/00

CPC classification number: B32B27/16 ,  B32B7/12 ,  B32B27/06 ,  C08J5/18

Abstract: PURPOSE: A fabrication method of a layered structure film, and a fabrication method of large area super-hydrophobic and super-hydrophilic surfaces using the layered structure film are provided to simplify the fabrication process of a layered structure with the high surface flection. CONSTITUTION: A fabrication method of a layered structure film using an electron beam irradiation comprises the following steps: forming a multi-layer film using a sphere micro-particle of a carbon polymer(S100); coating a mixture of silica nano particles and a silicon polymer material on the multi-layer film for forming a complex film of an organic compound and an inorganic compound(S200); and irradiating the electron beam to the complex film to form a micro-nano layered structure film(S300).

Abstract translation: 目的：提供层状结构膜的制造方法以及使用层叠结构膜的大面积超疏水性和超亲水性表面的制造方法，以简化具有高表面弯曲度的层状结构的制造工艺。 构成：使用电子束照射的层状结构膜的制造方法包括以下步骤：使用碳聚合物的球形微粒形成多层膜（S100）; 在多层膜上涂布二氧化硅纳米粒子和硅聚合物材料的混合物，形成有机化合物和无机化合物的复合膜（S200）。 并向复合膜照射电子束以形成微纳米层状结构膜（S300）。

公开(公告)号：KR100891146B1

公开(公告)日：2009-04-06

申请号：KR1020070076494

申请日：2007-07-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조성오 ,  이은제

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/20 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 계층적 기공구조물 및 계층적 기공구조물을 이용한 초소수성 및 초친수성 표면 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 전자빔을 조사하여 높은 표면 굴곡을 가지는 마이크로-나노의 복합적인 기공구조와, 표면에너지 증감물질을 이용하여 초친수성 또는 초소수성 물질을 형성할 수 있으며, 전자빔 조사 및 표면에너지 증감물질 처리의 단순 공정으로 초친수성 또는 초소수성 물질을 대량으로 고속 생산할 수 있는 계층적 기공구조물 및 계층적 기공구조물을 이용한 초소수성 및 초친수성 표면 제조방법을 제공하기 위한 것이다.
그 기술적 구성은 기판 표면에 전구체 물질을 일정 두께로 코팅하는 제1 단계; 상기 전구체 물질에 전자빔을 조사하여 전구체 물질에 표면 굴곡이 증가하도록 계층적 기공을 형성하는 제2 단계; 상기 전구체 물질의 표면 에너지를 증감시키는 물질을 이용하여 초소수성 또는 초친수성으로 변경하는 제3 단계; 를 포함하며 이루어지는 것을 특징으로 한다.
마이크로, 나노, 계층적 기공, 초소수성, 초친수성, 표면, 처리

公开(公告)号：KR1020090012567A

公开(公告)日：2009-02-04

申请号：KR1020070076494

申请日：2007-07-30

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조성오 ,  이은제

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/20 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01L21/324 ,  B82Y40/00 ,  H01L21/02205 ,  H01L21/268

Abstract: A fabrication method of super hydrophobic and super hydrophilic surfaces using hierarchical pore structure produced by electron beam irradiation is provided to simply control the surface energy of a substrate chemically and physically. A hierarchic pore structure comprises a substrate(10) and a precursor(20). The precursor is formed on the top of the substrate. The precursor includes the hierarchic air bubbles by being irradiated by the electron beam(30). Hierarchic air bubbles increases the surface topology of the precursors. The hierarchic air bubbles are comprised of the air bubbles of microscopic and the air bubbles of nano size. After the electron beam is irradiated, the gradient material(40) of the surface energy is applied to the precursors.

Abstract translation: 使用通过电子束照射产生的分层孔结构的超疏水和超亲水表面的制造方法被提供以简单地控制化学和物理的衬底的表面能。 分级孔结构包括基底（10）和前体（20）。 前体形成在基底的顶部。 前体通过被电子束（30）照射而包括分级气泡。 分层气泡增加前体的表面拓扑。 分级气泡由微观气泡和纳米尺寸的气泡组成。 在照射电子束之后，将表面能的梯度材料（40）施加到前体上。

公开(公告)号：KR101071320B1

公开(公告)日：2011-10-07

申请号：KR1020090006232

申请日：2009-01-23

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 조성오 ,  이은제

IPC: B32B27/16 ,  B32B27/06 ,  C08J5/18 ,  B82Y30/00

Abstract: 이를위해본 발명에따른전자빔조사를이용한계층구조필름의제조방법은탄소고분자물질의구형마이크로입자로다중층의필름을형성하는단계와, 상기다중층의필름에실리콘고분자물질과실리카(silica) 나노입자의혼합물을코팅하여유기물과무기물의복합필름을형성하는단계및 상기유기물과무기물의복합필름에전자빔을조사하여마이크로·나노계층구조의필름을형성하는단계를포함하여구성된다.