公开(公告)号：KR101249593B1

公开(公告)日：2013-04-01

申请号：KR1020100126085

申请日：2010-12-10

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 고승환 ,  이승섭 ,  이필립 ,  이형만 ,  이진환 ,  여준엽

IPC: B29C59/02 ,  B82B3/00

Abstract: 나노소재 필름 전사방법, 나노소재 필름 제조방법, 장치 및 이에 의하여 제조된 나노소재 필름이 제공된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 나노소재 필름 전사방법은 나노소재가 여과물 형태로 흡착된 멤브레인 필터 전면을 기판에 접촉시키는 단계; 상기 멤브레인 필터 후면으로 진공을 인가하여, 상기 기판을 멤브레인 필터로 가압하는 단계; 및 상기 멤브레인 필터를 상기 기판으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하며, 진공박리(Vacuum Release) 방식의 전사공정을 포함한다. 즉, 멤브레인의 기공을 통해 제거된 공기압 저하에 따라 전체적으로 균일한 압력을 기판과 나소소재가 흡착된 멤브레인 필름에 전달 함으로써 나노와이어 및 나노소재를 원하는 기판으로 거의 100%에 가까운 효율로 전사할 수 있다는 장점이 있다.

公开(公告)号：KR1020120064848A

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：KR1020100126085

申请日：2010-12-10

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 고승환 ,  이승섭 ,  이필립 ,  이형만 ,  이진환 ,  여준엽

IPC: B29C59/02 ,  B82B3/00

CPC classification number: B29C59/026 ,  B29C59/005 ,  B29C59/16 ,  B29K2105/124

Abstract: PURPOSE: A transfer method of a nano-material, a manufacturing method of a nano-film, and a nano-film manufactured thereby are provided to efficiently transfer a nano-wire and a nano-material to a substrate by transferring uniform pressure to a membrane film. CONSTITUTION: A transfer method of a nano-material is as follows. The front surface of a membrane filter(120) having nano-materials touches a substrate(130). Vacuum pressure is applied to the rear surface of the membrane filter to press the substrate to the membrane filter. The membrane filter is separated from the substrate.

Abstract translation: 目的：提供纳米材料的转移方法，纳米膜的制造方法和由其制造的纳米膜，以通过将均匀的压力传递到基板来有效地将纳米线和纳米材料转移到基底 膜膜。 构成：纳米材料的转移方法如下。 具有纳米材料的膜过滤器（120）的前表面接触衬底（130）。 将真空压力施加到膜过滤器的后表面以将基底压向膜过滤器。 膜过滤器与基板分离。