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1.서로 수직한 편광으로 재생된 회절광학소자를 이용한 2차원 레이저 가공 방법 및 장치 有权
Title translation: 2用于使用正交偏振光束由衍射光学元件重建的图像的2D激光加工的方法和装置公开(公告)号:KR101690874B1
公开(公告)日:2016-12-29
申请号:KR1020150063899
申请日:2015-05-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 서로수직한편광으로재생된회절광학소자를이용한 2차원레이저가공방법및 장치가제시된다. 서로수직한편광으로재생된회절광학소자를이용한 2차원레이저가공방법은레이저빔을제1 편광광선분배기(Polarizing Beam Splitter; PBS)를통과시켜복수의레이저빔으로분리하는단계; 분리된상기복수의레이저빔을각각회절광학소자(Diffractive optical element, DOE)를통과시켜위상을변조하는단계; 및변조된위상을가진상기복수의레이저빔을제2 편광광선분배기를통과시켜하나의레이저빔으로결합하는단계를포함한다.
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2.
公开(公告)号:KR1020160132227A
公开(公告)日:2016-11-17
申请号:KR1020150063899
申请日:2015-05-07
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 서로수직한편광으로재생된회절광학소자를이용한 2차원레이저가공방법및 장치가제시된다. 서로수직한편광으로재생된회절광학소자를이용한 2차원레이저가공방법은레이저빔을제1 편광광선분배기(Polarizing Beam Splitter; PBS)를통과시켜복수의레이저빔으로분리하는단계; 분리된상기복수의레이저빔을각각회절광학소자(Diffractive optical element, DOE)를통과시켜위상을변조하는단계; 및변조된위상을가진상기복수의레이저빔을제2 편광광선분배기를통과시켜하나의레이저빔으로결합하는단계를포함한다.
Abstract translation: 呈现了使用利用垂直偏振光再现的衍射光学元件的二维激光加工方法和装置。 使用以相互垂直的偏振再现的衍射光学元件的二维激光加工方法包括通过第一偏振分束器(PBS)将激光束分离成多个激光束; 通过衍射光学元件(DOE)调制分离的多个激光束的相位; 并且通过第二偏振分束器将具有调制相位的多个激光束耦合成单个激光束。
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