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公开(公告)号：KR101765816B1
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020110039554
申请日：2011-04-27
Applicant: 한국과학기술원 , 국민대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단 , 박재영
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521
Abstract: 본발명은저온에서효과적으로 TiO의소결을이루어광전극및 염료감응태양전지를제조하는방법을제공하는것이다. 본발명에서는기존의 500C에서 1시간동안열처리되어플렉시블기판과같은저온공정이요구될때의처리한계를저온의대기압플라즈마를통해해결함으로써새로운염료감응태양전지의공정기술을제안한다. 특히대기압플라즈마를통한저온소결공정은기존의방법에비해얇은박막의태양전지개발은물론, 공정시간도단축할수 있어경제가치가매우높다.
Abstract translation: 本发明是提供高效地制造光学电极的方法，以及在低温下由TiO烧结的染料敏化太阳能电池。 在本发明中，加热处理在常规500C1小时提出了一种工艺技术在通过的过程中新的染料敏化太阳能电池时的低温工艺的限制，例如柔性基板需要通过低温常压等离子体处理。 特别是，通过大气压等离子体低温烧结过程是薄膜相比于常规方法的太阳能电池，当然，也可以缩短处理时间，这是经济价值是非常高的。
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公开(公告)号：KR1020140142876A
公开(公告)日：2014-12-15
申请号：KR1020130064551
申请日：2013-06-05
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: H01L23/52 , H01L23/481 , H01L24/14
Abstract: 단선 테스트 구조를 갖는 3차원 집적 회로는 복수의 관통 실리콘 비아들, 복수의 범프들, 제1 재배선들, 제2 재배선들을 포함한다. 복수의 관통 실리콘 비아들은 제1 기판을 관통한다. 복수의 범프들은 관통 실리콘 비아들의 하측 각각에 연결되며 제2 기판 상에 형성된다. 제1 재배선들은 관통 실리콘 비아들의 상측들 간에 연결된다. 제2 재배선들은 범프들의 하측들 간에 연결된다. 제1 재배선들과 제2 재배선들은 각각 관통 실리콘 비아들의 상측들과 범프들의 하측들에 교번적으로 연결되어 데이지-체인 구조를 형성하고, 데이지-체인 구조 상의 단선된 지점부터 입력 재배선까지의 커패시턴스에 의한 연결성에 기초하여 제1 및 제2 재배선들 중 단선된 적어도 하나의 재배선의 위치를 검증한다. 본 발명에 의한 실시예들에 의하면 3차원 집적 회로를 손상 시키지 않으면서 커패시턴스에 기초한 연결성을 측정함으로써 단선의 여부 및 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
Abstract translation: 具有断开测试结构的3D集成电路包括多通孔硅通孔，多个凸起，第一再分配线和第二再分配线。 穿透硅通孔穿透第一衬底。 凸块连接到每个通孔硅通孔的下侧，并形成在第二基板上。 第一再分布线连接在通孔硅通孔的上侧之间。 第二再分配线连接在凸块的下侧之间。 第一和第二再分配线交替地连接到穿通硅通孔的上侧和凸块的下侧以形成菊花链结构，并且在第一和第二再分配线中的至少一个断开的再分配线的位置 基于从菊花链结构上的断开点到输入再分配线的电容的连接性进行验证。 根据本发明的实施例，由于基于电容测量连接性而不损坏3D集成电路，因此可以精确地识别断开及其位置。
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公开(公告)号：KR101482683B1
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：KR1020130064551
申请日：2013-06-05
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 단선 테스트 구조를 갖는 3차원 집적 회로는 복수의 관통 실리콘 비아들, 복수의 범프들, 제1 재배선들, 제2 재배선들을 포함한다. 복수의 관통 실리콘 비아들은 제1 기판을 관통한다. 복수의 범프들은 관통 실리콘 비아들의 하측 각각에 연결되며 제2 기판 상에 형성된다. 제1 재배선들은 관통 실리콘 비아들의 상측들 간에 연결된다. 제2 재배선들은 범프들의 하측들 간에 연결된다. 제1 재배선들과 제2 재배선들은 각각 관통 실리콘 비아들의 상측들과 범프들의 하측들에 교번적으로 연결되어 데이지-체인 구조를 형성하고, 데이지-체인 구조 상의 단선된 지점부터 입력 재배선까지의 커패시턴스에 의한 연결성에 기초하여 제1 및 제2 재배선들 중 단선된 적어도 하나의 재배선의 위치를 검증한다. 본 발명에 의한 실시예들에 의하면 3차원 집적 회로를 손상 시키지 않으면서 커패시턴스에 기초한 연결성을 측정함으로써 단선의 여부 및 위치를 정확하게 파악할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020120121940A
公开(公告)日：2012-11-07
申请号：KR1020110039554
申请日：2011-04-27
Applicant: 한국과학기술원 , 국민대학교산학협력단 , 서울대학교산학협력단 , 박재영
CPC classification number: Y02E10/542 , Y02P70/521 , H01L31/04 , H01L21/02186 , H01L31/18 , H01L51/4226 , H01L2924/05341 , Y02E10/50 , Y02E10/54
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a photo electrode and a dye-sensitized solar cell using low temperature atmospheric pressure plasma is provided to maximize conversion efficiency by reducing resistance using a TCO(Transparent Conductive Oxides) substrate. CONSTITUTION: A TiO2(Titanium Oxide) paste is coated on a substrate. A TiO2 thin film is formed on the TiO2 paste. Atmospheric pressure plasma is processed on the TiO2 thin film. The atmospheric pressure plasma is formed below 200 degrees. A thickness of the TiO2 thin film is controlled by repeating a cycle including a step of forming the TiO2 thin film and a step of processing the atmospheric pressure plasma over two times.
Abstract translation: 目的：提供使用低温大气压等离子体制造光电极和染料敏化太阳能电池的方法，以通过使用TCO（透明导电氧化物）基板降低电阻来最大化转换效率。 构成：将TiO 2（氧化钛）糊剂涂覆在基材上。 在TiO2浆料上形成TiO2薄膜。 在TiO2薄膜上处理大气压等离子体。 大气压等离子体形成在200度以下。 通过重复包括形成TiO 2薄膜的步骤和将大气压等离子体处理两次的步骤的循环来控制TiO 2薄膜的厚度。
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