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公开(公告)号：KR1020020009125A
公开(公告)日：2002-02-01
申请号：KR1020000042488
申请日：2000-07-24
Applicant: 한국과학기술원 , 에이치엔에스하이텍 (주)
IPC: H01L29/737
CPC classification number: H01L29/66318 , H01L29/7304 , H01L29/7371
Abstract: PURPOSE: A method for fabricating a hetero junction bipolar transistor is provided to improve productivity by simplifying a process for fabricating a hetero junction bipolar transistor. CONSTITUTION: An emitter metal(54) is deposited on a semiconductor substrate formed with an InGaAs/GaAs layer(51), an InGaP layer(52), and a GaAs layer(53). The InGaAs/GaAs layer(51) is etched selectively by using the emitter metal(54) as a masking material. A thin film(55) including Si3N4, SiO2, and TiW is deposited on a surface of the InGaP layer(52) and a surface of the emitter metal(54). A photo-resist is patterned on the thin film(55) by using a contact alignment device and a base opening is formed thereby. The thin film(55) located on the base opening is opened by using a dry etch method or a wet etch method. The wet etch process for the InGaP layer(52) is performed. A base metal(57) is deposited thereon. A base contact is formed by lifting off the photo-resist.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造异质结双极晶体管的方法，通过简化用于制造异质结双极晶体管的工艺来提高生产率。 构成：在由InGaAs / GaAs层（51），InGaP层（52）和GaAs层（53）形成的半导体衬底上沉积发射极金属（54）。 通过使用发射极金属（54）作为掩模材料，选择性地蚀刻InGaAs / GaAs层（51）。 包括Si 3 N 4，SiO 2和TiW的薄膜（55）沉积在InGaP层（52）的表面和发射极金属（54）的表面上。 通过使用接触对准装置在薄膜（55）上形成光致抗蚀剂，由此形成基部开口。 位于基座开口上的薄膜（55）通过使用干蚀刻法或湿式蚀刻法打开。 执行InGaP层（52）的湿蚀刻工艺。 贱金属（57）沉积在其上。 通过剥离光致抗蚀剂形成基底接触。
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公开(公告)号：KR101317762B1
公开(公告)日：2013-10-11
申请号：KR1020110133653
申请日：2011-12-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 퍼지 적분을 이용한 로봇의 복합 표정 생성 시스템에 관한 것으로서, 퍼지 이론(fuzzy logic)을 이용하여 선형 보간법으로는 나타낼 수 없는 비선형적인 특정을 구현하고, 감정 간의 관계를 고려함으로써, 복잡적인 표정을 생성할 수 있는 퍼지 적분을 이용한 로봇의 복합 표정 생성 시스템을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 각 감정들간의 관계를 바탕으로, 각각의 감정에 대한 퍼지 측도(fuzzy measure) 값을 할당하는 퍼지 측도값 할당부; 봇의 현재 감정상태를 바탕으로, 부분 계산(partial evaluation) 값을 생성하는 부분 계산값 생성부; 및 상기 퍼지 측도값 할당부를 통해 할당된 퍼지 측도(fuzzy measure)값과, 상기 부분 계산값 생성부를 통해 생성된 부분 계산(partial evaluation)값을 퍼지 적분하는 퍼지 적분부; 를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101288006B1
公开(公告)日：2013-07-19
申请号：KR1020120014204
申请日：2012-02-13
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A robot system for training to pass a ball is provided to generate a model for a user by continuously recording and analyzing the result of the training and to supply a studying content to be suitable using a robot in a real circumstance. CONSTITUTION: A robot system for training to pass a ball comprises a mobile robot (22), a camera (32), an image processing unit, a user model generating unit (24), and a database. The mobile robot includes a robot control unit (29), a user feedback supply unit (25), and a studying content supply unit (31). The user feedback supply unit selects the method of studying which is suitable for tendency and level of a user based on a user model stored in the database and supplies the same to the user. The studying content supply unit supplies a studying content which is suitable for the level of the user stored in the database. [Reference numerals] (20) User; (23) Studying content selecting unit; (24) User model generating unit; (25) User feedback supply unit; (26) Studying content database; (27) User model database; (28) Studying knowledge database; (29) Robot control unit; (30) Image processing unit; (31) Studying content supply unit
Abstract translation: 目的：提供用于训练传球的机器人系统，通过连续记录和分析训练结果为用户生成模型，并在实际情况下使用机器人提供适合的学习内容。 构成：用于训练传球的机器人系统包括移动机器人（22），照相机（32），图像处理单元，用户模型生成单元（24）和数据库。 移动机器人包括机器人控制单元（29），用户反馈提供单元（25）和学习内容提供单元（31）。 用户反馈提供单元基于存储在数据库中的用户模型来选择适合于用户倾向和水平的研究方法，并将其提供给用户。 学习内容供应单元提供适合于存储在数据库中的用户级别的学习内容。 （附图标记）（20）用户; （23）学习内容选择单元; （24）用户模型生成单元; （25）用户反馈供应单位; （26）学习内容数据库; （27）用户模型数据库; （28）学习知识数据库; （29）机器人控制单元; （30）图像处理单元; （31）学习内容供应单位
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公开(公告)号：KR101234224B1
公开(公告)日：2013-02-18
申请号：KR1020100119852
申请日：2010-11-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 다수의 범용 포트들을 이용한 로봇 키트 컨트롤러 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 다양한 컴포넌트를 부착할 수 있는 범용 포트를 다수 제공함으로써, 사용자가 특정 포트에 적합한 컴포넌트를 용이하게 연결할 수 있으며 사용자 고유의 컴포넌트를 제작한 후 범용 포트에 연결할 수도 있으므로, 사용자 편의성과 로봇 키트 컨트롤러의 확장성이 극대화되는 로봇 키트 컨트롤러 장치에 관한 것이다.
본 발명은, 다수의 범용 포트로 구성되어 별도의 범용 컴포넌트로부터 로봇 키트 제어 정보를 수신하여 제어부로 전송하며, 상기 제어부로부터 로봇 키트 제어 신호를 수신하여 이를 별도의 범용 컴포넌트로 전송하는 범용 포트부; 상기 범용 포트부로부터 로봇 키트 제어 정보를 수신하며, 로봇 키트 제어 신호를 상기 범용 포트부로 전송하고, 각 구성요소의 동작을 제어하는 제어부; 상기 범용 포트의 설정 상태, 로봇 키트의 동작 상태, 그리고 연결된 컴포넌트의 종류 중 어느 하나 또는 하나 이상의 설정을 지원하는 설정부; 및 작동 전원을 온오프하는 전원 스위치;를 포함한다.-
公开(公告)号：KR101012059B1
公开(公告)日：2011-02-01
申请号：KR1020070134086
申请日：2007-12-20
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명의 애완동물 관리로봇 시스템은, 애완동물의 위치 및 이동거리를 애완동물 상태정보로 생성하여 본체로 송신하는 신호발생장치; 신호발생장치로부터 애완동물 상태정보를 수신하고, 사용자로부터 입력받은 애완동물 데이터 및 스케줄 데이터에 따라 애완동물 등록정보 및 스케줄정보를 생성하며, 생성된 애완동물 등록정보 및 스케줄정보에 따라 애완동물에게 급식을 제공하고, 제1 내지 제4 이동정보를 생성하여 그에 상응하도록 바퀴를 통해 이동하는 본체; 및 본체로 애완동물 상태요청정보를 송신하고, 애완동물 영상출력정보를 수신하여 출력하는 단말기; 를 포함한다.
애완동물, 로봇, 스케줄, 급식, 게임-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100319028B1
公开(公告)日：2002-01-05
申请号：KR1019990023367
申请日：1999-06-21
Applicant: 한국과학기술원 , 에이치엔에스하이텍 (주)
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G01Q70/16 , G01N23/225
Abstract: 본발명은표면주사현미경에사용되는탐침및 그제조방법에관한것이다. 본발명은 격자방향을갖는실리콘을이용하여제작된캔틸레버, 상기캔틸레버를지지하는몸체, 상기캔틸레버의일단에형성된침으로구성되어있으며, 상기몸체의소정영역및 상기캔틸레버에붕소가확산되어있는것을특징으로한다. 그리고, 본발명은실리콘기판위에제 1 마스크층을형성하고, 제 1 마스크층을이용하여실리콘기판을소정깊이로식각하여상기침을형성한다음, 제 1 마스크층을제거하고, 몸체및 캔틸레버가형성되어질영역을제외한실리콘기판위에제 2 마스크층을형성한다. 그런다음, 제 2 마스크층을이용하여몸체의소정영역및 캔틸레버가형성되어질영역에붕소를확산시켜붕소확산층을형성하고, 제 2 마스크층를제거한후, 붕소확산층위에제 3 마스크층을형성하고, 제 3 마스크층을이용하여노출된실리콘기판의소정영역을식각하여몸체및 상기캔틸레버를형성한다.
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公开(公告)号：KR1020010003182A
公开(公告)日：2001-01-15
申请号：KR1019990023367
申请日：1999-06-21
Applicant: 한국과학기술원 , 에이치엔에스하이텍 (주)
IPC: G02B21/00
CPC classification number: G01Q70/16 , G01N23/225
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a cantilever of an SPM(scanning probe microscope) with a B-diffusion layer on a silicon substrate is provided to manufacture various functions of cantilevers for an SPM with a low-cost material and simple photolithography. CONSTITUTION: To manufacture a cantilever, a specific wafer is formed. A silicon dioxide film(502) is grown on the wafer and then patterned to make a silicon tip. The other portion without the silicon dioxide film is processed by dry etching with freon gas. The silicon dioxide film is grown to be used as a mask for forming a B-diffusion layer and patterned again for selective B diffusion. The B is diffused to form the B-diffusion layer simply on the portion without the silicon dioxide film. The silicon dioxide film is grown to be used as a mask for anisotropic etching for a cantilever. The dioxide film is patterned again for selective etching. On anisotropic etching with a silicon etching solution, the B-diffusion layer and silicon surface(503) function as etching stop layers. Therefore, the cantilever made by the B-diffusion layer is formed.
Abstract translation: 目的：提供一种在硅衬底上制造具有B扩散层的SPM（扫描探针显微镜）的悬臂的方法，以便以低成本材料和简单的光刻制造用于SPM的悬臂的各种功能。 构成：为了制造悬臂，形成特定的晶片。 在晶片上生长二氧化硅膜（502），然后将其图案化以制成硅尖端。 没有二氧化硅膜的另一部分用氟里昂气体干蚀刻加工。 生长二氧化硅膜以用作形成B扩散层的掩模，并再次构图用于选择性B扩散。 B被扩散以便在没有二氧化硅膜的部分上简单地形成B扩散层。 生长二氧化硅膜用作用于悬臂的各向异性蚀刻的掩模。 再次对二氧化硅膜进行图案化以进行选择性蚀刻。 在用硅蚀刻溶液进行各向异性蚀刻时，B扩散层和硅表面（503）用作蚀刻停止层。 因此，形成由B扩散层制成的悬臂。
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公开(公告)号：KR1020130066898A
公开(公告)日：2013-06-21
申请号：KR1020110133653
申请日：2011-12-13
Applicant: 한국과학기술원
CPC classification number: G05B13/0275 , G06F17/10
Abstract: PURPOSE: A system for generating a complex expression of a robot by using fuzzy integral calculus is provided to naturally process a transition area which a face expression is changed corresponding to feeling, thereby enabling the supplying of natural feeling. CONSTITUTION: A fuzzy measurement value assignment unit(100) assigns a fuzzy measurement value for feeling based on relation of the feeling. A part calculation value generation unit(200) generates a part calculation value based on a current feeling state of a robot. A fuzzy integration unit(300) integrates the fuzzy measurement value and the part calculation value. [Reference numerals] (100) Fuzzy measurement value assignment unit; (200) Part calculation value generation unit; (300) Fuzzy integration unit; (AA) Fuzzy measurement value; (BB) Part calculation value; (CC) Choquet fuzzy part; (DD) Emotion expression result
Abstract translation: 目的：提供一种通过使用模糊积分微积分来生成机器人的复杂表达的系统，以便根据感觉自然地处理面部表情变化的过渡区域，从而能够提供自然的感觉。 构成：模糊测量值分配单元（100）基于感觉的关系为感觉分配模糊测量值。 零件计算值生成单元（200）基于机器人的当前感觉状态生成零件计算值。 模糊积分单元（300）集成了模糊测量值和零件计算值。 （附图标记）（100）模糊测量值分配单元; （200）零件计算值生成单元; （300）模糊整合单元; （AA）模糊测量值; （BB）零件计算值; （CC）Choquet模糊部分; （DD）情感表达结果
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公开(公告)号：KR101182288B1
公开(公告)日：2012-09-14
申请号：KR1020100082792
申请日：2010-08-26
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본 발명은 로봇의 걸음새 생성기에 관한 것으로서, 앞뒤(Pitch) 및 좌우(Roll)로 기울어진 경사면 위에서의 이족보행 로봇의 가변적인 걸음새를 생성함을 목적으로 한다.
이러한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 앞뒤와 좌우로 기울어진 경사면 위에서의 이족보행 로봇을 3차원 선형 역진자 모델(3D-LIPM)로 모델링하고, 동역학 방정식을 유도하여 ZMP 함수와 3D-LIPM의 무게 중심의 움직임 방정식을 산출하는 모델링부; 동역학 방정식을 이용하여, 3D-LIPM의 무게 중심의 움직임 방정식을 산출하는 움직임 방정식 산출부; 로봇의 걸음새를 생성하기 위하여 입력된 이동명령정보(CS)를 보행상태정보(WS)로 변환하는 이동명령정보 변환부; ZMP 함수의 제어 변수들을 계산함으로써, 보행상태정보(WS)를 계산하는 변수 계산부; 및 계산된 보행상태정보(WS)를 3D-LIPM의 무게 중심의 움직임에 적용하고, 적용된 3D-LIPM의 무게 중심의 움직임에 대응하는 걸음새를 생성하는 걸음새 생성부; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR1020120058182A
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：KR1020100119852
申请日：2010-11-29
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: PURPOSE: A robot kit controller system using multiple general ports is provided to easily connect the desired number of various components to each other through multiple general ports. CONSTITUTION: A robot kit controller system(A) using multiple general ports comprises a general port unit(100), a control unit(300), a setting unit(400), and a power switch(24). The general port unit is composed of multiple general ports. The general port unit receives robot kit control information from general components and transmits the received information to the control unit. The control unit receives the information from the general port unit and controls the operation of each component. The setting unit supports the setting state of the general ports and one or more components connected to the general ports. The power switch turns on/off power for operating the units.
Abstract translation: 目的：提供使用多个通用端口的机器人套件控制器系统，通过多个通用端口轻松连接所需数量的各种组件。 构成：使用多个通用端口的机器人套件控制器系统（A）包括通用端口单元（100），控制单元（300），设置单元（400）和电源开关（24）。 通用端口单元由多个通用端口组成。 通用端口单元从一般组件接收机器人套件控制信息，并将接收到的信息发送到控制单元。 控制单元从通用端口单元接收信息并控制每个组件的操作。 设置单元支持通用端口的设置状态和连接到通用端口的一个或多个组件。 电源开关打开/关闭电源以操作本机。
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