公开(公告)号：KR101859024B1

公开(公告)日：2018-05-18

申请号：KR1020160147246

申请日：2016-11-07

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김상욱 ,  김소연 ,  문정호 ,  차승근

IPC: G03F7/00 ,  H01B5/14 ,  H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  G03F7/004

Abstract: 본발명은블록공중합체주형을이용하여서로상이한금속성분을포함하는둘 이상의패턴영역을가지는나노패턴을형성하는, 다종금속나노패턴의형성방법및 이로부터제조된다종금속나노패턴에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020180050789A

公开(公告)日：2018-05-16

申请号：KR1020160147246

申请日：2016-11-07

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 김상욱 ,  김소연 ,  문정호 ,  차승근

IPC: G03F7/00 ,  H01B5/14 ,  H01L29/06 ,  H01L21/027 ,  G03F7/004

CPC classification number: G03F7/0002 ,  G03F7/0047 ,  H01B5/14 ,  H01L21/0274 ,  H01L29/0665

Abstract: 본발명은블록공중합체주형을이용하여서로상이한금속성분을포함하는둘 이상의패턴영역을가지는나노패턴을형성하는, 다종금속나노패턴의형성방법및 이로부터제조된다종금속나노패턴에관한것이다.