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公开(公告)号：KR101700240B1
公开(公告)日：2017-02-13
申请号：KR1020150067578
申请日：2015-05-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명의일 실시예는양극산화를이용한광 포획전극구조체의제조방법에대한것으로서, 알루미늄층을적층하고열처리하는단계(S10)와, 상기열처리된알루미늄층 상에전해연마공정을수행하는단계(S20)와, 상기전해연마된상기알루미늄층의표면에제1차양극산화공정을수행하는단계(S40)와, 상기양극산화공정을통해형성된산화물을선택적에칭하는단계(S50)와, 상기선택적에칭된알루미늄층 상에제2차양극산화공정을수행하는단계(S60) 및상기제2차양극산화공정이수행된상기알루미늄층의표면을등방성식각을수행하는단계(S70);를포함하는양극산화공정을이용한광 포획전극구조체의제조방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR1020160134112A
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：KR1020150067578
申请日：2015-05-14
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명의일 실시예는양극산화를이용한광 포획전극구조체의제조방법에대한것으로서, 알루미늄층을적층하고열처리하는단계(S10)와, 상기열처리된알루미늄층 상에전해연마공정을수행하는단계(S20)와, 상기전해연마된상기알루미늄층의표면에제1차양극산화공정을수행하는단계(S40)와, 상기양극산화공정을통해형성된산화물을선택적에칭하는단계(S50)와, 상기선택적에칭된알루미늄층 상에제2차양극산화공정을수행하는단계(S60) 및상기제2차양극산화공정이수행된상기알루미늄층의표면을등방성식각을수행하는단계(S70);를포함하는양극산화공정을이용한광 포획전극구조체의제조방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR1020160116237A
公开(公告)日：2016-10-07
申请号：KR1020150043243
申请日：2015-03-27
Applicant: 한국과학기술원
Abstract: 본발명에의하면, 알반사방지홈이형성된반사방지필름을제조하는방법으로서, 알루미늄필름을준비하는단계; 상기알루미늄필름에양극산화하여제1 단위홈을형성하는단계; 상기단계보다낮은온도분위기상에서양극산화를수행하여상기제1 단위홈상에상기제1 단위홈보다깊이가연장되는제2 단위홈을형성하는단계; 상기제1 단위홈과상기제2 단위홈의직경을확장하는단계; 상기제2 단위홈형성단계보다높은온도분위기상에서양극산화액을공급하고상기제1 단위홈과상기제2 단위홈에대하여전압을단속하며공급하여, 상기제2 단위홈의내측종단부에제3 단위홈을형성하는단계; 및알루미늄층을제거하는단계; 를포함하고, 상기제3 단위홈을형성단계에서전압공급의단속시간간격을변경하여상기제3 단위홈의내주면의경사각도를조정하는반사방지필름제조방법을제공한다. 본발명은, 양극산화공정에의해알루미늄필름의표면에내주면이경사진반사방지홈을형성할수 있고, 반사방지홈형성시, 전압공급의단속시간간격을변화시켜반사반지홈의내주면이볼록하거나오목하게형성되도록할 수있다.
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