公开(公告)号：KR101117211B1

公开(公告)日：2012-03-05

申请号：KR1020090046469

申请日：2009-05-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정기훈 ,  최용제

IPC: G01N21/68 ,  G01J3/00

Abstract: 이를위해본 발명에따른금속패턴어레이를이용한초고감도테라헤르쯔광전도안테나는안테나기판과, 상기안테나기판의구동전극면에적어도하나이상의패턴이연속적으로배열되어패터닝된 800㎚보다작은크기의극미세금속패턴어레이및 상기안테나기판의구동전극면에구비되는구동전극을포함하는것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020100128042A

公开(公告)日：2010-12-07

申请号：KR1020090046469

申请日：2009-05-27

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 정기훈 ,  최용제

IPC: G01N21/68 ,  G01J3/00

Abstract: PURPOSE: An ultra-sensitive terahertz photoconductive antenna using metal pattern arrays and a manufacturing method thereof are provided to improve measuring sensitivity of terahertz wave by increasing the amount of photoelectrons. CONSTITUTION: An ultra-sensitive terahertz photoconductive antenna using metal pattern arrays comprises an antenna substrate(100), one or more minute metal pattern arrays(310), and a driving electrode. The minute metal pattern arrays are continuously arranged on the antenna substrate and have an 800 nanometer size or less.

Abstract translation: 目的：提供一种使用金属图案阵列的超灵敏的太赫兹光电导天线及其制造方法，通过增加光电子的量来提高太赫兹波的测量灵敏度。 构成：使用金属图案阵列的超灵敏太赫兹光电导天线包括天线基板（100），一个或多个微小的金属图案阵列（310）和驱动电极。 微小金属图案阵列连续地布置在天线基板上并具有800纳米或更小的尺寸。