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公开(公告)号:KR102156652B1
公开(公告)日:2020-09-16
申请号:KR1020190007042
申请日:2019-01-18
Applicant: 한국과학기술원
Inventor: 이상국 , 노영석 , 서정일 , 최원종
IPC: G05F3/16 , H01L35/00