公开(公告)号：KR100149287B1

公开(公告)日：1998-10-15

申请号：KR1019950008960

申请日：1995-04-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 성형진 ,  최정일

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/305 ,  Y10S117/90 ,  Y10T117/1004 ,  Y10T117/1008

Abstract: 본 발명은 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 좀 더 구체적으로 본 발명은 도가니 또는 시드의 회전속도를 가변시켜 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있는 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 시드회전축(1), 시드(2), 도가니(4), 히터(5), 도가니 회전축(9), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑 모터(34)로 구성되며 전기한 도가니(4)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 도가니 회전속도 제어수단(21)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 복잡한 부대장치나 다량의 에너지 소모없이도 간단한 구성에 의해 실리콘 단결정 제조시 용융액의 온도진동에 따라 발생하는 실리콘 단결정의 띠무늬 결함을 감소시킬수 있으며, 직경이 큰 웨이퍼도 경제적으로 제조할 수 있다. 또한, 전기한 실리콘 단결정 제조장치를 사용하는 본 발명의 제조방법에 의해 간단하고도 경제적으로 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있다.

公开(公告)号：KR1019960037875A

公开(公告)日：1996-11-19

申请号：KR1019950008960

申请日：1995-04-17

Applicant: 한국과학기술원

Inventor： 성형진 ,  최정일

IPC: C30B15/00

Abstract: 본 발명은 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 좀더 구체적으로, 본 발명은 도가니 또는 시드의 회전속도를 가변시켜 고품질의 실리콘 단결정은 제조할 수 있는 실리콘 단결정 제조장치 및 그를 이용한 실리콘 단결정의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 실리콘 단결정 제도장치는 시드회전축(1), 시드(2), 도가니(3), 히터(4), 도가니 회전축(5), 챔버(11) 및 단열층(12)으로 구성되며 초크랄스키법에 의해 실리콘 단결정을 제조하는 제조장치에 있어서, 직류발생기(31), 함수발생기(32), 전압가산회로(33) 및 스태핑모터(34)로 구성되며 전기한 도가니(4)의 회전속도를 시간에 따라 가변시키기 위한 도가니 회전속도 제어수단(21)을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 실리콘 단결정 제조장치는 복잡한 부재장치나 다량의 에너지 소모없이도 간단한 구성에 의해 실리콘 단결정 제조시 용융액의 온도진동에 따라 발생하는 실리콘 단결정의 띠무늬 결함을 감소시킬 수 있으며, 직경이 큰 웨이퍼도 경제적으로 제조할 수 있다. 또한, 전기한 실리콘 단결정 제조장치를 사용하는 본 발명의 제조방법에 의해 간단하고도 경제적으로 고품질의 실리콘 단결정을 제조할 수 있다.