公开(公告)号：KR102244053B1

公开(公告)日：2021-04-23

申请号：KR1020190051425

申请日：2019-05-02

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 정연식 ,  이정혜 ,  이헌 ,  최학종 ,  허대홍

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/324 ,  G03F7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은유무기하이브리드물질을이용한용액공정으로마이크로미터이하의필름패터닝을실현하는저온스핀코팅공정방법및 장치에관한것으로, 친수성막기판을제작하는단계, 상기친수성막기판을패터닝하는단계, 상기패터닝된친수성막의부분영역에소수성막을코팅하여가이드기판을제작하는단계및 상기가이드기판상에유무기하이브리드물질을저온스핀코팅하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR1020200127392A

公开(公告)日：2020-11-11

申请号：KR1020190051425

申请日：2019-05-02

Applicant: 한국과학기술원 ,  고려대학교 산학협력단

Inventor： 정연식 ,  이정혜 ,  이헌 ,  최학종 ,  허대홍

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/311 ,  H01L21/3213 ,  H01L21/324 ,  G03F7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 본발명은유무기하이브리드물질을이용한용액공정으로마이크로미터이하의필름패터닝을실현하는저온스핀코팅공정방법및 장치에관한것으로, 친수성막기판을제작하는단계, 상기친수성막기판을패터닝하는단계, 상기패터닝된친수성막의부분영역에소수성막을코팅하여가이드기판을제작하는단계및 상기가이드기판상에유무기하이브리드물질을저온스핀코팅하는단계를포함한다.

公开(公告)号：KR101958094B1

公开(公告)日：2019-07-04

申请号：KR1020170084441

申请日：2017-07-03

Applicant: 고려대학교 산학협력단

Inventor： 이헌 ,  최학종 ,  허대홍 ,  박재민

IPC: H01B5/14 ,  H01B1/02 ,  C23C18/16 ,  C25D5/02