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公开(公告)号:KR102148673B1
公开(公告)日:2020-08-27
申请号:KR1020180106716
申请日:2018-09-06
Applicant: 한국과학기술원 , 한국표준과학연구원
Inventor: 전석우 , 노박트래비스글렌 , 김기선 , 송재용 , 신호선 , 뉴엔비엣치엔
IPC: H01L35/14 , H01L35/24 , H01L35/34 , C30B29/02