公开(公告)号：KR100920901B1

公开(公告)日：2009-10-12

申请号：KR1020070134867

申请日：2007-12-21

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  이성훈 ,  박창하 ,  이학준

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02

Abstract: 본 발명은 진공챔버 내부에서 연성필름을 연속적으로 공급하고 표면개질수단과 다수 스퍼터링수단을 이용하여 다층의 박막이 형성가능하도록 한 다층박막 제조장치 및 이를 이용한 다층박막 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 다층박막 제조장치는, 연성필름(F)에 다층 박막을 형성하기 위한 작업 공간을 제공하는 진공챔버(110)와, 상기 진공챔버(110) 내부에 진공을 형성하는 진공형성수단(120)과, 상기 진공챔버(110) 내부에서 연성필름(F)을 공급하는 필름공급롤러(130)와, 상기 연성필름(F)을 공급받아 표면을 개질하는 표면개질수단(140)과, 표면이 개질된 연성필름(F)의 일면에 박막을 형성하는 다수의 박막형성기와, 상기 다수 박막형성기에 대응하는 개수로 구비되어 연성필름(F)의 열을 냉각하는 냉각롤러(160)와, 상기 다수 냉각롤러(160) 사이에 구비되어 연성필름(F)의 이송 방향을 안내하는 이송안내롤러(170)와, 상기 다수 박막형성기를 경유하여 제조된 다층박막을 권취하여 보관하는 박막권취롤러(180)를 포함하여 구성되며, 상기 진공챔버 내부는 서로 다른 진공도를 가지는 다수 공간으로 구획된다. 이와 같은 구성에 의하면, 고품질의 다층 박막을 대량 생산 가능한 이점이 있다.
연성필름, 이온빔, 표면개질, 스퍼터링

公开(公告)号：KR100532932B1

公开(公告)日：2005-12-02

申请号：KR1020030059054

申请日：2003-08-26

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  김동호 ,  박창하 ,  이복식 ,  권용호 ,  정한철

IPC: H01J9/24 ,  H01J9/38 ,  H01J11/34

Abstract: 본 발명은 가스주입홀이 존재하지 않는 PDP소자 제조용 수직형 진공봉착/배기장치 및 이를 이용한 제조방법에 관한 것으로서, 수평상태에서 패널의 전면판과 배면판을 정렬시킬 수 있는 수평정렬 장치부(1)와; 상기 수평정렬 장치부(1)로부터 수평 정리된 PDP소자의 어긋남을 방지하고 봉착시 패널의 접촉상태를 유지하도록 클립을 체결하기 위한 클리핑 장치부(2)와; 상기 클리핑 장치부(2)로부터 고정된 PDP 패널을 대차에 수직상태로 거치시킬 수 있는 PDP소자 거치장치부(3)와; 상기 PDP소자 거치장치부(3)에 의하여 수직상태로 거치된 PDP 패널을 하기 가열챔버(5)의 진공을 파괴하지 않은 상태에서 패널을 장입할 수 있는 장입챔버(4)와; 상기 장입챔버(4)로 장입되어 이송된 PDP 패널을 방전가스 분위기에서 가열하는 가열챔버(5)와; 상기 가열챔버(5)로부터 가열되어 이송된 PDP 패널을 방전가스 분위기에서 봉착시키는 봉착챔버(6)와; 상기 봉착챔버(6)로부터 봉착된 PDP 패널의 온도를 방전가스 분위기에서 하강시키는 냉각챔버(7)와; 상기 냉각챔버(7)로부터 냉각된 PDP 패널을 수용하여 진공을 유지하며, 방전가스 주입과 봉지공정을 수행한 후, 패널을 상압 상태로 장출할 수 있는 장출챔버(8)와; 상기 장출챔버(8)로부터 장출된 PDP 패널을 탈거치하는 PDP패널 탈거치 장치부(8)와; 상기 가열챔버(5), 봉착챔버(6), 냉각챔버(7)와 배관 연결되어 방전가스를 제어 공급하는 방전가스 조절장치부(15)로 구성되는 것을 특징으로 하는 가스주입홀이 존재하지 않는 PDP소자 제조용 수직형 진공봉착/배기장치를 제공하며, 상기 수평정렬 장치부(1) 및 클리핑 장치부(2)에 의하여 PDP소자의 전면판 배면판을 정렬하여 고정한 다음, PDP소자 거치장치부(3)에 의하여 수직상태로 거치시키는 단계와; 상기 수직상태로 거치된 PDP소자를 장입챔버(4)를 통하여 10
-3 torr 이상의 진공도로 유지된 가열챔버(5) 및 봉착챔버(6)로 진입시킨 다음, 방전가스인 Ar가스, Ar+Ne 혼합가스 또는 Ar+Ne+He 혼합가스, Ar+Ne+He+Xe 혼합가스 중에서 선택된 하나의 방전가스를 방전가스 조절장치부(15)로부터 300 torr 이상 주입한 단계와; 상기 방전가스의 주입이 완료되면, 350~450℃의 봉착온도를 유지하여 봉착재료인 프리트 글래스의 버블링 현상이 억제되도록 PDP소자를 봉착시키는 단계와; 상기 PDP소자의 봉착공정이 완료되면, 강온챔버(7)를 거쳐 냉각시키고, 장출챔버(8)를 통하여 장출되어 PDP소자 탈거치 장치부()를 통하여 배출되는 단계로 구성되는 것을 특징으로 하는 가스주입홀이 존재하지 않는 PDP소자의 제조방법을 제공한다.

公开(公告)号：KR1020050021822A

公开(公告)日：2005-03-07

申请号：KR1020030059052

申请日：2003-08-26

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  김동호 ,  박창하 ,  이복식 ,  권용호 ,  정한철

IPC: H01J9/24 ,  H01J9/38 ,  H01J11/34

Abstract: PURPOSE: A vertical type vacuum-sealing and air exhausting apparatus is provided to shorten the time taken for vacuum-sealing and air exhausting process, and efficiently discharge impurity gases from a PDP(plasma display panel) prior to the vacuum-sealing process. CONSTITUTION: A vertical type vacuum-sealing and air exhausting apparatus comprises a horizontal alignment unit(1), a clipping unit(2), a PDP mounting unit(3), a loading chamber(4), a vacuum-sealing/air exhausting chamber(5), a cooler chamber, an extraction chamber(7), and a PDP transfer unit. The horizontal alignment unit horizontally aligns a front plate and a rear plate of the PDP. The clipping unit clips the PDP such that a deviation of the PDP aligned by the horizontal alignment unit is prevented and a PDP contact state is maintained during sealing. The PDP mounting unit mounts the PDP onto a deck in a vertical direction. The loading chamber accommodates PDPs aligned in a vertical direction, at the state where vacuum of the vacuum-sealing/air exhausting chamber is not broken down. The vacuum-sealing/air exhausting chamber vacuum-seals the PDP mounted in the loading chamber. The cooler chamber is injected with a cooler gas for efficiently cooling the PDP which is vacuum-sealed by the vacuum-sealing/air exhausting chamber. The extraction chamber accommodates the PDP cooled by the cooler chamber and permits the PDP to be extracted after discharge gas injection and sealing process. The PDP transfer unit transfers the PDP extracted from the extraction chamber to a transfer unit(9).

Abstract translation: 目的：提供垂直式真空密封和排气装置，以缩短真空密封和排气过程所需的时间，并且在真空密封过程之前有效地从PDP（等离子体显示面板）中排出杂质气体。 构成：立式真空密封排气装置包括水平对准单元（1），夹紧单元（2），PDP安装单元（3），装载室（4），真空密封/排气 室（5），冷却器室，提取室（7）和PDP转印单元。 水平对准单元水平对准PDP的前板和后板。 剪切单元夹住PDP，使得防止由水平对准单元对准的PDP的偏差，并且在密封期间保持PDP接触状态。 PDP安装单元将PDP在垂直方向上安装在甲板上。 在真空密封/排气室的真空不分解的状态下，装载室容纳沿垂直方向排列的PDP。 真空密封/排气室真空密封安装在装载室中的PDP。 注射冷却器室用于有效地冷却由真空密封/排气室真空密封的PDP。 提取室容纳由冷却器室冷却的PDP，并且在排出气体注入和密封过程之后允许PDP被提取。 PDP传送单元将从提取室提取的PDP传送到传送单元（9）。

公开(公告)号：KR100977496B1

公开(公告)日：2010-08-23

申请号：KR1020070134868

申请日：2007-12-21

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  박상언 ,  박창하 ,  김현범 ,  이종하

IPC: C23C14/00 ,  C23C28/00

CPC classification number: C23C14/18 ,  C23C14/0641

Abstract: 본 발명은 타일 일면에 금속물질을 증착하고, 금속물질이 증착된 면에 질화물박막을 증착시켜 금색을 띄도록 한 금색 타일에 관한 것이다.
본 발명에 의한 금색 타일은, 몸체를 형성하는 타일과, 상기 타일 일면에 알루미늄(Al), 은(Ag), 티타늄(Ti), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 주석(Sn), 동(Cu), 스테인레스스틸 및 이들의 합금 중 하나 이상을 진공증착법(Evaporation), 스퍼터링법(Sputtering), 이온플레이팅법(Ion-plating)중 어느 하나를 이용하여 100~120㎚의 두께로 증착된 금속층과, 상기 금속층 상에 반응성 스퍼터링법(Sputtering), 반응성 이온플레이팅법(Ion-plating)중 어느 하나를 이용하여 질화티타늄(TiN), 질화지르코늄(ZrN), 질화크롬(CrN) 중 어느 하나로 증착된 20~150㎚의 두께의 금색 질화물층과, 투명도료로 코팅되어 상기 질화물층이 외부로 투시될 수 있도록 하는 보호층을 포함하여 구성됨을 특징으로 한다. 이와 같은 본 발명에 따르면, 저렴한 제조 비용으로 제조되며 미려한 광택을 가지는 이점이 있다.
박막증착법, 금색, 타일, 진공증착, 스퍼터링, 이온플레이팅

公开(公告)号：KR1020050021824A

公开(公告)日：2005-03-07

申请号：KR1020030059054

申请日：2003-08-26

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  김동호 ,  박창하 ,  이복식 ,  권용호 ,  정한철

IPC: H01J9/24 ,  H01J9/38 ,  H01J11/34

Abstract: PURPOSE: A vertical type vacuum-sealing and air exhausting apparatus and a manufacturing method using the same are provided to shorten the process time and efficiently discharge impurity gas from a PDP(plasma display panel). CONSTITUTION: A vertical type vacuum-sealing and air exhausting apparatus comprises a horizontal alignment unit(1), a clipping unit(2), a PDP mounting unit(3), a loading chamber(4), a heater chamber, a sealing chamber, a cooler chamber, an extraction chamber, and a discharge gas control unit. The horizontal alignment unit horizontally aligns a front plate and a rear plate of the PDP. The clipping unit clips the PDP such that a deviation of the PDP aligned by the horizontal alignment unit is prevented and a PDP contact state is maintained during sealing. The PDP mounting unit mounts the PDP onto a deck in a vertical direction. The loading chamber accommodates PDP aligned in a vertical direction, at the state where vacuum of the vacuum-sealing/air exhausting chamber is not broken down. The heater chamber heats the PDP loaded in the loading chamber, under a discharge gas atmosphere. The sealing chamber seals the PDP transferred from the heater chamber, under a discharge gas atmosphere. The cooler chamber cools the PDP sealed and transferred from the sealing chamber, under a discharge gas atmosphere. The extraction chamber accommodates the cooled PDP and permits the PDP to be extracted after discharge gas injection and sealing process. The discharge gas control unit is connected to the heater chamber, sealing chamber, and the cooler chamber through a pipeline so as to supply discharge gas.

Abstract translation: 目的：提供垂直式真空密封和排气装置及其制造方法，以缩短处理时间并有效地从PDP（等离子体显示面板）排出杂质气体。 构成：立式真空密封排气装置包括水平对准单元（1），夹紧单元（2），PDP安装单元（3），装载室（4），加热室，密封室 冷却器室，提取室和排气控制单元。 水平对准单元水平对准PDP的前板和后板。 剪切单元夹住PDP，使得防止由水平对准单元对准的PDP的偏差，并且在密封期间保持PDP接触状态。 PDP安装单元将PDP在垂直方向上安装在甲板上。 在真空密封/排气室的真空不分解的状态下，装载室容纳在垂直方向上排列的PDP。 加热器室在放电气体气氛下加热装载在装载室中的PDP。 在放电气体气氛下，密封室密封从加热器室转移的PDP。 冷却器室在放电气体气氛下冷却从密封室密封并转移的PDP。 提取室容纳冷却的PDP，并允许在放电气体注入和密封过程之后提取PDP。 放电气体控制单元通过管道连接到加热器室，密封室和冷却器室，以供应放电气体。

公开(公告)号：KR1020090067288A

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070134867

申请日：2007-12-21

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  이성훈 ,  박창하 ,  이학준

IPC: H01L21/203 ,  H01L21/02

CPC classification number: C23C14/34 ,  C23C14/56 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/324

Abstract: A multilayer thin film manufacturing system and a manufacturing method of a multilayer thin film using the same are provided to perform continuously a surface modification process and a sputtering process by forming different degrees of vacuum adapted for surface modification and sputtering in an internal space of a vacuum chamber. A vacuum chamber(110) provides a work space for forming multiple thin films on a soft film. A vacuum forming unit(120) forms vacuum in the inside of the vacuum chamber. A film supply roller(130) supplies the soft film in the inside of the vacuum chamber. A surface modification unit(140) modifies a surface of the soft film. A plurality of thin film forming units(150) forms one surface of the soft film having the modified surface. A plurality of cooling rollers(160) correspond to the thin film forming units. The cooling rollers are used for cooling the heat of the soft film. A transfer guide roller(170) is installed between the cooling rollers in order to guide a transferring direction of the soft film. A thin film winding roller(180) is formed to wind a multilayer thin film. The vacuum chamber includes a plurality of spaces having different degrees of vacuum.

Abstract translation: 提供多层薄膜制造系统和使用该多层薄膜制造系统的多层薄膜的制造方法，以通过在真空的内部空间中形成适于表面改性和溅射的不同程度的真空来连续进行表面改性处理和溅射工艺 室。 真空室（110）提供用于在软膜上形成多个薄膜的工作空间。 真空成型单元（120）在真空室的内部形成真空。 供墨辊（130）在真空室的内部供应软膜。 表面改性单元（140）修饰软膜的表面。 多个薄膜形成单元（150）形成具有改性表面的软膜的一个表面。 多个冷却辊（160）对应于薄膜形成单元。 冷却辊用于冷却软膜的热量。 为了引导软膜的转印方向，在冷却辊之间安装有转印导向辊（170）。 形成薄膜缠绕辊（180）以卷绕多层薄膜。 真空室包括具有不同真空度的多个空间。

公开(公告)号：KR100695324B1

公开(公告)日：2007-03-16

申请号：KR1020050097681

申请日：2005-10-17

Applicant: 한국기계연구원 ,  (주)에쎈테크

Inventor： 김동호 ,  이건환 ,  박창하 ,  이상봉

IPC: B32B15/04

CPC classification number: B32B9/041 ,  B32B2037/243 ,  B32B2250/42 ,  B32B2307/306 ,  B32B2307/714

Abstract: A product made of brass or bronze coated with ceramic and a coating method are provided to improve mechanical characteristic like wear resistance and low friction property of parts such as valves and pipes by coating the surface of the product with high-hardness ceramic materials. The product made of brass or bronze coated with ceramic is composed of a middle layer formed on the surface and made of metal and a coating layer formed on the middle layer and made of high-hardness ceramic materials. The middle layers and the coating layers are formed in plural layers in turn. Therefore, dezincification is repressed at high temperature and degradation of materials is prevented by coating the surface of the part with ceramic materials with good heat resistance.

Abstract translation: 提供用陶瓷涂覆的黄铜或青铜制成的产品和涂覆方法，以通过用高硬度陶瓷材料涂覆产品的表面来改善诸如阀和管的部件的耐磨性和低摩擦性的机械特性。 由陶瓷陶瓷制成的黄铜或青铜制成的产品由形成在表面上的金属制成的中间层和形成在中间层上并由高硬度陶瓷材料制成的涂层组成。 中间层和涂层依次形成多层。 因此，脱锌在高温下被抑制，并且通过用具有良好耐热性的陶瓷材料涂覆该部件的表面来防止材料的劣化。

公开(公告)号：KR1020050021823A

公开(公告)日：2005-03-07

申请号：KR1020030059053

申请日：2003-08-26

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  김동호 ,  박창하 ,  이복식 ,  권용호 ,  정한철

IPC: H01J9/42 ,  H01J11/10

Abstract: PURPOSE: An apparatus for vacuum-aging a PDP(plasma display panel) element and an aging method are provided to shorten the process time by aging a PDP element at a vacuum state. CONSTITUTION: An apparatus comprises a vacuum chamber(10), a power supply terminal(7) for front panel, a power supply terminal(5) for rear panel, and a position sensor(8). The vacuum chamber accommodates a panel support(9a) for supporting a PDP element in a horizontal direction and is connected to a vacuum pump(12). The power supply terminal for front panel is electrically connected to a power connection terminal(6) arranged at a front panel(1a) of the PDP element supported by the panel support. The power supply terminal for front panel is arranged at one side surface of the vacuum chamber. The power supply terminal for rear panel is electrically connected to a power connection terminal(4) arranged at a rear panel(1b) of the PDP supported by the panel support. The power supply terminal for rear panel is arranged at the other side surface of the vacuum chamber. The position sensor is arranged at a center of an upper portion of the vacuum chamber such that the position sensor contacts the front panel of the PDP element and senses the volume of expansion of the PDP element.

Abstract translation: 目的：提供一种用于真空老化PDP（等离子体显示面板）元件和老化方法的设备，以通过使真空状态下的PDP元件老化来缩短处理时间。 构成：装置包括真空室（10），用于前面板的电源端子（7），用于后面板的电源端子（5）和位置传感器（8）。 真空室容纳用于在水平方向上支撑PDP元件的面板支撑件（9a），并连接到真空泵（12）。 前面板的电源端子电连接到布置在由面板支撑件支撑的PDP元件的前面板（1a）上的电源连接端子（6）。 前面板的电源端子配置在真空室的一个侧面。 用于后面板的电源端子电连接到布置在由面板支撑件支撑的PDP的后面板（1b）上的电源连接端子（4）。 后面板的电源端子配置在真空室的另一侧面。 位置传感器布置在真空室的上部的中心，使得位置传感器接触PDP元件的前面板并感测PDP元件的膨胀量。

公开(公告)号：KR1020090067289A

公开(公告)日：2009-06-25

申请号：KR1020070134868

申请日：2007-12-21

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  박상언 ,  박창하 ,  김현범 ,  이종하

IPC: C23C14/00 ,  C23C28/00

CPC classification number: C23C14/18 ,  C23C14/0641

Abstract: A manufacturing method of a tile of a gold color using a thin film deposition method is provided to produce a gold color tile by depositing a nitride thin film on a side of a metal material. A manufacturing method of a tile of a gold color using a thin film deposition method comprises the following steps of: depositing one or more among Al, Ag, Ti, Cr, Ni, Sn, Cu, stainless steel and their alloy on a side of the tile with thickness of 10~50nm; forming a metal layer(140); forming a nitride layer(160) by depositing one among titanium nitride, zirconium nitride, and chrome nitride with the thickness of 10~500nm; coating the nitride layer with a transparent paint; and forming a protective layer(180).

Abstract translation: 提供使用薄膜沉积方法的金色瓷砖的制造方法，以通过在金属材料的侧面上沉积氮化物薄膜来制造金色瓷砖。 使用薄膜沉积方法的金色瓷砖的制造方法包括以下步骤：将Al，Ag，Ti，Cr，Ni，Sn，Cu，不锈钢及其合金中的一种或多种沉积在 瓷砖厚度10〜50nm; 形成金属层（140）; 通过在氮化钛，氮化锆和氮化铬之间沉积厚度为10〜500nm的氮化物层（160）; 用透明涂料涂覆氮化物层; 和形成保护层（180）。

公开(公告)号：KR100498108B1

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：KR1020030059053

申请日：2003-08-26

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 이건환 ,  김동호 ,  박창하 ,  이복식 ,  권용호 ,  정한철

IPC: H01J9/42 ,  H01J11/10

Abstract: 본 발명은 진공상태에서 PDP 소자를 에이징(Aging) 처리함으로써 에이징 시간을 획기적으로 감소시킬 수 있는 PDP 소자의 진공 에이징 장치 및 이를 이용한 에이징 방법에 관한 것으로서, PDP 소자를 수평상태로 지지할 수 있는 패널 지지대(9a)가 내부에 설치되어 진공펌프(12)와 배관 연결된 진공챔버(10)와; 상기 패널 지지대(9a) 상에 지지된 PDP 소자의 전면패널(1a)의 일측 취부된 전면패널 전원연결단자(6)와 전선 연결되어 상기 진공챔버(10)의 일측면부에 설치된 전면패널용 전원공급단자(7)와; 상기 패널 지지대(9a) 상에 지지된 PDP 소자의 배면패널(1b)의 일측 취부된 배면패널 전원연결단자(4)와 전선 연결되어 상기 진공챔버(10)의 타측면부에 설치된 배면패널용 전원공급단자(5)와; 상기 진공챔버(10) 상부 중앙부에 설치되어 상기 PDP 소자의 전면패널(1a)에 접촉하여 PDP 소자의 팽창량을 검출하는 위치제어센서(8)로 구성되는 것을 특징으로 하는 피디피 소자의 진공 에이징 장치를 제공한다.