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公开(公告)号：KR1020020039914A
公开(公告)日：2002-05-30
申请号：KR1020000069746
申请日：2000-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: PURPOSE: A durability examining apparatus of O-ring is provided to improve reliance of the durability data of the O-ring by examining the durability under real using-circumstance. CONSTITUTION: An examination driving part(32) comprises an airtightness chamber(11), a driving examination pipe(28) having a fixing groove(28-1) of an examination O-ring(10), a sub-driving examination pipe(29) having a fixing groove(29-1), a linear guide(6) supporting the sub-driving examination pipe(29) so as to control the distance between the driving examination pipe(28) and the sub-driving examination pipe(29), and a motor(9) fixed on the outer of the airtightness chamber(11) to drive the driving examination pipe(28). A toxic gas supplier(30) provides a toxic gas of a gas supply line(16) to the airtightness chamber(11) through an electron valve controlled by a gas supply controller(15) or a controlling valve(14) of a by-pass line(16-1). A vacuum formation part(31) makes vacuum state in the airtightness chamber(11) by two-step decompression treatment using sequentially a rotary pump(26) and an oil diffusion pump(22). A halogen heater(13) apply heat to the inner of the airtightness chamber(11). A sensor(12) is installed to detect a toxic gas, a temperature and a pressure in the airtightness chamber(11). A controller(27) is installed to control the toxic gas supplier(30), the vacuum formation part(31), halogen heater(13), and the motor(9), so that the circumstance of the airtightness chamber(11) is made as a process chamber of semiconductor equipment.
Abstract translation: 目的：提供O型圈的耐久性检查装置，通过检查实际使用环境下的耐用性来改善O型圈的耐久性数据的依赖性。 构成：检查驱动部（32）包括气密室（11），具有检查用O形环（10）的固定槽（28-1）的驱动检查管（28），副驾驶检查管 29），具有固定槽（29-1）的直线导轨（6），支撑副驾驶检查管（29）的直线导轨（6），以控制驾驶检查管（28）与副驾驶检查管 29）和固定在气密性室（11）的外侧上以驱动驾驶检查管（28）的马达（9）。 有毒气体供给器（30）通过由气体供给控制器（15）或旁通管（14）的控制阀（14）控制的电子阀向气密室（11）提供气体供应管线（16）的有毒气体， 通行（16-1）。 真空成形部31通过使用旋转泵26和油扩散泵22进行两步减压处理，在气密性室11中进行真空状态。 卤素加热器（13）对气密室（11）的内部施加热量。 安装传感器（12）以检测气密室（11）中的有毒气体，温度和压力。 安装控制器（27）以控制有毒气体供应器（30），真空形成部分（31），卤素加热器（13）和电机（9），使得气密室（11）的环境为 作为半导体设备的处理室。
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公开(公告)号：KR1019930017657A
公开(公告)日：1993-09-20
申请号：KR1019920001869
申请日：1992-02-10
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23B47/00
Abstract: 자동 절삭실험시스템으로서 비교적 단순한 조작의 반복인 절삭실험을 자동화하고, 절삭공구의 내마모성에 관한 기준 절삭 데이타(마모특성, 사용한계, 등)를 자동적으로 수집, 보고 할 수 있게한 것으로 선삭용 절삭실험을 자동화하고, 자동적으로 절삭공구의 마모특성, 사용한계등을 수집하여 마모경과곡선, 공구수명곡선(VT선도) 및 공구수명방정식을 보고할 수 있는 선삭용 자동 절삭실험 시스템으로서 프렉시블 포지션 앤드 라이팅 장치와 시스템 인터페이스와 공구마모 측정용 영상처리 알고리즘으로 된 것을 특징으로 하는 선삭용 자동 절삭실험 시스템.
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公开(公告)号：KR100474870B1
公开(公告)日：2005-03-08
申请号：KR1020020023649
申请日：2002-04-30
Applicant: 한국기계연구원 , 학교법인 서강대학교 , 호감테크놀로지(주)
Abstract: 본 발명은 격벽이 제올라이트 또는 게터로 형성됨으로써 패널의 밀폐공간에 형성된 불순물 가스를 격벽을 통해 자동적으로 제거 또는 배출시킬 수 있어 수명을 연장시키고 성능을 지속적으로 유지할 수 있는 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조방법을 제공한다. 그 플라즈마 디스플레이 패널의 배면패널의 격벽은 일정간격으로 이격되어 돌출 형성되며 각각의 상단부가 전면패널의 유전층에 접하는 복수의 지지부와 각각의 지지부사이에 형성되는 복수의 홈을 구비하고, 플라즈마 디스플레이 패널의 내부공간에 존재하는 불순물 가스를 제거할 수 있는 재료로 형성되며, 전면패널의 보호층은 제올라이트로 형성된다.
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公开(公告)号：KR1020020072314A
公开(公告)日：2002-09-14
申请号：KR1020010012083
申请日：2001-03-08
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: PURPOSE: A thickness and diameter measurement apparatus is provided to achieve improved productivity by continuously and accurately measuring thickness and diameter of a dicing blade. CONSTITUTION: A thickness and diameter measurement apparatus comprises a rotation unit for fixing and rotating a dicing blade(15); a measurement unit support(2) disposed in the vicinity of the rotation unit; capacitance type sensors(19-1,19-2) and laser beam sensors(18-1,18-2) mounted to a transfer unit(11) which is arranged to be movable in forward and rearward directions, to the measurement unit support, wherein the capacitance type sensors and the laser beam sensors detect thickness and diameter of the dicing blade mounted to the rotation unit; a transfer unit mounted to the measurement unit support, and which transfers the capacitance type sensors and the laser beam sensors to the dicing blade; a unit for detecting measurement position and stand-by position of capacitance type sensors and the laser beam sensors; and a carbon brush(17) for forming a current flowing from the capacitance type sensors to the ground.
Abstract translation: 目的：提供厚度和直径测量装置，通过连续且精确地测量切割刀片的厚度和直径来提高生产率。 构成：厚度和直径测量装置包括用于固定和旋转切割刀片（15）的旋转单元; 设置在所述旋转单元附近的测量单元支撑件（2）; 电容式传感器（19-1,19-2）和激光束传感器（18-1,18-2）安装到传送单元（11）上，所述传送单元（11）被布置成在前后方向上可移动到测量单元支撑 其中电容式传感器和激光束传感器检测安装到旋转单元的切割刀片的厚度和直径; 安装到测量单元支撑件的传送单元，并将电容式传感器和激光束传感器传送到切割刀片; 用于检测电容型传感器和激光束传感器的测量位置和待机位置的单元; 以及用于形成从电容式传感器流到地面的电流的碳刷（17）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1019940005309B1
公开(公告)日：1994-06-16
申请号：KR1019910018109
申请日：1991-10-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B23Q7/00
Abstract: An automatic component supplying device for loading a plurality of components in order to operate automated flexible manufacturing cell with a CNC plate and a robot and supplying the components successively to the manufacturing machine with a robot includes an internal bar and an external bar are mounted on the upper side of an index table driven in connection with a motor, a screw for sensing position and an assembling sensor coupled on the lower side, a loader being lifted by a lock cylinder and mounted to be coupled to the center of the internal bar on the lateral-lower side, therefore a supporting device composed of three points of the supporting bars connected to the upper side of the internal and external bars and a air-pressure cylinder, thereby facilitating a process-automation by supplying effectively a flange type revolution component to a CNC plate in the narrow space.
Abstract translation: 一种自动部件供给装置，用于装载多个部件以便操作具有CNC板和机器人的自动化柔性制造单元并且将部件依次提供给具有机器人的制造机器件，其包括内部杆和外部杆安装在 与电动机相关联地驱动的分度表的上侧，用于感测位置的螺钉和联接在下侧的组装传感器，装载机由锁芯提升并安装成与内部杆的中心连接 因此，由连接在内外杆的上侧的支撑杆的三个点构成的支撑装置和气压缸，从而通过有效地提供法兰式转速部件来促进过程自动化 一个CNC板在狭窄的空间。
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公开(公告)号：KR100423240B1
公开(公告)日：2004-03-18
申请号：KR1020010012083
申请日：2001-03-08
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01B11/00
Abstract: PURPOSE: A thickness and diameter measurement apparatus is provided to achieve improved productivity by continuously and accurately measuring thickness and diameter of a dicing blade. CONSTITUTION: A thickness and diameter measurement apparatus comprises a rotation unit for fixing and rotating a dicing blade(15); a measurement unit support(2) disposed in the vicinity of the rotation unit; capacitance type sensors(19-1,19-2) and laser beam sensors(18-1,18-2) mounted to a transfer unit(11) which is arranged to be movable in forward and rearward directions, to the measurement unit support, wherein the capacitance type sensors and the laser beam sensors detect thickness and diameter of the dicing blade mounted to the rotation unit; a transfer unit mounted to the measurement unit support, and which transfers the capacitance type sensors and the laser beam sensors to the dicing blade; a unit for detecting measurement position and stand-by position of capacitance type sensors and the laser beam sensors; and a carbon brush(17) for forming a current flowing from the capacitance type sensors to the ground.
Abstract translation: 目的：提供厚度和直径测量装置，通过连续准确地测量切割刀片的厚度和直径来提高生产率。 一种厚度和直径测量装置，包括用于固定和旋转切割刀片（15）的旋转单元; 测量单元支撑件（2），其设置在所述旋转单元附近; （19-1,19-2）和激光束传感器（18-1,18-2），其被安装到被设置成可在前后方向上移动的传送单元（11），到测量单元支撑件 其中，所述电容式传感器和所述激光束传感器检测安装到所述旋转单元的切割刀片的厚度和直径; 转印单元，其安装到所述测量单元支撑件，并且将所述电容型传感器和所述激光束传感器转移到所述切割刀片; 用于检测电容式传感器和激光束传感器的测量位置和待机位置的单元; 和用于形成从电容型传感器流到地面的电流的碳刷（17）。
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公开(公告)号：KR100359995B1
公开(公告)日：2002-11-07
申请号：KR1020000069745
申请日：2000-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/66
Abstract: 본 발명은 반도체장비인 화학기상증착(CVD)장비, 물리기상증착(PVD)장비, 식각(Etcher) 장비 중 프로세스쳄버의 기밀성을 유지하기 위하여 사용되는 오링에 대한 기밀성을 실제 사용환경하에서 시험하는 반도체장비용 오링의 기밀성시험장치에 관한 것이다.
본 발명의 구체적인 수단은, 그 상단면을 따라 시험오링(3)을 삽입하는 장착홈(1-1)이 형성되고, 그 상부에 맹판(2)이 얹히면서 그 내부기밀이 유지되도록 설치되는 시험쳄버(1)와;
가스공급라인(12)의 유해가스를 가스공급제어기(11)에 의해 제어되는 전자밸브(14) 또는 바이패스라인(12-1)의 조절밸브(13)를 통해 상기 시험쳄버(1)내에 공급하도록 설치되는 유해가스공급부(10)와;
로터리펌프(25)를 작동시켜 1차 감압한 후, 터보분자펌프(22)를 이용하여 설정압력으로 2차 감압함으로써 상기 시험쳄버(1)의 내압을 진공상태로 낮추는 진공형성부(30)와;
상기 시험쳄버(1)의 내부를 가열하도록 설치되는 밴드히터(5)와;
상기 시험쳄버(1)내의 유해가스, 온도, 압력을 감지하도록 설치되는 센서(4)와;
상기 시험쳄버(1)내의 환경이 반도체장비의 프로세스쳄버와 동일상태를 이루도록 상기 유해가스공급부(10)와 진공형성부(30), 밴드히터(5)를 제어하도록 설치되는 제어부(6)로 구성되는 것을 특징으로 한다.-
公开(公告)号：KR100268856B1
公开(公告)日：2001-09-06
申请号：KR1019980028550
申请日：1998-07-15
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B24B53/00
Abstract: 본 발명은 연삭숫돌의 드레싱방법 및 장치에 관한 것이다. 본 발명은 종래에 경험에 의지하던 드레싱시기 및 드레싱량의 결정을 연삭숫돌(10)의 숫돌작업면의 상태를 감지하여 결정할 수 있도록 한 것이다. 이를 위해 본 발명에서는 정상상태에서의 숫돌작업면의 데이터를 측정하고, 사용중인 연삭숫돌(10)의 표면상태를 계속하여 감지하여 상기 정상상태의 데이터와 비교하여 드레싱시기 및 드레싱량을 결정하는 것이다. 그리고, 상기 연삭숫돌(10)의 표면상태를 감지하는 레이져 변위센서(20)를 연삭기의 테이블(15)에 설치하여 연삭숫돌(10)로부터 소정 거리만큼 떨어진 곳에 위치시켜 작업중에 연삭숫돌(10)의 표면 상태를 감지할 수 있게 한다.
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