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公开(公告)号：KR1020170033565A
公开(公告)日：2017-03-27
申请号：KR1020150131443
申请日：2015-09-17
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/768 , H01L21/48
Abstract: 제판제작방법에서제판상에제1 금속층을형성한다. 상기제1 금속층상에나노입자잉크로제1 패턴을인쇄한다. 상기제1 패턴을건조시킨다. 상기제1 금속층상에상기제2 금속층을도금한다. 상기제1 패턴을제거하여상기제2 금속층을개구하는제2 개구부를형성한다. 상기제1 금속층을선택적으로식각하여상기제1 금속층을개구하는제1 개구부를형성한다. 상기제판의상부에제3 금속층을도금하여, 상기제판상에미세패턴을형성한다.
Abstract translation: 在制版方法中，第一金属层形成在板上。 纳米粒子墨1图案印刷在第一金属层上。 第一种图案是干的。 第二金属层被镀在第一金属层上。 并且去除第二图案以形成用于打开第二金属层的第二开口。 第一金属层被选择性地蚀刻以形成第一开口以打开第一金属层。 将第三金属层镀在板的顶部以在板上形成精细图案。
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公开(公告)号：KR20180037653A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：KR20160128056
申请日：2016-10-05
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B05C5/0254 , B05B15/50 , B05C5/0258 , B05D1/26 , G01L1/00
Abstract: 슬롯다이시스템및 이를이용한슬롯다이제어방법에서, 상기슬롯다이시스템은외부케이스및 슬롯다이코팅장비를포함한다. 상기외부케이스는일 측면에는글러브(glove)가형성되고, 다른측면에는도어부가형성된다. 상기슬롯다이코팅장비는상기외부케이스의내부에수납되며, 슬롯다이, 실린지, 연결유닛및 이송제어부를포함한다. 상기슬롯다이는노즐을통해유체를토출하여기판에코팅을수행한다. 상기실린지는펌프유닛을포함하여상기슬롯다이로유체를펌핑(pumping)하여공급한다. 상기연결유닛은상기실린지와상기슬롯다이사이에서상기유체가이송된다. 상기이송제어부는상기펌핑에따른응답지연을고려하여상기기판의이송속도를제어한다.
Abstract translation: 在狭槽模具系统和使用狭槽模具系统的狭槽模具控制方法中，狭槽模具系统包括外壳和狭缝模具涂覆设备。 外壳一侧有手套，另一侧有门。 狭缝模涂布装置收纳在外壳内，具有狭缝模，注射器，连接部以及进给控制部。 狭缝模具通过喷嘴排出流体以在基底上进行涂覆。 注射器包括泵单元以泵送和供应流体到狭槽模具。 连接单元在注射器和狭缝模具之间传输流体。 传送控制单元考虑到由泵送引起的响应延迟来控制基板的传送速度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR20180037652A
公开(公告)日：2018-04-13
申请号：KR20160128055
申请日：2016-10-05
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B05C5/02
CPC classification number: B05C5/0254 , B05C5/02
Abstract: 개선된챔버형상을갖는슬롯다이는잉크공급부로부터제공된잉크를토출하여코팅하는슬롯다이코팅에사용되며, 제1 프레임, 제2 프레임및 개재유닛을포함한다. 상기제1 프레임은상기잉크를공급받는유입부, 상기유입부로제공된잉크를저장하는챔버, 및상기챔버의하부에위치하여상기잉크가토출되는제1 토출부를포함한다. 상기제2 프레임은상기제1 프레임과결합되며상기제1 토출부와마주하는제2 토출부를포함한다. 상기개재유닛은상기제1 및제2 프레임들의사이에개재되어상기제1 챔버및 상기제1 및제2 토출부들사이에공간을형성한다.
Abstract translation: 具有改进的腔室形状的狭缝模具被用于狭缝模涂布以排出和涂覆从墨供应部提供的墨，并且包括第一框架，第二框架和插入单元。 第一框架包括墨水被供应到的入口，存储供应到入口的墨水的腔室以及位于腔室下方并且墨水通过其排出的第一排出单元。 第二框架包括联接到第一框架并面向第一排出部分的第二排出部分。 插入单元介于第一和第二框架之间以在第一室和第一和第二排出单元之间形成空间。
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公开(公告)号：KR101750361B1
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：KR1020150131443
申请日：2015-09-17
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/02 , H01L21/768 , H01L21/48
Abstract: 제판제작방법에서제판상에제1 금속층을형성한다. 상기제1 금속층상에나노입자잉크로제1 패턴을인쇄한다. 상기제1 패턴을건조시킨다. 상기제1 금속층상에상기제2 금속층을도금한다. 상기제1 패턴을제거하여상기제2 금속층을개구하는제2 개구부를형성한다. 상기제1 금속층을선택적으로식각하여상기제1 금속층을개구하는제1 개구부를형성한다. 상기제판의상부에제3 금속층을도금하여, 상기제판상에미세패턴을형성한다.
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公开(公告)号：KR101884731B1
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：KR1020160128055
申请日：2016-10-05
Applicant: 한국기계연구원
IPC: B05C5/02
Abstract: 개선된챔버형상을갖는슬롯다이는잉크공급부로부터제공된잉크를토출하여코팅하는슬롯다이코팅에사용되며, 제1 프레임, 제2 프레임및 개재유닛을포함한다. 상기제1 프레임은상기잉크를공급받는유입부, 상기유입부로제공된잉크를저장하는챔버, 및상기챔버의하부에위치하여상기잉크가토출되는제1 토출부를포함한다. 상기제2 프레임은상기제1 프레임과결합되며상기제1 토출부와마주하는제2 토출부를포함한다. 상기개재유닛은상기제1 및제2 프레임들의사이에개재되어상기제1 챔버및 상기제1 및제2 토출부들사이에공간을형성한다.
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公开(公告)号：KR101877515B1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：KR1020160128056
申请日：2016-10-05
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 슬롯다이시스템및 이를이용한슬롯다이제어방법에서, 상기슬롯다이시스템은외부케이스및 슬롯다이코팅장비를포함한다. 상기외부케이스는일 측면에는글러브(glove)가형성되고, 다른측면에는도어부가형성된다. 상기슬롯다이코팅장비는상기외부케이스의내부에수납되며, 슬롯다이, 실린지, 연결유닛및 이송제어부를포함한다. 상기슬롯다이는노즐을통해유체를토출하여기판에코팅을수행한다. 상기실린지는펌프유닛을포함하여상기슬롯다이로유체를펌핑(pumping)하여공급한다. 상기연결유닛은상기실린지와상기슬롯다이사이에서상기유체가이송된다. 상기이송제어부는상기펌핑에따른응답지연을고려하여상기기판의이송속도를제어한다.
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公开(公告)号：KR1020170091858A
公开(公告)日：2017-08-10
申请号：KR1020160012651
申请日：2016-02-02
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , H01L21/3213 , H01L21/311 , H01L21/288 , H01L21/768
Abstract: 제판제작방법에서제판상에제1 금속층을형성한다. 상기제1 금속층상에임프린팅공정으로제1 패턴을형성한다. 상기제1 금속층상에만상기제2 금속층을도금한다. 상기제1 패턴을제거하여상기제2 금속층을개구하는제2 개구부를형성한다. 상기제1 금속층을선택적으로식각하여상기제1 금속층을개구하는제1 개구부를형성한다. 상기제판의상부에제3 금속층을도금하여, 상기제판상에미세패턴을형성한다.
Abstract translation: 在制版方法中，第一金属层形成在板上。 通过压印工艺在第一金属层上形成第一图案。 第二金属层仅镀在第一金属层上。 并且去除第二图案以形成用于打开第二金属层的第二开口。 第一金属层被选择性地蚀刻以形成第一开口以打开第一金属层。 将第三金属层镀在板的顶部以在板上形成精细图案。
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