公开(公告)号：KR102116033B1

公开(公告)日：2020-05-27

申请号：KR1020180063573

申请日：2018-06-01

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  정현 ,  정주연 ,  전소희 ,  정준호

IPC: H01L31/109 ,  H01L31/0224 ,  H01L31/032 ,  H01L31/0352 ,  H01L27/146

公开(公告)号：KR101973021B1

公开(公告)日：2019-04-26

申请号：KR1020170159954

申请日：2017-11-28

Applicant: 한국기계연구원

Inventor： 장원석 ,  정현 ,  정소희 ,  소혜미 ,  정준호

IPC: H01L31/10 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/042 ,  H01L31/0224