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公开(公告)号：WO2018009014A1
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：PCT/KR2017/007274
申请日：2017-07-06
Applicant: 부산대학교 산학협력단
IPC: G01N13/02
Abstract: 본 발명의 실시예에 따른 젖음성 측정장치는 모조플레이트와, 무기층을 포함하고, 이의 제작방법은 패턴 가공단계와, 모조플레이트 제작단계와, 모조플레이트 분리단계와, 무기층 형성단계를 포함한다. 이를 통해 무기파우더와 레진 간의 젖음성을 간편하게 추정할 수 있고 제작이 용이하며, 시험용 열 계면 재료를 제작하기 위한 재료와 비용, 시험용 열 계면 재료의 열 전도도를 테스트하기 위한 시간과 노력을 절감할 수 있다. 또한, 젖음성이 좋은 최적의 크기와 간격을 갖는 무기파우더를 선정할 수 있고, 이를 통해 열 계면 재료의 방열 효과를 극대화할 수 있으며, 모조플레이트와 무기층이 서로 분리되는 것을 방지할 수 있고, 무기파우더와 레진 사이의 젖음성 수치를 보다 정확하게 추정할 수 있다.
Abstract translation: 和
根据本发明的一个实施例包括虚拟盘，和无机层，和可润湿性测量仪及其制造方法是图案加工步骤，和伪板生产阶段，分离隔板的步骤， 和无机层形成步骤。 这可以很容易地估计出的无机粉末和树脂之间的润湿性和可制造，容易和减少的时间和精力来测试材料和成本，测试的热导率的热界面材料，以产生一个实验热界面材料 。 此外，也可以润湿被选择具有良好最佳尺寸和间隔，这可导致过度最大化热界面材料的散热效果，并且隔板和所述无机层的无机粉末可以从彼此分离来防止，无机 粉末和树脂之间的润湿性可以更准确地估计。
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公开(公告)号：KR101918260B1
公开(公告)日：2018-11-13
申请号：KR1020170092291
申请日：2017-07-20
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단 , 포항공과대학교 산학협력단
IPC: H01L51/52 , H01L29/786 , H01L51/56 , H01L51/00
Abstract: 본발명의한 실시예에따른전자소자는기판, 기판위에형성되어있으며, 복수의고분자사슬을포함하는제1 부분과제2 부분을가지는전도성고분자층, 제1 부분의전도성고분자층의표면으로부터돌출된돌출부를포함하는양각패턴, 전도성고분자층및 상기양각패턴을밀봉하는봉지부재를포함하고, 봉지부재는광전환물질을포함하는투명한고분자물질로이루어진다.
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公开(公告)号：KR1020160150559A
公开(公告)日：2016-12-30
申请号：KR1020150088743
申请日：2015-06-22
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L51/00 , H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/20
Abstract: 본발명의한 실시예에따른양각패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의에너지밀도는레이저빔에의해서고분자막이삭막되는삭막임계점미만으로조사하여패턴을형성할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020160058359A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：KR1020140159160
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0275
Abstract: 본발명의실시예에따른박막패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의파워는레이저빔에의해서고분자막이삭막되는삭막임계점미만으로조사하여패턴을형성한다.
Abstract translation: 提供了形成能够在没有复杂的光刻工艺和压印处理的情况下减少处理时间和制造成本的薄膜图案的方法。 根据本发明的实施方案的形成薄膜图案的方法包括：制备聚合物膜的步骤; 以及通过向聚合物膜发射激光而形成从聚合物膜的表面突出的图案的步骤。 激光束的功率比通过激光束切割聚合物膜的膜切割临界点小。
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公开(公告)号：KR101765325B1
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020150119502
申请日：2015-08-25
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은레이저양각패턴을이용한몰드제조방법에관한것으로서, 박막형성단계와, 양각패턴형성단계와, 몰드용패턴형성단계를포함한다. 박막형성단계는기판에고분자박막을형성한다. 양각패턴형성단계는고분자박막이어블레이션되는어블레이션임계점미만의에너지밀도를가지는레이저빔을고분자박막에조사하여, 고분자박막의표면으로부터팽창되는양각패턴을형성한다. 몰드용패턴형성단계는고분자박막을에칭하여기판에양각패턴보다작은크기의몰드용패턴을형성하며, 몰드용패턴은양각패턴이에칭되면서형성된다.
Abstract translation: 本发明涉及使用激光正型图案制造模具的方法，并且包括用于模具的薄膜形成步骤，正型图案形成步骤和图案形成步骤。 薄膜形成步骤在基板上形成聚合物薄膜。 压花图案形成工序照射具有小于烧蚀阈值的能量密度是随后迁移到所述嵌段聚合物薄膜聚合物薄膜，以形成压花图案，以从聚合物薄膜的表面扩展的激光束。 在用于模具的图案形成步骤中，对聚合物薄膜进行蚀刻以形成尺寸小于衬底上的凸纹图案的模具的图案，并且在凹凸图案被蚀刻时形成用于模具的图案。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170024635A
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020150119502
申请日：2015-08-25
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
Abstract: 본발명은레이저양각패턴을이용한몰드제조방법에관한것으로서, 박막형성단계와, 양각패턴형성단계와, 몰드용패턴형성단계를포함한다. 박막형성단계는기판에고분자박막을형성한다. 양각패턴형성단계는고분자박막이어블레이션되는어블레이션임계점미만의에너지밀도를가지는레이저빔을고분자박막에조사하여, 고분자박막의표면으로부터팽창되는양각패턴을형성한다. 몰드용패턴형성단계는고분자박막을에칭하여기판에양각패턴보다작은크기의몰드용패턴을형성하며, 몰드용패턴은양각패턴이에칭되면서형성된다.
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公开(公告)号：KR101661679B1
公开(公告)日：2016-10-04
申请号：KR1020140159160
申请日：2014-11-14
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L21/027
Abstract: 본발명의실시예에따른박막패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의파워는레이저빔에의해서고분자막이삭마되는삭마임계점미만으로조사하여패턴을형성한다.
Abstract translation: 根据本发明实施例的形成薄膜图案的方法包括以下步骤：准备聚合物膜，通过用激光束照射聚合物膜而形成从聚合物膜的表面突出的图案， 该图案通过在聚合物膜被烧蚀的烧蚀阈值点照射聚合物膜而形成。
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公开(公告)号：KR101735487B1
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：KR1020160086409
申请日：2016-07-07
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: G01N13/02
CPC classification number: G01N13/02
Abstract: 본발명은분말형태로된 무기파우더와액상의레진간의젖음성을간접적으로알아볼수 있는젖음성측정장치및 이의제작방법에관한것으로서, 본발명의젖음성측정장치는모조플레이트와, 무기층을포함하고, 이의제작방법은패턴가공단계와, 모조플레이트제작단계와, 모조플레이트분리단계와, 무기층형성단계를포함한다. 본발명의젖음성측정장치에따른모조플레이트는상면에돌출형성되고, 서로이격되어종횡으로배열되며, 모방할무기파우더의크기와실질적으로동일한크기를갖는다수의범프를구비한다. 무기층은무기파우더의재질과동일한기상의무기물이모조플레이트의상면에일정두께로증착되어형성되고, 범프와대응되는형상으로돌출형성된다수의단위볼륨을구비한다. 액상의레진(lesin)이다수의단위볼륨상에서액적(droplet)으로맺혀지며, 액적의액면과무기층의평면이이루는접촉각을측정함으로써, 레진과무기파우더사이의젖음성을측정한다. 본발명의젖음성측정장치의제작방법에따른패턴가공단계는기저플레이트의상면에내측으로함몰되어종횡으로배열되고, 모방할무기파우더의크기와실질적으로동일한크기를갖는다수의홈을가공하는단계이다. 모조플레이트제작단계는기저플레이트의상면에유동물질을일정두께로채우고경화시켜, 일면이기저플레이트의상면과동일한패턴을갖는모조플레이트를제작하는단계이다. 모조플레이트분리단계는모조플레이트를기저플레이트로부터분리시키는단계이다. 무기층형성단계는기저플레이트의상면과동일한패턴으로모사된모조플레이트의일면에기상의무기물를일정두께로증착하여무기층를형성하는단계이다.
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公开(公告)号：KR101729686B1
公开(公告)日：2017-04-25
申请号：KR1020150088743
申请日：2015-06-22
Applicant: 한국기계연구원 , 부산대학교 산학협력단
IPC: H01L51/00 , H01L21/027 , H01L21/02 , G03F7/20
Abstract: 본발명의한 실시예에따른양각패턴의형성방법은고분자막을준비하는단계, 고분자막에레이저빔을조사하여고분자막의표면으로부터돌출되는패턴을형성하는단계를포함하고, 레이저빔의에너지밀도는레이저빔에의해서고분자막이삭마되는삭마임계점미만으로조사하여패턴을형성할수 있다.
Abstract translation: 的凸版形成方法是激光束的能量密度，并形成图案投影方法，包括：制备一个聚合物膜，通过根据本发明的一个实施方式从图案的聚合物膜的表面将激光束施加到聚合物薄膜，激光束 可以通过在聚合物膜被烧蚀的烧蚀阈值点照射聚合物膜来形成图案。
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公开(公告)号：KR1020130052293A
公开(公告)日：2013-05-22
申请号：KR1020110117661
申请日：2011-11-11
Applicant: 부산대학교 산학협력단
CPC classification number: B82B3/0038 , B01J2/30 , B81B1/00 , B81C1/00015 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A designing method of ultra water-repellent surface structure is provided to obtain optimum water repellency performance by forming Cassie-Baxter(CB) state from water droplets by controlling gaps according to the shape of surface protrusions. CONSTITUTION: A designing method of ultra water-repellent surface structure comprises a step of obtaining information of surface tension of water, pressure of water droplet, pressure difference of vapor, width and height of protrusion; a step of obtaining critical distance between protrusions by applying the parameters into a critical distance-calculating formula; a step of optimizing the protrusion structure by using the critical distance. The ultra water-repellent surface structure includes rectangular, cylindrical, and hemisphere shape.
Abstract translation: 目的：提供超疏水表面结构的设计方法，通过根据表面突起的形状控制间隙，从水滴形成Cassie-Baxter（CB）状态，获得最佳的防水性能。 构成：超疏水表面结构的设计方法包括获得水表面张力，水滴压力，蒸汽压差，突起宽度和高度的信息的步骤; 通过将参数应用到临界距离计算公式中来获得突起之间的临界距离的步骤; 通过使用临界距离优化突出结构的步骤。 超防水表面结构包括矩形，圆柱形和半球形。
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