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公开(公告)号：KR101463040B1
公开(公告)日：2014-11-18
申请号：KR1020130105624
申请日：2013-09-03
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 김욱배
Abstract: 본 발명은 유리와 세라믹과 같은 경취성 재료의 표면을 미세 가공하는 방법으로서, 가공 대상 재료의 표면에 공기압으로 연마입자를 분출하는 파우더 블라스팅 공정으로 재료의 표면에 패턴을 형성하는 패턴 형성 단계; 상기 패턴이 형성된 표면에 연마입자가 섞인 물을 분출하는 워터 제트 공정으로 상기 패턴의 표면을 연마하는 1차 연마 단계; 및 상기 워터 제트 공정을 수행한 재료의 표면 전체를 래핑(lapping)공정 또는 폴리싱 공정으로 평탄화하는 2차 연마 단계를 포함한다.
본 발명은, 저렴하고 빠른 파우더 블라스팅으로 표면을 가공한 뒤에 워터 제트 공정과 화학적 기계적 연마 공정으로 가공 표면을 연마함으로써, 낮은 비용으로 뛰어난 품위의 표면 가공을 수행할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 미세 채널 형성 방법을 적용하는 경우, 가공면의 표면품위가 높기 때문에 미세 유체의 흐름 특성을 제어해야하는 바이오칩과 같은 미세 유체 소자의 성능을 크게 향상시킬 수 있는 효과가 있다.Abstract translation: 本发明涉及一种用于玻璃或陶瓷等硬化脆性材料表面的微加工方法。 表面微加工方法包括以下步骤：图案形成步骤，通过粉末喷射工艺在材料的表面上形成图案，以通过气动压力将颗粒粉碎到虚拟目标材料的表面上; 主要研磨步骤，通过水喷射法研磨图案的表面，以将具有研磨颗粒的水喷射到具有图案的表面上; 以及二次研磨步骤，通过研磨处理或抛光工艺使经受喷水处理的整个表面变平。 根据本发明，在通过经济且快速的粉末喷射处理对表面进行加工后，通过喷水工艺和化学和机械抛光工艺抛光待加工的表面，使得具有优异质量的表面处理 可以以低成本进行。 此外，当应用根据本发明的微加工方法时，加工表面的表面质量增加，以显着提高微流体装置（例如生物芯片）的性能，微流体装置具有必须具有的微流体流动特性 被控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR102068538B1
公开(公告)日：2020-01-21
申请号：KR1020180067900
申请日：2018-06-14
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 김욱배
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公开(公告)号：KR1020120102828A
公开(公告)日：2012-09-19
申请号：KR1020110014577
申请日：2011-02-18
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A flexure hinge based nanopositioner manufactured from polymers and a manufacturing method thereof are provided to exercise three-dimensionally by composing a nanopositioner of polymers through injection molding. CONSTITUTION: A nanopositioner(1) is completely made of polymers. The nano-positioner includes a tilted hinge portion. The hinge portion is composed of first hinges(30) and second hinges(40). A manufacturing method of the nanopositioner includes an injection molding process. The mold part corresponding to the flexure hinge is formed in parallel with a resin flowing direction. The nanopositioner includes a pin-point gate which is located in the center of two adjacent flexure hinges.
Abstract translation: 目的：提供由聚合物制造的基于挠性铰链的纳米定位器及其制造方法，通过注射成型构成聚合物的纳米定位器来三维运动。 构成：纳米定位器（1）完全由聚合物制成。 纳米定位器包括倾斜的铰链部分。 铰链部分由第一铰链（30）和第二铰链（40）组成。 纳米定位器的制造方法包括注射成型工艺。 对应于弯曲铰链的模具部件与树脂流动方向平行地形成。 纳米定位器包括位于两个相邻弯曲铰链中心的针点门。
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公开(公告)号：KR101318970B1
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：KR1020120003119
申请日：2012-01-10
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 김욱배
Abstract: 본 발명은 공정속도와 비용 및 가공표면 품위가 뛰어난 경취성 재료의 표면 미세 가공 장치 및 방법에 관한 것으로, 유리와 세라믹과 같은 경취성 재료의 표면을 가공하는 장비로서, 가공 대상 재료가 위치하는 작업대; 상기 가공 대상 재료의 표면에 패턴을 형성하는 제1가공장치; 및 상기 가공 대상 재료의 표면을 연마하는 제2가공장치를 포함하며, 상기 제1가공장치는 공기압으로 연마입자를 분출하여 재료의 표면을 절삭하는 파우더 블라스팅 가공장치이고, 상기 제2가공장치는 연마입자가 섞인 물을 분출하여 재료의 표면을 연마하는 워터 제트 가공장치인 것을 특징으로 한다.
본 발명은, 파우더 블라스팅 장치와 워터 제트 장치를 하나의 가공 장비에 구비함으로써, 빠르고 저렴하게 표면 패턴 가공을 할 수 있을 뿐만 아니라 높은 표면품위를 얻을 수 있는 효과가 있다.
또한, 파우더 블라스팅을 위한 노즐과 워터 제트를 위한 노즐을 움직이는 하나의 이송수단을 구비함으로써, 장비의 제조비용이 크게 절감되는 효과가 있다.-
公开(公告)号：KR1020130081980A
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：KR1020120003119
申请日：2012-01-10
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
Inventor： 김욱배
Abstract: PURPOSE: A fine processing device and a method thereof are provided to be equipped with one transferring unit which transfers both a nozzle for powder-blasting and a nozzle for water-jetting, thereby reducing the costs for manufacturing the equipment. CONSTITUTION: A fine processing device comprises a workbench (30), a first processing unit (10) and a second processing unit (20). The first processing unit forms patterns on the surface of an object to be processed. The second processing unit polishes the surface of the object to be processed. The first processing unit is a powder-blasting processing unit which ejects abrasive particles by pneumatic pressure and cuts the surface of the materials. The second processing unit is a water-jetting processing unit which spouts water including abrasive particles and polishes the surface of the materials.
Abstract translation: 目的：提供一种精细加工装置及其方法，其具有一个传送单元，该传送单元传送用于粉末喷射的喷嘴和用于喷水的喷嘴，从而降低了用于制造设备的成本。 构成：精细处理装置包括工作台（30），第一处理单元（10）和第二处理单元（20）。 第一处理单元在待处理对象的表面上形成图案。 第二处理单元抛光被处理物体的表面。 第一处理单元是粉末喷射处理单元，其通过气动压力喷射磨料颗粒并切割材料的表面。 第二处理单元是喷水处理单元，其喷射包括磨料颗粒的水并抛光材料的表面。
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