公开(公告)号：WO2022191370A1

公开(公告)日：2022-09-15

申请号：PCT/KR2021/012078

申请日：2021-09-07

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이희철 ,  박세용 ,  노순호

IPC: C23C14/00 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58 ,  C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  C23C14/56 ,  C23C14/22

Abstract: 본 발명은 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치, 다공성 금속산화물 박막의 제조 방법 및 이에 의해 제조된 다공성 금속산화물 박막에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 사전 산화된 다공성 금속 박막의 제조 장치는, 제1 영역을 포함하는 상부 챔버; 제2 영역을 포함하는 하부 챔버; 상기 상부 챔버 및 상기 하부 챔버 사이의 연결 지점에 위치하고, 타겟으로부터 빠져나온 금속 입자들을 통과시키는 적어도 하나의 홀을 가지는 금속판; 상기 제2 영역에서 기판을 지지하는 지그; 및 상기 금속판 및 상기 지그 사이에 형성된 산소 가스링;을 포함한다.