公开(公告)号：KR101111492B1

公开(公告)日：2012-02-22

申请号：KR1020100000993

申请日：2010-01-06

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 강찬형 ,  민재기

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521

Abstract: 본 발명에 따른 태양전지 웨이퍼 세정기용 드라이 장치는, 내부에 웨이퍼가 투입된 상태에서 웨이퍼를 건조시킬 수 있도록 이루어진 챔버, 이 챔버 내에 회전 가능하게 지지된 상태에서 챔버 내에 투입된 웨이퍼를 건조시킬 수 있도록 에어를 공급하는 스윙 노즐, 이 스윙 노즐을 회전 구동시키는 스윙구동장치가 구비됨으로써, 보다 우수한 건조 성능을 확보하고, 건조 시간도 크게 단축하여 생산성 향상에 기여할 수 있는 효과를 제공한다.

公开(公告)号：KR1020110080661A

公开(公告)日：2011-07-13

申请号：KR1020100000993

申请日：2010-01-06

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 강찬형 ,  민재기

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/04

CPC classification number: Y02E10/50 ,  Y02P70/521 ,  H01L31/18 ,  H01L31/04

Abstract: PURPOSE: A dry device for a solar battery wafer cleaning device is provided to shorten wafer drying time, thereby drastically increasing production. CONSTITUTION: A wafer is placed and dried in a chamber structure(100). A swing nozzle(200) has a pipe structure. The swing nozzle is supported by the chamber structure. The wafer in the chamber structure is dried by air. A swing driving device(300) is placed in the chamber structure and rotates the swing nozzle.

Abstract translation: 目的：提供一种用于太阳能电池晶片清洁装置的干燥装置，以缩短晶片干燥时间，从而大大提高生产成本。 构成：在室结构（100）中放置并干燥晶片。 摆动喷嘴（200）具有管道结构。 摆动喷嘴由腔室结构支撑。 室结构中的晶片被空气干燥。 旋转驱动装置（300）被放置在腔室结构中并使摆动喷嘴旋转。