公开(公告)号：KR1020110101446A

公开(公告)日：2011-09-16

申请号：KR1020100020442

申请日：2010-03-08

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단

Inventor： 이종항 ,  소진석 ,  신하상

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67736 ,  H01L21/6838 ,  H05K13/0408 ,  Y10S414/141

Abstract: 본 발명은 두께가 얇고 유연한 기판이라도 적재된 장소로부터 정확하게 1장씩 분리하여 이송시킬 수 있는 기판 분리장치에 관한 것으로서, 기판을 흡착하는 진공그리퍼가 장착된 헤드유닛과, 상기 헤드유닛을 이송시켜 기판이송수단에 기판을 공급하는 수평이동부와, 상기 수평이동부에 연결되며, 상기 헤드유닛을 상하로 승강구동시키는 수직이동부와, 기판을 흡착한 헤드유닛을 수평방향으로 미세 이동시키는 미세이동부를 구비하며, 상기 미세이동부는 상기 수직이동부에 연결된 플랜지에 체결되는 슬라이더부와, 상기 슬라이더부에 체결되며 상기 슬라이더부를 따라 수평방향으로 이동하는 슬라이더 블럭과, 삽입 길이의 조정이 가능한 스토퍼 로드가 관통 삽입되며 상기 슬라이더부에 체결 고정되는 한 쌍의 스토퍼를 더욱 구비하며, 상기 헤드� �닛은 그리퍼 교환플레이트와, 그리퍼 위치결정블럭과, 그리퍼 고정핀을 더욱 구비하여, 초박형 유연성 성질을 가지는 기판을 1장씩 정확하게 분리할 수 있고, 그리퍼의 분해 조립시에 그리퍼 고정핀을 간단히 해제시킴으로써 진공패드 그리퍼를 간단하게 분해할 수 있고, 새로운 그리퍼의 적용시 모델의 신속한 교체가 가능하다고 하는 이점이 있다.