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公开(公告)号:KR1020170094697A
公开(公告)日:2017-08-21
申请号:KR1020160015801
申请日:2016-02-11
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단
IPC: B29C39/02 , B29C33/38 , B29C33/42 , B29D7/01 , G03F7/00 , G02B5/00 , C23C14/35 , C23C14/10 , B05D1/18
Abstract: 본발명은시야각제한필름제조방법에관한것이다. 보다상세하게는감광성재료소재의몰드를제조한후 이를이용하여투명성을갖는시야각제한필름을간편하게제조할수 있는시야각제한필름제조방법에관한것이다. 본발명은 (a) 기판상에포토레지스트층을형성하는단계; (b) 상기포토레지스트층을미리결정된패턴에따라노광시키는단계; (c) 미리결정된횟수에따라상기 (a) 및 (b) 단계를반복수행하여상기기판상에적층되며각각미리결정된패턴에따라노광이이루어진복수개의포토레지스트층을형성하는단계; (d) 상기복수개의포토레지스트층 각각을현상하여상기기판상에패턴구조체를형성하는단계; (e) 상기패턴구조체노출면상에투명성을갖는광학부재를도포한후 상기광학부재를경화하는단계; 및 (f) 상기경화된광학부재와상기패턴구조체를분리하는단계를포함하는것을특징으로한다. 본발명에의하면형이아닌포토레지스트의일종이자필름형태의감광성도포물질인 DFR(Dry Film Resist)에대한형상제어에의해제조되는몰드를기반으로시야각제한필름을제조할수 있어시야각제한필름의제조비용을절감할수 있는효과를갖는다.
Abstract translation: 制造视角限制膜的方法技术领域本发明涉及制造视角限制膜的方法。 更具体地说,一种生产视角,可以很容易通过使用此,在制造的感光材料膜材料限制的模具之后制造具有视角限制膜透明度的方法。 (A)在衬底上形成光刻胶层; (b)根据预定图案曝光光致抗蚀剂层; 根据所确定的数目提前(C)是通过重复执行步骤(a)和(b)形成的多个光致抗蚀层曝光的是按照每个预定图案由堆叠在所述基板上; (d)将多个光致抗蚀剂层中的每一个显影以在衬底上形成图案结构; (e)在图案结构的暴露表面上施加具有透明性的光学构件,然后固化光学构件; (f)将图案化结构与固化的光学构件分离。 比本发明的类型和在DFR的光敏涂层材料的形式的膜,根据光致抗蚀剂的类型(干膜抗蚀剂),它可以制造基于所述模具中的视场角限制膜通过视图限制膜的场的生产成本的形状控制产生 可以保存。