公开(公告)号：KR1020160134224A

公开(公告)日：2016-11-23

申请号：KR1020150067934

申请日：2015-05-15

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 ,  오앤아이(주)

Inventor： 정미숙 ,  고재석

IPC: G01N21/88 ,  G01N21/956

Abstract: 본발명은검사광학계에관한것으로서, 대물렌즈와, 광원과상기광원이통과하는조명렌즈와, 상기조명렌즈로부터입사된광을복수개의이미지로분할하는광분할기를갖는조명광학계를포함하여구성되며, 상기조명광학계는상기조명렌즈와상기광분할기사이에배치되며상기대물렌즈의동공에패턴을형성하기위한패턴형성부재를구비하여, 검사광학계에많은부피를차지하는릴레이렌즈를사용하지않으면서도해상력을높일수 있기때문에콤팩트하면서도해상력을향상시킬수 있는검사광학계를제공할수 있고, 대물렌즈의외측에서패턴형성부재를설치할수 있기때문에설치작업이용이할뿐만아니라, 기구어퍼쳐나회절광학소자를이용하여패턴형상에제약이없이다양한형상의패턴을대물렌즈의동공에직접형성할수 있다.

公开(公告)号：KR101909535B1

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：KR1020170065547

申请日：2017-05-26

Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 ,  주식회사 티에스엠

Inventor： 정미숙 ,  박태양 ,  조현우 ,  김현욱 ,  고재석

IPC: G02B13/18 ,  G02B3/02

Abstract: 본 발명의 다양한 크기의 오브젝트를 촬영할 수 있는 하이퍼센트릭 렌즈는 전방에 배치되어 오브젝트를 촬영하는 제1 렌즈군; 상기 제1 렌즈군과 이격되어 설치되고, 상기 제1 렌즈군을 통해 입사되는 광을 집광하는 제2 렌즈군; 상기 제2 렌즈군과 이격되어 설치되고, 상기 제2 렌즈군을 통해 입사되는 광을 이미지 센서로 집광하는 제 3 렌즈군; 및 상기 제1 렌즈군, 상기 제2 렌즈군 및 상기 제3 렌즈군을 내부에 구비하는 하우징을 포함하고, 상기 오브젝트의 크기에 따라 결정되고, 상기 제1 렌즈군과 상기 오브젝트 사이의 거리인 오브젝트 거리(Object Distance)는, 상기 오브젝트 거리에 따라, 상기 제3 렌즈군과 상기 이미지 센서 사이의 거리인 이미지 거리(image distance)가 조절되어, 상기 오브젝트의 상면과 측면이 동시에 촬영된다.