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公开(公告)号：KR101876984B1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：KR1020160100096
申请日：2016-08-05
Applicant: 한국산업기술대학교산학협력단 , 홍요한
Inventor： 홍요한 , 이종항 , 이서준
IPC: G01L1/18 , G01L5/16
Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 스테인리스강(SUS: Steel Use Stainless) 소재를포함하는다이아프램바디; 및상기다이아프램바디상면에형성된루테늄을포함하는금속물질인쇄후막저항을포함하는, 후막형압력센서가제공된다.
