후막형 압력센서 및 그 제조방법
    1.
    发明公开
    후막형 압력센서 및 그 제조방법 有权
    厚膜型压力传感器及其制造方法

    公开(公告)号:KR20180016702A

    公开(公告)日:2018-02-19

    申请号:KR20160100096

    申请日:2016-08-05

    CPC classification number: G01L1/18 G01L5/161

    Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 스테인리스강(SUS: Steel Use Stainless) 소재를포함하는다이아프램바디; 및상기다이아프램바디상면에형성된루테늄을포함하는금속물질인쇄후막저항을포함하는, 후막형압력센서가제공된다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,提供了一种包括不锈钢(SUS)材料的隔膜本体; 并且在膜片本体的上表面上形成包括钌的金属材料印刷厚膜电阻器。

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