公开(公告)号：WO2022065881A1

公开(公告)日：2022-03-31

申请号：PCT/KR2021/012966

申请日：2021-09-23

Applicant: 한국산업기술대학교 산학협력단

Inventor： 김경국 ,  오세미 ,  김소현

IPC: H01L23/498 ,  H01L23/00 ,  H01L27/20 ,  H01L23/66 ,  H01L23/528 ,  H01L23/58 ,  H01L41/113 ,  H01L41/09

Abstract: 본 발명은, 초음파 센서에 있어서, 압전효과를 갖는 나노 로드가 다수개 어레이되어 사용자의 지문을 감지하는 센싱부와, 상기 나노 로드의 제1축 방향의 라인을 따라 상기 나노 로드와 전기 접점되어 상기 센싱부의 일면을 구성하는 제1 전극과, 상기 나노 로드의 제2축 방향의 라인을 따라 상기 나노 로드와 전기 접점되어 상기 센싱부의 타면을 구성하는 제2 전극, 상기 제1 전극의 일단부에 전기 접점되어 상기 제1축 방향의 라인에 위치한 상기 나노 로드에 전기적 신호를 통합적으로 유통시키는 제1 플립칩 전극과, 상기 제2 전극의 일단부에 전기 접점되어 상기 제2축 방향의 라인에 위치한 상기 나노 로드에 전기적 신호를 통합적으로 유통시키는 제2 플립칩 전극이 구성된 센서 다이; 및 어레이된 상기 나노 로드의 제1축 방향의 라인에서 제1축의 일단 또는 타단에 솔더볼이 형성되어 상기 제1 플립칩 전극과 접점되고, 상기 나노 로드의 제2축 방향의 라인에서 제2축의 일단 또는 타단에 솔더볼이 형성되어 상기 제2 플립칩 전극과 접점되며, 상기 센서 다이와 본딩되는 상기 솔더볼이 어레이된 상기 나노 로드 개수의 1/2이하로 형성된 초음파 센서 기판을 포함하여, 상기 센서 다이가 상기 초음파 센서 기판에 플립칩 본딩된 것을 특징으로 한다.