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公开(公告)号：WO2016098984A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/KR2015/007980
申请日：2015-07-30
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본 발명은 노즐 헤드, 노즐 헤드의 제조방법 및 노즐 헤드를 포함하는 액체공급장치에 관한 것으로, 노즐기판; 상기 노즐기판의 하면에서 아래쪽으로 돌출형성되며 노즐 홀이 상하로 관통 형성되는 노즐팁; 상기 노즐팁을 중심으로 외주 반경둘레에 형성되며 상기 노즐기판의 하면으로부터 상면을 향하여 오목하게 형성되는 회피홈; 상기 노즐팁과 이격되게 배치되어 있으며 상기 노즐기판의 상,하면을 관통형성되는 진공작용 홀; 상기 노즐기판의 하면에 오목하게 형성되어 상기 진공작용 홀과 회피홈 사이를 연통시키는 이동홈; 및 상기 노즐기판의 하면에 부착되며 상기 노즐팁에 대향하는 일부분이 관통되는 글래스를 포함하는 것을 특징으로 하므로 액체 줄기가 분사 초기부터 미세하게, 그리고 연속적으로 분사될 수 있도록 하고 노즐에서 분사되는 액체의 공급 및 차단을 자유롭게 조절할 수 있다는 이점이 있다.
Abstract translation: 本发明涉及喷嘴头，喷嘴头的制造方法以及包括喷嘴头的液体供给装置，喷嘴头包括喷嘴基板; 从喷嘴基板的下表面向下突出形成的喷嘴头，并且具有垂直形成的喷嘴孔; 避开槽，其围绕喷嘴头形成在外径向周向，并且从喷嘴基板的下表面向其上表面凹入地形成; 设置成与喷嘴头间隔开的真空动作孔，并通过喷嘴基板的上表面和下表面形成; 所述移动槽凹入地形成在所述喷嘴基板的下表面上并且连通所述真空动作孔和所述回避槽之间的空间; 以及附接到喷嘴基板的下表面的玻璃，并且其与喷嘴头相对的部分被穿孔。 因此，具有能够在喷雾开始时精细地连续地喷射液体流的优点，并且可以自由地控制从喷嘴喷射的液体的供给和堵塞。
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公开(公告)号：KR101639774B1
公开(公告)日：2016-07-15
申请号：KR1020150012835
申请日：2015-01-27
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/67051 , H01L51/0001
Abstract: 본발명은노즐헤드조립체및 노즐헤드조립체를포함하는액체공급장치에관한것으로서, 노즐기판; 상기노즐기판의하면에서아래쪽으로돌출형성되며노즐홀이상하로관통형성되는노즐팁; 상기노즐기판의하면에서상기노즐팁의주변에상면방향으로오목하게형성된이동홈; 상기노즐팁과이격되게배치되어있으며상기이동홈에서상하방향으로관통형성되는진공작용홀 및, 상기노즐기판의하면에부착되며상기노즐팁에대향하는일부분은관통되는글래스를포함하는것을특징으로하므로, 액체줄기가분사초기부터미세하게, 그리고연속적으로분사될수 있도록하고노즐에서분사되는액체의공급및 차단을자유롭게조절할수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及喷嘴头组件和包括喷嘴头组件的液体供应设备。 喷嘴头组件包括：喷嘴基板; 喷嘴头从喷嘴基板的底面向下突出并具有垂直通过的喷嘴孔; 在所述喷嘴基板的所述喷嘴基板的所述下表面上朝向顶面凹部地形成的可动槽; 真空动作孔，其设置成与所述喷嘴头间隔开并且垂直地穿过所述可动槽; 以及附接到喷嘴基板的底表面并具有对应于喷嘴头的真空部分的玻璃。 因此，喷嘴头组件使得能够从喷射开始精细且连续地喷射液体流，并且可以自由地控制从喷嘴喷射的液体的供应的供应和停止。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170003077A
公开(公告)日：2017-01-09
申请号：KR1020150093269
申请日：2015-06-30
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은노즐프린팅을이용하여패턴을형성하는방법및 장치에관한것이다. 본발명의일면에따른노즐프린팅을이용한패턴형성방법은보호필름을절단하고, 이를기판상에전사시키는단계와, 절단된보호필름을제거시키고, 노즐프린팅으로코팅을수행하는단계및 보호필름을제거하여패턴을형성하는단계를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR1020160072924A
公开(公告)日：2016-06-24
申请号：KR1020140180605
申请日：2014-12-15
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H01L51/56 , H01L21/02 , H01L21/67051 , Y02E10/549
Abstract: 본발명은 MEMS 기반노즐헤드제조방법및 그노즐헤드에관한것으로서, 노즐홀이형성될실리콘기판의일면을식각하여유입홈을형성하는제1단계, 상기실리콘기판의타면에보호막을형성하는제2단계, 상기보호막에, 노즐홀을포함하는노즐팁과상기노즐팁 둘레의회피홈에해당하는영역의패터닝을수행하는제3단계, 상기패터닝이이루어진보호막위에포토레지스트를도포하고노즐홀에대응하는부분의패터닝을수행하는제4단계, 1차식각을통해상기실리콘기판에노즐홈을형성하는제5단계, 실리콘기판으로부터상기포토레지스트를제거하는제6단계, 2차식각을통해노즐홀과노즐팁 둘레의회피홈을형성하는제7단계, 및상기보호막을제거하는제8단계를포함하는것을특징으로하므로, 액체줄기가미세하게, 그리고연속적으로분사될수 있도록미세한구조의노즐을정밀도높게제조할수 있다는이점이있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于制造基于MEMS的喷嘴头的方法及其喷嘴头。 该方法包括：通过蚀刻将形成喷嘴孔的硅树脂基底的一个表面形成入口槽的第一步骤; 第二步骤，在所述硅树脂基材的另一表面上形成保护膜; 第三步骤，对包含喷嘴孔的喷嘴头和对应于保护膜上的喷嘴尖端的圆周的回避槽的区域进行图案化; 在保护膜上涂覆光致抗蚀剂的第四步骤进行图案化，并在对应于喷嘴孔的区域上进行图案化; 第五步骤，通过初步蚀刻在硅树脂基底上形成喷嘴槽; 从硅树脂衬底去除光致抗蚀剂的第六步骤; 第七步骤，通过二次蚀刻形成喷嘴孔和喷嘴尖端圆周的回避槽; 和第八个去除保护膜。 该方法具有制造具有精细连续注入液体的精细结构的喷嘴的优点。
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公开(公告)号：KR101864852B1
公开(公告)日：2018-06-05
申请号：KR1020170014428
申请日：2017-02-01
Applicant: 한국생산기술연구원
CPC classification number: H05K3/4038 , H05K1/0386 , H05K3/125 , H05K3/4623
Abstract: 본발명은종이기판을이용한 PCB 제작방법에관한것으로, 보다상세하게는비아를제작하여양면 PCB를제작하는방법에관한것이다. 본발명의일면에따른종이기판을이용한 PCB 제작방법은종이기판의비아영역을지정하고, 종이기판을가공하는단계와, 비아영역에제1 잉크제팅을수행하여비아를형성하는단계및 종이기판의양면에제2 잉크제팅을수행하여양면레이어를형성하는단계를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号：KR101649340B1
公开(公告)日：2016-08-19
申请号：KR1020140180605
申请日：2014-12-15
Applicant: 한국생산기술연구원
Abstract: 본발명은 MEMS 기반노즐헤드제조방법및 그노즐헤드에관한것으로서, 노즐홀이형성될실리콘기판의일면을식각하여유입홈을형성하는제1단계, 상기실리콘기판의타면에보호막을형성하는제2단계, 상기보호막에, 노즐홀을포함하는노즐팁과상기노즐팁 둘레의회피홈에해당하는영역의패터닝을수행하는제3단계, 상기패터닝이이루어진보호막위에포토레지스트를도포하고노즐홀에대응하는부분의패터닝을수행하는제4단계, 1차식각을통해상기실리콘기판에노즐홈을형성하는제5단계, 실리콘기판으로부터상기포토레지스트를제거하는제6단계, 2차식각을통해노즐홀과노즐팁 둘레의회피홈을형성하는제7단계, 및상기보호막을제거하는제8단계를포함하는것을특징으로하므로, 액체줄기가미세하게, 그리고연속적으로분사될수 있도록미세한구조의노즐을정밀도높게제조할수 있다는이점이있다.
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