公开(公告)号：KR101271394B1

公开(公告)日：2013-06-11

申请号：KR1020090124143

申请日：2009-12-14

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 박종수 ,  김동원 ,  황경란 ,  이춘부 ,  강승민 ,  우병일 ,  안효선 ,  신용건 ,  심병철

IPC: C23C14/34

Abstract: 본 발명은 팔라듐-은 확산 방지막의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 미세금속파우더를 사용하여 다공성 금속지지체 제조 및 다공성 금속지지체의 표면 미세연마와 플라즈마 표면개질을 표면처리 한 후에 고온스퍼터방식을 사용하여 팔라듐 금속층 및 은 금속층의 두께비를 조절하여 연속적인 다층 코팅형성과 저온열처리에 의해 경사기능적 조성을 갖는 팔라듐-은 합금 확산방지막을 제조한다.
본 발명은 높은 수소투과 선택성과 동시에 고온에서 장기간 동안 금속지지체의 금속성분원소들의 열적 확산을 최소로 하여 수소분리막의 파괴 없이 고온내열성을 향상시키는 초박막의 치밀한 미세구조를 갖는 팔라듐-은 합금 확산방지 막을 제공한다.
팔라듐-은 합금, 확산방지막, 수소투과ㆍ선택성, 수소분리막

公开(公告)号：KR1020110067526A

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：KR1020090124143

申请日：2009-12-14

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 박종수 ,  김동원 ,  황경란 ,  이춘부 ,  강승민 ,  우병일 ,  안효선 ,  신용건 ,  심병철

IPC: C23C14/34

Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a palladium-silver alloy diffusion barrier layer is provided to improve the durability of a palladium-silver alloy diffusion barrier layer by minimizing the diffusion of metal components. CONSTITUTION: A method for manufacturing a palladium-silver alloy diffusion barrier layer is as follows. A porous metal supporting body is formed using fine metal powder. The surface of the porous metal supporting body is finely grinded and processed. A palladium-metal coating layer and a silver metal coating layer are formed on the porous metal supporting body is formed through a high-temperature sputtering process. A palladium-silver alloy coating layer is formed by heat-treating the palladium-metal coating layer and the silver metal coating layer with low-temperature.

Abstract translation: 目的：提供一种制造钯 - 银合金扩散阻挡层的方法，通过最小化金属组分的扩散来提高钯 - 银合金扩散阻挡层的耐久性。 构成：钯 - 银合金扩散阻挡层的制造方法如下。 使用细金属粉末形成多孔金属支撑体。 多孔金属支撑体的表面被细磨和加工。 通过高温溅射法在多孔金属支撑体上形成钯金属涂层和银金属涂层。 通过在低温下对钯金属被覆层和银金属被覆层进行热处理，形成钯 - 银合金涂层。