公开(公告)号：KR20210033205A

公开(公告)日：2021-03-26

申请号：KR1020190114654A

申请日：2019-09-18

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 오준호 ,  홍지은 ,  송희은 ,  김동석 ,  조임현 ,  한유진

IPC: H01L31/028 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/18

CPC classification number: H01L31/0284 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/1804

Abstract: 화학적 식각을 필요로 하지 않으면서도 표면에 기상 증착법을 통하여 박막의 기공도(%), 크레이터, 또는 기공의 평균 사이즈(nm)를 갖는 태양광 실리콘 웨이퍼가 개시된다.
상기 태양광 실리콘 웨이퍼는, 기판, 및 다기능 다공성 박막 구조를 가지며 상기 기판의 양면 또는 일면상에 형성되는 다공성층을 포함하는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR102021017B1

公开(公告)日：2019-09-18

申请号：KR1020170159503

申请日：2017-11-27

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 김가현 ,  김동석 ,  조임현 ,  오준호 ,  송희은

IPC: H01J37/32

公开(公告)号：KR102161593B1

公开(公告)日：2020-10-05

申请号：KR1020180142842

申请日：2018-11-19

Applicant: 한국에너지기술연구원

Inventor： 오준호 ,  홍지은 ,  송희은 ,  김동석

IPC: H01L31/0376 ,  H01L21/02 ,  H01L31/08 ,  H01L31/028 ,  H01L31/05 ,  H01L31/18