액상 샘플링 자동화 장치 및 이를 포함하는 액상 샘플링 자동화 시스템

    公开(公告)号:WO2022270676A1

    公开(公告)日:2022-12-29

    申请号:PCT/KR2021/010440

    申请日:2021-08-06

    Abstract: 액상 샘플링 자동화 장치가 개시된다. 본 발명의 액상 샘플링 자동화 장치는, 제1 삼방밸브의 제1-2 입구 측 유로와 연결되고, 기체를 외부로 배기하는 제1 배관; 제2-1 입구, 제2-2 입구 및 제2-3 입구를 형성하고, 제2-1 입구 측 유로가 제1 삼방밸브의 제1-3 입구 측 유로와 연결되며, 제2-2 입구 측 유로가 제2 트랩과 연결된 제2 삼방밸브; 제3-1 입구, 제3-2 입구 및 제3-3 입구를 형성하는 제3 삼방밸브; 제3-1 입구 측 유로를 제2-3 입구 측 유로에 연결하는 제2 배관; 제3-2 입구 측 유로를 제1 삼방밸브의 제1-2 입구 측 유로에 연결하는 제3 배관; 제3-3 입구 측 유로를 제1 배관에 연결하는 제4 배관; 및 제1 밸브, 제1 삼방밸브, 제2 삼방밸브 및 제3 삼방밸브를 제어하는 제어부를 포함한다.

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