Abstract:
PURPOSE: A preparation method of V2O5 thin films is provided to simplify a process, and to improve stability and activity of electrodes using electronic beam irradiation instead of a high temperature sintering process. CONSTITUTION: A preparation method of V2O5 thin films comprises the steps of: (i) dissolving vanadium sulfate powder in a mixed solution of distilled water and ethanol to prepare an electrolyte solution; (ii) dipping the electrolyte solution on a substrate and performing electrochemical deposition to prepare a V2O5 thin film; and (iii) irradiating electronic beams to the thin film.
Abstract translation:目的:提供V2O5薄膜的制备方法,以简化工艺,并提高使用电子束照射代替高温烧结工艺的电极的稳定性和活性。 构成:V2O5薄膜的制备方法包括以下步骤:(i)将硫酸钒粉末溶解在蒸馏水和乙醇的混合溶液中以制备电解质溶液; (ii)将电解质溶液浸渍在基材上并进行电化学沉积以制备V 2 O 5薄膜; 和(iii)将电子束照射到薄膜上。
Abstract:
PURPOSE: A method of manufacturing a ruthenium-dioxide film using irradiation of electronic beams and a ruthenium-dioxide film with improved energy storage capacity are provided to enhance stability and activation of electrode, crystallinity of a film, energy storage capacity and electrical performance. CONSTITUTION: A method of manufacturing a ruthenium-dioxide film is as follows. Ruthenium chloride powder is dissolved in distilled water under nitrogen atmosphere and thus electrolyte solution is manufactured. A substrate is dipped in the electrolyte solution and a ruthenium dioxide film is manufactured in an electrochemical deposition method. An electronic beam is irradiated to the film.
Abstract:
PURPOSE: A device for manufacturing nano particles is provided to easily produce nano particles by a triode-type electron beam irradiator. CONSTITUTION: A device for manufacturing nano particles comprises a triode-type electron beam irradiator(500) and an irradiation portion(20). The triode-type electron beam irradiator comprises a vacuum chamber with an irradiation window, a negative electrode with a field emission tip which is installed in the center of the vacuum chamber in a longitudinal direction, an insulation film with cavity, a gate electrode formed on the upper part of the insulation film, a voltage application portion, and a gate voltage application portion.
Abstract:
PURPOSE: A large-area electron beam irradiator including a triode-structure is provided to radiate electron beam to a wide range of area by including a vacuum chamber with a gate electrode and a ground potential in order to control the density of a current from an electric filed radiating tip. CONSTITUTION: An electron beam radiating window is formed to a longitudinal direction on one side of the circumference of a vacuum chamber(510). A cathode(520) is arranged to a longitudinal direction on the inner center part of the vacuum chamber. A gate electrode is formed on the upper side of an insulating layer. A cathode voltage applying part(540) is installed in the vacuum chamber. A gate voltage applying part(550) is installed in the vacuum chamber.
Abstract:
본 발명은 나노입자의 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제조하고자 하는 나노입자의 적정 제조조건에 에너지와 전류 밀도 및 선량 등을 독립적으로 제어할 수 있어 나노입자를 손쉽게 제조할 수 있는 장치에 관한 것이다. 본 발명의 나노입자 제조장치는 둘레의 일측에 길이방향으로 전자빔 조사창이 형성된 진공챔버; 상기 진공챔버 내부 중심에 길이방향으로 구비되며, 상기 전자빔 조사창에 대응되는 일측에 전계방출팁이 형성된 음극; 상기 음극 상에 형성되며, 상기 전계방출팁을 표면에 노출시키는 공동이 형성된 절연막; 상기 절연막 상부에 형성된 게이트 전극; 상기 진공챔버에 구비되고, 상기 음극에 전압을 인가하는 음극 전압인가부; 및 상기 진공챔버에 구비되고, 상기 게이트 전극에 음 또는 양의 전압을 인가하는 게이트 전압인가부를 포함하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치와 상기 전자빔 조사장치의 전자빔 조사측에 위치하는 전자빔 조사부를 포함한다. 나노입자, 전자빔, 3극형 전자빔 조사장치, 금속 나노입자
Abstract:
전계방출팁을 이용한 3극형 대면적 전자빔 조사장치가 제공된다. 상기 3극형 대면적 전자빔 조사장치는 둘레의 일측에 길이방향으로 전자빔 조사창이 형성된 진공챔버; 상기 진공챔버 내부 중심에 길이방향으로 구비되며, 상기 전자빔 조사창에 대응되는 일측에 전계방출팁이 형성된 음극; 상기 음극 상에 형성되며, 상기 전계방출팁을 표면에 노출시키는 공동이 형성된 절연막; 상기 절연막 상부에 형성된 게이트 전극; 상기 진공챔버에 구비되고, 상기 음극에 전압을 인가하는 음극 전압인가부; 및 상기 진공챔버에 구비되고, 상기 게이트 전극에 음 또는 양의 전압을 인가하는 게이트 전압인가부;를 포함하여 구성된다. 이러한 3극형 대면적 전자빔 조사장치는 음극에 형성된 전계방출팁, 전계방출팁에서 방출되는 전류 밀도를 제어할 수 있는 게이트 전극 및 접지전위를 갖는 진공챔버로 구성됨으로써, 전류 밀도와 에너지가 독립적으로 제어된 전자빔이 넓은 폭으로 광범위한 영역에 조사되는 효과를 갖는다. 전자빔, 3극형, 전계방출, 게이트 전극, 접지