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公开(公告)号:KR102262641B1
公开(公告)日:2021-06-10
申请号:KR1020150150842
申请日:2015-10-29
Applicant: 한국재료연구원
Inventor: 임동찬 , 김민경 , 홍기현 , 허진희 , 박선영 , 정재훈 , 임재홍 , 최승목
IPC: H01L51/42 , H01L51/44 , H01L51/00 , H01L21/02 , H01L29/16 , H01L31/0256