公开(公告)号：KR102197546B1

公开(公告)日：2021-01-07

申请号：KR1020160005617

申请日：2016-01-15

Applicant: 한국재료연구원

Inventor： 윤정흠 ,  박성규 ,  김동호 ,  문채원

IPC: G01J3/44 ,  G01N21/65 ,  C23C16/44 ,  C23C14/34 ,  C23C14/22

Abstract: 본발명은무기물-금속구조체가형성된기판및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게는서로이격된상부돌출곡면을갖는돌기형구조체가형성된기판; 상기돌기형구조체상에형성된금속함유나노입자; 상기기판표면에형성된금속함유박막; 및상기금속함유나노입자와상기돌기형구조체사이및 상기금속함유박막과상기기판표면사이에형성된무기물함유박막;을포함하되, 상기금속함유나노입자와상기금속함유박막층은상기기판에라만활성물질을동시에진공증착시켜형성되며, 상기라만활성물질은초기에는상기금속박막및 상기돌기형구조체에균일하게증착되나증착이진행됨에따라상기돌기형구조체의상부에집중적으로증착되는것을특징으로하는무기물-금속구조체가형성된기판에관한것으로, 나노갭을용이하게조절할수 있고무기물함유박막을도입하여접착력및 열적안정성을확보할수 있는효과가있다.

公开(公告)号：KR102251877B1

公开(公告)日：2021-05-14

申请号：KR1020190038498

申请日：2019-04-02

Applicant: 한국재료연구원

Inventor： 윤정흠 ,  이건환

IPC: H01L21/285 ,  H01L21/28 ,  H01L21/02

Abstract: 본발명은금속박막기판및 이의제조방법에관한것으로, 더욱상세하게베이스기판; 및금속또는이의합금으로구성되고, 전이금속이도핑된금속박막;을포함하고, 상기금속의질화또는산화처리에대한반응성은상기전이금속의질화또는산화처리에대한반응성보다낮고, 상기금속박막은전이금속의질화물또는산화물을포함하는, 금속박막기판및 이의제조방법에관한것이다.